Fused Quartz Pedestal ຈາກ Semicera ໄດ້ຖືກສ້າງຂື້ນຢ່າງພິຖີພິຖັນເພື່ອສະຫນອງການສະຫນັບສະຫນູນແລະສະຖຽນລະພາບທີ່ບໍ່ກົງກັນໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງຕ່າງໆ. ອອກແບບມາຈາກquartz ຄວາມບໍລິສຸດສູງ, pedestal ນີ້ແມ່ນດີເລີດສໍາລັບຂະບວນການ semiconductor, ລວມທັງການແຜ່ກະຈາຍwaferຂະບວນການ ແລະ LPCVD. ຄວາມທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນພິເສດແລະຄວາມທົນທານຂອງສານເຄມີເຮັດໃຫ້ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຕ້ອງການ.
ທີ່ Semicera, ພວກເຮົາຈັດລໍາດັບຄວາມສໍາຄັນດ້ານຄຸນນະພາບ, ຮັບປະກັນວ່າຜະລິດຕະພັນແກ້ວ quartz ຂອງພວກເຮົາທີ່ປະສົມປະສານໄດ້ມາດຕະຖານສູງສຸດ. pedestal quartz fused ບໍ່ພຽງແຕ່ເສີມຂະຫຍາຍປະສິດທິພາບແຕ່ຍັງສະຫນອງການແກ້ໄຂຄ່າໃຊ້ຈ່າຍປະສິດທິພາບສໍາລັບຜູ້ທີ່ຊອກຫາທາງເລືອກແກ້ວ fused silica ທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້. ບໍ່ວ່າທ່ານຕ້ອງການມັນສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ semiconductor quartz ຫຼືການນໍາໃຊ້ພິເສດອື່ນໆ, pedestal ຂອງພວກເຮົາຢືນອອກສໍາລັບຄວາມທົນທານແລະຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງມັນ.
ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງວັດສະດຸ Quartz Fused
1.High Temperature Resistance
Fused Quartz Pedestal ມີຈຸດອ່ອນຂອງປະມານ 1730 ° C, ເຮັດໃຫ້ມັນທົນທານຕໍ່ການນໍາໃຊ້ເວລາດົນນານໃນອຸນຫະພູມຕັ້ງແຕ່ 1100 ° C ຫາ 1250 ° C. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ມັນສາມາດທົນກັບອຸນຫະພູມໄລຍະສັ້ນເຖິງ 1450 ອົງສາ.
2.ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion
The Fused Quartz Pedestal ແມ່ນ inert ທາງເຄມີກັບອາຊິດຫຼາຍທີ່ສຸດ, ຍົກເວັ້ນອາຊິດ hydrofluoric. ຄວາມຕ້ານທານອາຊິດຂອງມັນລື່ນກາຍເຊລາມິກ 30 ເທົ່າ ແລະສະແຕນເລດ 150 ເທົ່າ. ຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງ, ບໍ່ມີວັດສະດຸອື່ນສາມາດກົງກັບຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີຂອງ quartz fused, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມທາງເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ.
3. ຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານຄວາມຮ້ອນ
ຫນຶ່ງໃນລັກສະນະທີ່ໂດດເດັ່ນຂອງ Fused Quartz Pedestal ແມ່ນຕົວຄູນການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຫນ້ອຍທີ່ສຸດ. ຄຸນສົມບັດນີ້ອະນຸຍາດໃຫ້ມັນທົນທານຕໍ່ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມທີ່ຮຸນແຮງໂດຍບໍ່ມີການ cracking. ສໍາລັບຕົວຢ່າງ, ມັນສາມາດໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາເຖິງ 1100 ° C ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນແຊ່ນ້ໍາຢູ່ໃນອຸນຫະພູມຫ້ອງໂດຍບໍ່ມີການເສຍຫາຍ - ເປັນລັກສະນະທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບຂະບວນການຜະລິດຄວາມກົດດັນສູງ.
