Semiceraພູມໃຈສະເໜີຄວາມກ້າວໜ້າຂອງມັນGaN Epitaxyການບໍລິການ, ອອກແບບເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ມີການພັດທະນາຂອງອຸດສາຫະກໍາ semiconductor. Gallium nitride (GaN) ເປັນວັດສະດຸທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບຄຸນສົມບັດພິເສດຂອງມັນ, ແລະຂະບວນການການຂະຫຍາຍຕົວ epitaxial ຂອງພວກເຮົາຮັບປະກັນວ່າຜົນປະໂຫຍດເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນໄດ້ຮັບຮູ້ຢ່າງເຕັມສ່ວນໃນອຸປະກອນຂອງທ່ານ.
ຊັ້ນ GaN ປະສິດທິພາບສູງ Semiceraຊ່ຽວຊານໃນການຜະລິດຄຸນນະພາບສູງGaN Epitaxyຊັ້ນ, ສະເຫນີຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸທີ່ບໍ່ມີການປຽບທຽບແລະຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງ. ຊັ້ນເຫຼົ່ານີ້ມີຄວາມສໍາຄັນສໍາລັບການນໍາໃຊ້ທີ່ຫຼາກຫຼາຍ, ຈາກເອເລັກໂຕຣນິກພະລັງງານກັບ optoelectronics, ບ່ອນທີ່ປະສິດທິພາບດີກວ່າແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືແມ່ນມີຄວາມຈໍາເປັນ. ເຕັກນິກການຂະຫຍາຍຕົວທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງພວກເຮົາຮັບປະກັນວ່າແຕ່ລະຊັ້ນ GaN ຕອບສະຫນອງມາດຕະຖານທີ່ແນ່ນອນທີ່ຕ້ອງການສໍາລັບອຸປະກອນທີ່ມີການຕັດ.
ເຫມາະສໍາລັບປະສິດທິພາບໄດ້GaN Epitaxyສະຫນອງໃຫ້ໂດຍ Semicera ແມ່ນວິສະວະກໍາໂດຍສະເພາະເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງອົງປະກອບເອເລັກໂຕຣນິກຂອງທ່ານ. ໂດຍການສົ່ງຊັ້ນ GaN ທີ່ມີຄວາມບົກຜ່ອງຕໍ່າ, ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ພວກເຮົາເຮັດໃຫ້ອຸປະກອນຕ່າງໆສາມາດເຮັດວຽກໄດ້ທີ່ຄວາມຖີ່ແລະແຮງດັນທີ່ສູງຂຶ້ນ, ໂດຍມີການຫຼຸດຜ່ອນການສູນເສຍພະລັງງານ. ການເພີ່ມປະສິດທິພາບນີ້ແມ່ນກຸນແຈສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກເຊັ່ນ: transistors ເຄື່ອນທີ່ເອເລັກໂຕຣນິກສູງ (HEMTs) ແລະ diodes ແສງສະຫວ່າງ (LEDs), ບ່ອນທີ່ປະສິດທິພາບແມ່ນສໍາຄັນທີ່ສຸດ.
ທ່າແຮງການໃຊ້ງານທີ່ຫຼາກຫຼາຍ Semicera'sGaN Epitaxyແມ່ນ versatile, catering ກັບລະດັບຄວາມກ້ວາງຂອງອຸດສາຫະກໍາແລະຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ. ບໍ່ວ່າທ່ານກໍາລັງພັດທະນາເຄື່ອງຂະຫຍາຍສຽງ, ອົງປະກອບ RF, ຫຼື laser diodes, ຊັ້ນ GaN epitaxial ຂອງພວກເຮົາສະຫນອງພື້ນຖານທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບອຸປະກອນທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ, ທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້. ຂະບວນການຂອງພວກເຮົາສາມາດຖືກປັບແຕ່ງເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການສະເພາະ, ໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າຜະລິດຕະພັນຂອງທ່ານບັນລຸຜົນໄດ້ຮັບທີ່ດີທີ່ສຸດ.
ຄໍາຫມັ້ນສັນຍາກັບຄຸນນະພາບຄຸນນະພາບແມ່ນພື້ນຖານຂອງSemiceraວິທີການຂອງGaN Epitaxy. ພວກເຮົາໃຊ້ເທກໂນໂລຍີການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ epitaxial ຂັ້ນສູງແລະມາດຕະການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບຢ່າງເຂັ້ມງວດເພື່ອຜະລິດຊັ້ນ GaN ທີ່ສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມເປັນເອກະພາບທີ່ດີເລີດ, ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງຂໍ້ບົກພ່ອງຕ່ໍາ, ແລະຄຸນສົມບັດຂອງວັດສະດຸທີ່ດີກວ່າ. ຄໍາຫມັ້ນສັນຍາກັບຄຸນນະພາບນີ້ຮັບປະກັນວ່າອຸປະກອນຂອງທ່ານບໍ່ພຽງແຕ່ຕອບສະຫນອງໄດ້ແຕ່ເກີນມາດຕະຖານອຸດສາຫະກໍາ.
ເຕັກນິກການຂະຫຍາຍຕົວແບບປະດິດສ້າງ Semiceraແມ່ນຢູ່ໃນແຖວຫນ້າຂອງນະວັດກໍາໃນພາກສະຫນາມຂອງGaN Epitaxy. ທີມງານຂອງພວກເຮົາສືບຕໍ່ຄົ້ນຄວ້າວິທີການ ແລະ ເທັກໂນໂລຍີໃໝ່ໆເພື່ອປັບປຸງຂະບວນການເຕີບໃຫຍ່, ສະໜອງຊັ້ນ GaN ດ້ວຍຄຸນລັກສະນະທາງໄຟຟ້າ ແລະຄວາມຮ້ອນທີ່ປັບປຸງໃຫ້ດີຂຶ້ນ. ນະວັດຕະກໍາເຫຼົ່ານີ້ແປເປັນອຸປະກອນທີ່ມີປະສິດຕິພາບດີກວ່າ, ສາມາດຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຮຸ່ນຕໍ່ໄປ.
