ເຮືອ SiC Wafer
ເຮືອ wafer Silicon carbideເປັນອຸປະກອນທີ່ຮັບຜິດຊອບສໍາລັບ wafers, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນຂະບວນການກະຈາຍແສງຕາເວັນແລະ semiconductor.ມັນມີຄຸນລັກສະນະເຊັ່ນ: ການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion, ການຕໍ່ຕ້ານຜົນກະທົບຂອງອຸນຫະພູມສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານການລະເບີດຂອງ plasma, ຄວາມອາດສາມາດຮັບຜິດຊອບຂອງອຸນຫະພູມສູງ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ, ການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນສູງ, ແລະການນໍາໃຊ້ໃນໄລຍະຍາວທີ່ບໍ່ງ່າຍທີ່ຈະງໍແລະ deform.ບໍລິສັດຂອງພວກເຮົາໃຊ້ວັດສະດຸ silicon carbide ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງເພື່ອຮັບປະກັນຊີວິດການບໍລິການແລະສະຫນອງການອອກແບບທີ່ກໍາຫນົດເອງ, ລວມທັງ.ແນວຕັ້ງ ແລະແນວນອນຕ່າງໆເຮືອ wafer.
SiC Paddle
ໄດ້ແຜ່ນ silicon carbide cantilever paddleສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນການເຄືອບ (ການແຜ່ກະຈາຍ) ຂອງ wafers ຊິລິໂຄນ, ເຊິ່ງມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການໂຫຼດແລະການຂົນສົ່ງຂອງ wafers ຊິລິໂຄນຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງ.ມັນເປັນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນຂອງsemiconductor waferລະບົບການໂຫຼດແລະມີລັກສະນະຕົ້ນຕໍດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:
1. ມັນບໍ່ deform ໃນສະພາບແວດລ້ອມອຸນຫະພູມສູງແລະມີຜົນບັງຄັບໃຊ້ການໂຫຼດສູງກ່ຽວກັບ wafers ໄດ້;
2. ມັນທົນທານຕໍ່ຄວາມເຢັນທີ່ຮຸນແຮງແລະຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາ, ແລະມີຊີວິດການບໍລິການທີ່ຍາວນານ;
3. ຕົວຄູນການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນມີຂະຫນາດນ້ອຍ, ຂະຫຍາຍວົງຈອນການບໍາລຸງຮັກສາແລະການເຮັດຄວາມສະອາດຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ແລະຫຼຸດຜ່ອນມົນລະພິດຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.
SiC Furnace Tube
ທໍ່ຂະບວນການ Silicon carbide, ເຮັດດ້ວຍ SiC ຄວາມບໍລິສຸດສູງໂດຍບໍ່ມີການ impurities ໂລຫະ, ບໍ່ມົນລະພິດ wafer ໄດ້, ແລະເຫມາະສົມສໍາລັບຂະບວນການເຊັ່ນ: semiconductor ແລະ photovoltaic ການແຜ່ກະຈາຍ, annealing ແລະຂະບວນການຜຸພັງ.
ແຂນຫຸ່ນຍົນ SiC
ແຂນຫຸ່ນຍົນ SiC, ຊຶ່ງເອີ້ນກັນວ່າ wafer transfer end effector, ແມ່ນແຂນຫຸ່ນຍົນທີ່ໃຊ້ໃນການຂົນສົ່ງ semiconductor wafers ແລະຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor, optoelectronic, ແລະພະລັງງານແສງຕາເວັນ.ການນໍາໃຊ້ silicon carbide ຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ມີຄວາມແຂງສູງ, ທົນທານຕໍ່ພັຍ, ທົນທານຕໍ່ແຜ່ນດິນໄຫວ, ການນໍາໃຊ້ໃນໄລຍະຍາວໂດຍບໍ່ມີການ deformation, ຊີວິດການບໍລິການຍາວ, ແລະອື່ນໆ, ສາມາດໃຫ້ບໍລິການທີ່ກໍາຫນົດເອງ.
Graphite ສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ
ແຜ່ນປ້ອງກັນຄວາມຮ້ອນ Graphite
ທໍ່ electrode Graphite
Graphite deflector
chuck ກຣາຟ
ຂະບວນການທັງຫມົດທີ່ໃຊ້ສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວ crvstals semiconductor ດໍາເນີນການໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແລະ corrosive.ເຂດຮ້ອນຂອງ furnace ການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນແມ່ນປົກກະຕິແລ້ວ eguinned ກັບຄວາມບໍລິສຸດສູງທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນແລະ corrosion-resistant.ອົງປະກອບຂອງ graphite, ເຊັ່ນ: ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ graphite, crucibles, cylinders, deflector, chucks, ທໍ່, ແຫວນ, ຜູ້ຖື, ຫມາກຖົ່ວ, ແລະອື່ນໆຜະລິດຕະພັນສໍາເລັດຮູບຂອງພວກເຮົາສາມາດບັນລຸປະລິມານຂີ້ເທົ່າຫນ້ອຍກວ່າ 5ppm.
Graphite ສໍາລັບ Semidonductor Epitaxy
ຖານ Graphite
Graphite Epitaxial Barrel
Monocry Staline Silicon Epitaxial Base
MOCVD Graphite Parts
Semiconductor Graphite Fixture
ຂະບວນການ Epitaxial ຫມາຍເຖິງການເຕີບໃຫຍ່ຂອງວັດສະດຸຜລຶກດຽວຢູ່ເທິງຊັ້ນໃຕ້ດິນຂອງຜລຶກດຽວທີ່ມີການຈັດວາງເສັ້ນດ່າງດຽວກັນກັບຊັ້ນໃຕ້ດິນ.ມັນຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຫຼາຍພາກສ່ວນ graphite ຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະພື້ນຖານ graphite ທີ່ມີການເຄືອບ SIC.graphite ຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ໃຊ້ສໍາລັບ semiconductor epitaxy ມີລະດັບຄວາມກ້ວາງຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ, ເຊິ່ງສາມາດກົງກັບອຸປະກອນທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປທີ່ສຸດໃນອຸດສາຫະກໍາ, ໃນເວລາດຽວກັນ, ມັນມີລະດັບສູງທີ່ສຸດ.ຄວາມບໍລິສຸດ, ການເຄືອບເອກະພາບ, ຊີວິດການບໍລິການທີ່ດີເລີດ, ແລະການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີສູງທີ່ສຸດແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຄວາມຮ້ອນ.
ວັດສະດຸ insulation ແລະອື່ນໆ
ວັດສະດຸ insulation ຄວາມຮ້ອນທີ່ໃຊ້ໃນການຜະລິດ semiconductor ແມ່ນ graphite ແຂງ, ມີຄວາມຮູ້ສຶກອ່ອນ, graphite foil, ວັດສະດຸປະກອບກາກບອນ, ແລະອື່ນໆ, ວັດຖຸດິບຂອງພວກເຮົາແມ່ນວັດສະດຸ graphite ນໍາເຂົ້າ, ສາມາດຕັດໄດ້ຕາມການກໍາຫນົດຂອງລູກຄ້າ, ແລະຍັງສາມາດຂາຍເປັນ. ທັງໝົດ.ປົກກະຕິແລ້ວວັດສະດຸປະສົມກາກບອນຖືກນໍາໃຊ້ເປັນຜູ້ໃຫ້ບໍລິການສໍາລັບຂະບວນການຜະລິດເຊນ monocrystal ແລະ polysilicon.