ສີຟ້າ/ສີຂຽວ LED epitaxy ຈາກ semicera ສະຫນອງການແກ້ໄຂທີ່ທັນສະໄຫມສໍາລັບການຜະລິດ LED ທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ. ຖືກອອກແບບມາເພື່ອສະຫນັບສະຫນູນຂະບວນການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ epitaxial ກ້າວຫນ້າ, ເທກໂນໂລຍີ LED epitaxy ສີຟ້າ / ສີຂຽວຂອງ semicera ເພີ່ມປະສິດທິພາບແລະຄວາມແມ່ນຍໍາໃນການຜະລິດໄຟ LED ສີຟ້າແລະສີຂຽວ, ທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ optoelectronic ຕ່າງໆ. ການນໍາໃຊ້ Si Epitaxy ແລະ SiC Epitaxy ທີ່ທັນສະໄຫມ, ການແກ້ໄຂນີ້ຮັບປະກັນຄຸນນະພາບທີ່ດີເລີດແລະຄວາມທົນທານ.
ໃນຂະບວນການຜະລິດ, MOCVD Susceptor ມີບົດບາດສໍາຄັນ, ຄຽງຄູ່ກັບອົງປະກອບເຊັ່ນ PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier, ແລະ RTP Carrier, ເຊິ່ງເພີ່ມປະສິດທິພາບສະພາບແວດລ້ອມການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ epitaxial. Semicera's Blue/green LED epitaxy ຖືກອອກແບບມາເພື່ອສະຫນອງການສະຫນັບສະຫນູນທີ່ຫມັ້ນຄົງສໍາລັບ LED Epitaxial Susceptor, Barrel Susceptor, ແລະ Monocrystalline Silicon, ຮັບປະກັນການຜະລິດທີ່ສອດຄ່ອງ, ຜົນໄດ້ຮັບທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ.
ຂະບວນການ epitaxy ນີ້ແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບການສ້າງສ່ວນ Photovoltaic ແລະສະຫນັບສະຫນູນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກເຊັ່ນ GaN ກ່ຽວກັບ SiC Epitaxy, ປັບປຸງປະສິດທິພາບ semiconductor ໂດຍລວມ. ບໍ່ວ່າຈະຢູ່ໃນການຕັ້ງຄ່າ Pancake Susceptor ຫຼືໃຊ້ໃນການຕິດຕັ້ງແບບພິເສດອື່ນໆ, ໂຊລູຊັ່ນ LED epitaxy ສີຟ້າ/ສີຂຽວຂອງ semicera ສະເຫນີປະສິດທິພາບທີ່ຫນ້າເຊື່ອຖື, ຊ່ວຍໃຫ້ຜູ້ຜະລິດຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນສໍາລັບອົງປະກອບ LED ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ.
ຄຸນນະສົມບັດຕົ້ນຕໍ:
1. ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງ:
ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງແມ່ນຍັງດີຫຼາຍເມື່ອອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 1600 C.
2. ຄວາມບໍລິສຸດສູງ: ເຮັດໄດ້ໂດຍການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີພາຍໃຕ້ສະພາບການ chlorination ອຸນຫະພູມສູງ.
3. ການຕໍ່ຕ້ານການເຊາະເຈື່ອນ: ຄວາມແຂງສູງ, ພື້ນຜິວຫນາແຫນ້ນ, ອະນຸພາກດີ.
4. ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ: ອາຊິດ, ດ່າງ, ເກືອແລະທາດປະສົມອິນຊີ.
ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະຫຼັກຂອງການເຄືອບ CVD-SIC
| ຄຸນສົມບັດ SiC-CVD | ||
| ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ | ໄລຍະ FCC β | |
| ຄວາມຫນາແຫນ້ນ | g/ຊມ ³ | 3.21 |
| ຄວາມແຂງ | ຄວາມແຂງຂອງ Vickers | 2500 |
| ຂະໜາດເມັດພືດ | ມມ | 2~10 |
| ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ | % | 99.99995 |
| ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| ອຸນຫະພູມ sublimation | ℃ | 2700 |
| ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Felexural | MPa (RT 4 ຈຸດ) | 415 |
| ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ | Gpa (4pt ງໍ, 1300℃) | 430 |
| ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| ການນໍາຄວາມຮ້ອນ | (W/mK) | 300 |