ການແກ້ໄຂທີ່ປັບແຕ່ງສໍາລັບໂຄງການຂອງທ່ານຮັບຮູ້ວ່າແຕ່ລະໂຄງການມີຄວາມຕ້ອງການເປັນເອກະລັກ,Semiceraສະເຫນີທີ່ກໍາຫນົດເອງGaN Epitaxyວິທີແກ້ໄຂ. ບໍ່ວ່າທ່ານຕ້ອງການໂປຣໄຟລ doping ສະເພາະ, ຄວາມຫນາຂອງຊັ້ນ, ຫຼືການສໍາເລັດຮູບ, ພວກເຮົາເຮັດວຽກຢ່າງໃກ້ຊິດກັບທ່ານເພື່ອພັດທະນາຂະບວນການທີ່ຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ແນ່ນອນຂອງທ່ານ. ເປົ້າໝາຍຂອງພວກເຮົາແມ່ນເພື່ອໃຫ້ທ່ານມີຊັ້ນ GaN ທີ່ຖືກອອກແບບຢ່າງແນ່ນອນເພື່ອຮອງຮັບປະສິດທິພາບ ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືຂອງອຸປະກອນຂອງທ່ານ.
ລາຍການ | ການຜະລິດ | ຄົ້ນຄ້ວາ | Dummy |
ພາລາມິເຕີ Crystal | |||
Polytype | 4H | ||
ການວາງທິດທາງພື້ນຜິວຜິດພາດ | <11-20 >4±0.15° | ||
ຕົວກໍານົດການໄຟຟ້າ | |||
ຝຸ່ນ | n-ປະເພດໄນໂຕຣເຈນ | ||
ຄວາມຕ້ານທານ | 0.015-0.025ohm·ຊມ | ||
ຕົວກໍານົດການກົນຈັກ | |||
ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ | 150.0±0.2ມມ | ||
ຄວາມຫນາ | 350 ± 25 ມມ | ||
ປະຖົມນິເທດຮາບພຽງ | [1-100]±5° | ||
ຄວາມຍາວຮາບພຽງຂັ້ນຕົ້ນ | 47.5±1.5ມມ | ||
ຮາບພຽງຮອງ | ບໍ່ມີ | ||
TTV | ≤5ມມ | ≤10ມມ | ≤15ມມ |
LTV | ≤3ມມ(5ມມ*5ມມ) | ≤5ມມ(5ມມ*5ມມ) | ≤10ມມ(5ມມ*5ມມ) |
ກົ້ມຫົວ | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Warp | ≤35ມມ | ≤45ມມ | ≤55ມມ |
ຄວາມຫຍາບດ້ານໜ້າ (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
ໂຄງສ້າງ | |||
ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງ micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
ຄວາມເປື້ອນຂອງໂລຫະ | ≤5E10ອະຕອມ/ຊມ2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
ຄຸນະພາບດ້ານຫນ້າ | |||
ດ້ານໜ້າ | Si | ||
ສໍາເລັດຮູບ | Si-face CMP | ||
ອະນຸພາກ | ≤60ea/wafer (ຂະຫນາດ≥0.3μm) | NA | |
ຮອຍຂີດຂ່ວນ | ≤5ea/ມມ. ຄວາມຍາວສະສົມ ≤ ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ | ຄວາມຍາວສະສົມ≤2*ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ | NA |
ເປືອກສີສົ້ມ/ຂຸມ/ຮອຍເປື້ອນ/ຮອຍຂີດຂ່ວນ/ຮອຍແຕກ/ການປົນເປື້ອນ | ບໍ່ມີ | NA | |
ຊິບຂອບ/ຫຍໍ້ໜ້າ/ຮອຍແຕກ/ແຜ່ນ hex | ບໍ່ມີ | ||
ພື້ນທີ່ Polytype | ບໍ່ມີ | ພື້ນທີ່ສະສົມ≤20% | ພື້ນທີ່ສະສົມ≤30% |
ເຄື່ອງຫມາຍເລເຊີດ້ານຫນ້າ | ບໍ່ມີ | ||
ຄຸນະພາບກັບຄືນໄປບ່ອນ | |||
ກັບຄືນໄປບ່ອນສໍາເລັດຮູບ | C-face CMP | ||
ຮອຍຂີດຂ່ວນ | ≤5ea/mm, ຄວາມຍາວສະສົມ≤2*ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ | NA | |
ຂໍ້ບົກພ່ອງດ້ານຫຼັງ (ຊິບຂອບ/ຫຍໍ້ໜ້າ) | ບໍ່ມີ | ||
ກັບຄືນໄປບ່ອນ roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
ເຄື່ອງຫມາຍເລເຊີກັບຄືນໄປບ່ອນ | 1 ມມ (ຈາກຂອບເທິງ) | ||
ຂອບ | |||
ຂອບ | Chamfer | ||
ການຫຸ້ມຫໍ່ | |||
ການຫຸ້ມຫໍ່ | Epi-ພ້ອມດ້ວຍການຫຸ້ມຫໍ່ສູນຍາກາດ ການຫຸ້ມຫໍ່ cassette ຫຼາຍ wafer | ||
* ຫມາຍເຫດ: "NA" ຫມາຍຄວາມວ່າບໍ່ມີຄໍາຮ້ອງຂໍລາຍການທີ່ບໍ່ໄດ້ກ່າວເຖິງອາດຈະຫມາຍເຖິງ SEMI-STD. |