6 ນິ້ວ n-type sic substrate

ລາຍລະອຽດສັ້ນ:

6 ນິ້ວ n-type SiC substrate ເປັນວັດສະດຸ semiconductor ມີລັກສະນະໂດຍການນໍາໃຊ້ຂະຫນາດ wafer 6 ນິ້ວ, ເຊິ່ງເພີ່ມຈໍານວນຂອງອຸປະກອນທີ່ສາມາດຜະລິດໃນ wafer ດຽວໃນໄລຍະພື້ນທີ່ຂະຫນາດໃຫຍ່, ດັ່ງນັ້ນການຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນລະດັບອຸປະກອນ. . ການພັດທະນາແລະການນໍາໃຊ້ substrates SiC 6 ນິ້ວ n-type ໄດ້ຮັບຜົນປະໂຫຍດຈາກຄວາມກ້າວຫນ້າຂອງເຕັກໂນໂລຊີເຊັ່ນ: ວິທີການການຂະຫຍາຍຕົວ RAF, ເຊິ່ງຫຼຸດຜ່ອນ dislocations ໂດຍການຕັດໄປເຊຍກັນຕາມ dislocations ແລະທິດທາງຂະຫນານແລະ regrowing ໄປເຊຍກັນ, ດັ່ງນັ້ນການປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງ substrate ໄດ້. ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງ substrate ນີ້ມີຄວາມສໍາຄັນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍເພື່ອປັບປຸງປະສິດທິພາບການຜະລິດແລະການຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຂອງອຸປະກອນພະລັງງານ SiC.

ສົ່ງອີເມວຫາພວກເຮົາ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ປ້າຍສິນຄ້າ

Silicon carbide (SiC) ວັດສະດຸຜລຶກດຽວມີຄວາມກວ້າງຊ່ອງຫວ່າງຂະຫນາດໃຫຍ່ (~Si 3 ເທົ່າ), ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ (~Si 3.3 ເທົ່າຫຼື GaAs 10 ເທື່ອ), ອັດຕາການເຄື່ອນຍ້າຍຄວາມອີ່ມຕົວຂອງເອເລັກໂຕຣນິກສູງ (~Si 2.5 ເທົ່າ), ໄຟຟ້າການທໍາລາຍສູງ. ພາກສະຫນາມ (~Si 10 ເທື່ອຫຼື GaAs 5 ເທື່ອ) ແລະລັກສະນະທີ່ໂດດເດັ່ນອື່ນໆ.

ວັດສະດຸ semiconductor ຮຸ່ນທີສາມສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນປະກອບດ້ວຍ SiC, GaN, ເພັດ, ແລະອື່ນໆ, ເນື່ອງຈາກວ່າຄວາມກວ້າງຂອງຊ່ອງຫວ່າງແຖບ (ເຊັ່ນ) ຂອງມັນສູງກວ່າຫຼືເທົ່າກັບ 2.3 volts ເອເລັກໂຕຣນິກ (eV), ເຊິ່ງເອີ້ນກັນວ່າອຸປະກອນ semiconductor ຊ່ອງຫວ່າງກວ້າງ. ເມື່ອປຽບທຽບກັບວັດສະດຸ semiconductor ຮຸ່ນທໍາອິດແລະທີສອງ, ວັດສະດຸ semiconductor ຮຸ່ນທີສາມມີຂໍ້ດີຂອງການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ, ພາກສະຫນາມໄຟຟ້າທີ່ແຕກຫັກສູງ, ອັດຕາການເຄື່ອນຍ້າຍຂອງເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ອີ່ມຕົວສູງແລະພະລັງງານການຜູກມັດສູງ, ເຊິ່ງສາມາດຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການໃຫມ່ຂອງເຕັກໂນໂລຢີເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ທັນສະໄຫມ. ອຸນຫະພູມ, ພະລັງງານສູງ, ຄວາມກົດດັນສູງ, ຄວາມຖີ່ສູງແລະການຕ້ານການລັງສີແລະສະພາບການ harsh ອື່ນໆ. ມັນມີຄວາມສົດໃສດ້ານການນໍາໃຊ້ທີ່ສໍາຄັນໃນຂົງເຂດປ້ອງກັນຊາດ, ການບິນ, ການບິນອະວະກາດ, ການຂຸດຄົ້ນນ້ໍາມັນ, ການເກັບຮັກສາ optical, ແລະອື່ນໆ, ແລະສາມາດຫຼຸດຜ່ອນການສູນເສຍພະລັງງານຫຼາຍກ່ວາ 50% ໃນອຸດສາຫະກໍາຍຸດທະສາດເຊັ່ນ: ການສື່ສານຄວາມຖີ່ກ້ວາງ, ພະລັງງານແສງຕາເວັນ, ການຜະລິດລົດຍົນ, ແສງ semiconductor, ແລະຕາຂ່າຍໄຟຟ້າອັດສະລິຍະ, ແລະສາມາດຫຼຸດຜ່ອນປະລິມານອຸປະກອນຫຼາຍກ່ວາ 75%, ຊຶ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນສໍາຄັນສໍາລັບການພັດທະນາວິທະຍາສາດຂອງມະນຸດແລະ. ເຕັກໂນໂລຊີ.

