ວົງແຫວນ CVD SiC ສ່ວນໃຫຍ່

ລາຍລະອຽດສັ້ນ:

ວົງແຫວນ CVD SiC ສ່ວນໃຫຍ່ໃຊ້ອາຍແກັສແຫຼ່ງຊິລິໂຄນ (ເຊັ່ນຊິລິຄອນ hydride) ແລະອາຍແກັສແຫຼ່ງກາກບອນ (ເຊັ່ນ: methane) ເປັນວັດຖຸດິບ, reacting ຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງເພື່ອຝາກວັດສະດຸ SiC ຂະຫນາດໃຫຍ່ໃສ່ substrate ຫຼື mold. ຂະບວນການນີ້ອະນຸຍາດໃຫ້ SiC ຖືກຝາກຢູ່ທົ່ວພື້ນທີ່ຂະຫນາດໃຫຍ່, ປະກອບເປັນໂຄງສ້າງວົງແຫວນທີ່ເຂັ້ມແຂງແລະສອດຄ່ອງ.

ສົ່ງອີເມວຫາພວກເຮົາ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ປ້າຍກຳກັບສິນຄ້າ

ເປັນຫຍັງ Silicon Carbide Etching Ring ?

RTPວົງແຫວນ CVD SiCຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂົງເຂດອຸດສາຫະກໍາແລະວິທະຍາສາດໃນອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມ corrosive. ມັນມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການຜະລິດ semiconductor, optoelectronics, ເຄື່ອງຈັກຄວາມແມ່ນຍໍາແລະອຸດສາຫະກໍາເຄມີ. ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກສະເພາະປະກອບມີ:

1. ການຜະລິດ semiconductor:ແຫວນ RTP CVD SiCສາມາດນໍາໃຊ້ສໍາລັບການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມເຢັນຂອງອຸປະກອນ semiconductor, ສະຫນອງການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະຮັບປະກັນຄວາມຖືກຕ້ອງແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຂະບວນການ.

2. Optoelectronics: ເນື່ອງຈາກການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດແລະການຕໍ່ຕ້ານອຸນຫະພູມສູງ, RTPວົງແຫວນ CVD SiCສາມາດນໍາໃຊ້ເປັນອຸປະກອນສະຫນັບສະຫນູນແລະຄວາມຮ້ອນ dissipation ສໍາລັບ lasers, ອຸປະກອນການສື່ສານໃຍແກ້ວນໍາແສງແລະອົງປະກອບ optical.

3. ເຄື່ອງຈັກຄວາມແມ່ນຍໍາ: ແຫວນ RTP CVD SiC ສາມາດນໍາໃຊ້ໄດ້ສໍາລັບເຄື່ອງມືແລະອຸປະກອນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາໃນອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີ corrosive, ເຊັ່ນ furnaces ອຸນຫະພູມສູງ, ອຸປະກອນສູນຍາກາດແລະເຄື່ອງປະຕິກອນເຄມີ.

4. ອຸດສາຫະກໍາເຄມີ: ເນື່ອງຈາກການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີ, ແຫວນ RTP CVD SiC ສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ໃນຖັງ, ທໍ່ແລະເຄື່ອງປະຕິກອນໃນປະຕິກິລິຍາເຄມີແລະຂະບວນການ catalytic.

ລະບົບ Epi

ລະບົບ RTP

ລະບົບ CVD

ປະສິດທິພາບຜະລິດຕະພັນ:

1. ຕອບສະຫນອງຂະບວນການຂ້າງລຸ່ມນີ້ 28nm

2. ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion Super

3. ປະສິດທິພາບທີ່ສະອາດ Super

4. ຄວາມແຂງ Super

5. ຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງ

6. ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ

7. ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຜະລິດຕະພັນ:

ວັດສະດຸ Silicon carbide ມີຄຸນລັກສະນະຂອງຄວາມແຂງສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່, ຄວາມຕ້ານທານ corrosion ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງ. ຜະລິດຕະພັນທີ່ມີປະສິດທິພາບທີ່ສົມບູນແບບແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂະບວນການ etching ແຫ້ງແລະ TF / ການແຜ່ກະຈາຍ.