silicon carbide Ceramic effector ສໍາລັບການໂອນ wafers ໃນຂະບວນການ semiconductor ຕ່າງໆ

ລັກສະນະແລະຂໍ້ໄດ້ປຽບ

1.Precise ຂະຫນາດແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຄວາມຮ້ອນ

2.High ແຂງສະເພາະແລະຄວາມສອດຄ່ອງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ການນໍາໃຊ້ໃນໄລຍະຍາວແມ່ນບໍ່ງ່າຍທີ່ຈະງໍ deformation;

3.It ມີພື້ນຜິວກ້ຽງແລະທົນທານຕໍ່ພັຍທີ່ດີ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງໄດ້ຢ່າງປອດໄພຈັດການ chip ໂດຍບໍ່ມີການປົນເປື້ອນ particle.

4.Silicon carbide resistivity ໃນ106-108Ω, ທີ່ບໍ່ແມ່ນແມ່ເຫຼັກ, ສອດຄ່ອງກັບຄວາມຕ້ອງການສະເພາະຕ້ານ ESD;ມັນສາມາດປ້ອງກັນການສະສົມຂອງໄຟຟ້າສະຖິດຢູ່ດ້ານຂອງຊິບ

5.Good conductivity ຄວາມຮ້ອນ, ຕົວຄູນການຂະຫຍາຍຕົວຕ່ໍາ.