ພະລັງງານ Semicera ສາມາດໃຫ້ລູກຄ້າມີຄຸນນະພາບສູງ Conductive (Conductive), Semi-insulating (Semi-insulating), HPSI (High Purity semi-insulating) silicon carbide substrate; ນອກຈາກນັ້ນ, ພວກເຮົາສາມາດສະຫນອງລູກຄ້າດ້ວຍແຜ່ນ silicon carbide epitaxial ທີ່ເປັນເອກະພາບແລະ heterogeneous; ພວກເຮົາຍັງສາມາດປັບແຕ່ງແຜ່ນ epitaxial ຕາມຄວາມຕ້ອງການສະເພາະຂອງລູກຄ້າ, ແລະບໍ່ມີປະລິມານການສັ່ງຊື້ຂັ້ນຕ່ໍາ.

ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະພື້ນຖານຂອງຜະລິດຕະພັນ

ຂະໜາດ	6 ນິ້ວ
ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ	150.0mm+0mm/-0.2mm
ທິດທາງດ້ານ	off-axis:4° ໄປຫາ<1120>±0.5°
ຄວາມຍາວຮາບພຽງຕົ້ນຕໍ	47.5ມມ1.5ມມ
ປະຖົມນິເທດ Flat ປະຖົມ	<1120>±1.0°
ຮາບພຽງຮອງ	ບໍ່ມີ
ຄວາມຫນາ	350.0um±25.0um
Polytype	4H
ປະເພດຕົວນໍາ	n ປະເພດ

ຂໍ້ມູນສະເພາະດ້ານຄຸນນະພາບຂອງ CRYSTAL

6 ນິ້ວ
ລາຍການ	ເກຣດ P-MOS	ເກຣດ P-SBD
ຄວາມຕ້ານທານ	0.015Ω·cm-0.025Ω·cm
Polytype	ບໍ່ອະນຸຍາດ
ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງ Micropipe	≤0.2/cm2	≤0.5/cm2
EPD	≤4000/ຊມ2	≤8000/ຊມ2
TED	≤3000/ຊມ2	≤6000/ຊມ2
BPD	≤1000/ຊມ2	≤2000/ຊມ2
TSD	≤300/ຊມ2	≤1000/ຊມ2
SF(ວັດແທກໂດຍUV-PL-355nm)	≤0.5% ພື້ນທີ່	≤1% ພື້ນທີ່
ແຜ່ນ hex ໂດຍແສງສະຫວ່າງຄວາມເຂັ້ມສູງ	ບໍ່ອະນຸຍາດ
Visual CarbonInclusions ໂດຍແສງທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມສູງ	ພື້ນທີ່ສະສົມ≤0.05%