GaN Epitaxy

ລາຍ​ລະ​ອຽດ​ສັ້ນ​:

GaN Epitaxy ເປັນພື້ນຖານໃນການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor ປະສິດທິພາບສູງ, ສະເຫນີປະສິດທິພາບພິເສດ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຄວາມຮ້ອນ, ແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖື. ການແກ້ໄຂ GaN Epitaxy ຂອງ Semicera ໄດ້ຖືກປັບແຕ່ງເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ທັນສະໄຫມ, ຮັບປະກັນຄຸນນະພາບທີ່ເຫນືອກວ່າແລະຄວາມສອດຄ່ອງໃນທຸກໆຊັ້ນ.


ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ປ້າຍກຳກັບສິນຄ້າ

Semiceraພູມໃຈສະເໜີຄວາມກ້າວໜ້າຂອງມັນGaN Epitaxyການ​ບໍ​ລິ​ການ​, ຖືກ​ອອກ​ແບບ​ເພື່ອ​ຕອບ​ສະ​ຫນອງ​ຄວາມ​ຕ້ອງ​ການ​ທີ່​ມີ​ການ​ພັດ​ທະ​ນາ​ຂອງ​ອຸດ​ສາ​ຫະ​ກໍາ semiconductor​. Gallium nitride (GaN) ເປັນວັດສະດຸທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບຄຸນສົມບັດພິເສດຂອງມັນ, ແລະຂະບວນການການຂະຫຍາຍຕົວ epitaxial ຂອງພວກເຮົາຮັບປະກັນວ່າຜົນປະໂຫຍດເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນໄດ້ຮັບຮູ້ຢ່າງເຕັມສ່ວນໃນອຸປະກອນຂອງທ່ານ.

ຊັ້ນ GaN ປະສິດທິພາບສູງ Semiceraຊ່ຽວຊານໃນການຜະລິດຄຸນນະພາບສູງGaN Epitaxyຊັ້ນ, ສະເຫນີຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸທີ່ບໍ່ມີການປຽບທຽບແລະຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງ. ຊັ້ນເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບການນໍາໃຊ້ທີ່ຫຼາກຫຼາຍ, ຈາກເອເລັກໂຕຣນິກພະລັງງານກັບ optoelectronics, ບ່ອນທີ່ປະສິດທິພາບດີກວ່າແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືແມ່ນມີຄວາມຈໍາເປັນ. ເຕັກນິກການຂະຫຍາຍຕົວທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງພວກເຮົາຮັບປະກັນວ່າແຕ່ລະຊັ້ນ GaN ຕອບສະຫນອງມາດຕະຖານທີ່ແນ່ນອນທີ່ຕ້ອງການສໍາລັບອຸປະກອນທີ່ມີການຕັດ.

ເຫມາະສໍາລັບປະສິດທິພາບໄດ້GaN Epitaxyສະຫນອງໃຫ້ໂດຍ Semicera ແມ່ນວິສະວະກໍາໂດຍສະເພາະເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງອົງປະກອບເອເລັກໂຕຣນິກຂອງທ່ານ. ໂດຍການສົ່ງຊັ້ນ GaN ທີ່ມີຄວາມບົກຜ່ອງຕໍ່າ, ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ພວກເຮົາເຮັດໃຫ້ອຸປະກອນຕ່າງໆສາມາດເຮັດວຽກໄດ້ທີ່ຄວາມຖີ່ແລະແຮງດັນທີ່ສູງຂຶ້ນ, ໂດຍມີການຫຼຸດຜ່ອນການສູນເສຍພະລັງງານ. ການເພີ່ມປະສິດທິພາບນີ້ແມ່ນກຸນແຈສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກເຊັ່ນ: transistors ເຄື່ອນທີ່ເອເລັກໂຕຣນິກສູງ (HEMTs) ແລະ diodes ແສງສະຫວ່າງ (LEDs), ບ່ອນທີ່ປະສິດທິພາບແມ່ນສໍາຄັນທີ່ສຸດ.

ທ່າແຮງການໃຊ້ງານທີ່ຫຼາກຫຼາຍ Semicera'sGaN Epitaxyແມ່ນ versatile, catering ກັບລະດັບຄວາມກ້ວາງຂອງອຸດສາຫະກໍາແລະຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ. ບໍ່ວ່າທ່ານກໍາລັງພັດທະນາເຄື່ອງຂະຫຍາຍສຽງ, ອົງປະກອບ RF, ຫຼື laser diodes, ຊັ້ນ GaN epitaxial ຂອງພວກເຮົາສະຫນອງພື້ນຖານທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບອຸປະກອນທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ, ທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້. ຂະບວນການຂອງພວກເຮົາສາມາດຖືກປັບແຕ່ງເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການສະເພາະ, ໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າຜະລິດຕະພັນຂອງທ່ານບັນລຸຜົນໄດ້ຮັບທີ່ດີທີ່ສຸດ.

ຄໍາຫມັ້ນສັນຍາກັບຄຸນນະພາບຄຸນນະພາບແມ່ນພື້ນຖານຂອງSemiceraວິທີການຂອງGaN Epitaxy. ພວກເຮົາໃຊ້ເທກໂນໂລຍີການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ epitaxial ຂັ້ນສູງແລະມາດຕະການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບຢ່າງເຂັ້ມງວດເພື່ອຜະລິດຊັ້ນ GaN ທີ່ສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມເປັນເອກະພາບທີ່ດີເລີດ, ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງຂໍ້ບົກພ່ອງຕ່ໍາ, ແລະຄຸນສົມບັດຂອງວັດສະດຸທີ່ດີກວ່າ. ຄໍາຫມັ້ນສັນຍາກັບຄຸນນະພາບນີ້ຮັບປະກັນວ່າອຸປະກອນຂອງທ່ານບໍ່ພຽງແຕ່ຕອບສະຫນອງໄດ້ແຕ່ເກີນມາດຕະຖານອຸດສາຫະກໍາ.

ເຕັກນິກການຂະຫຍາຍຕົວແບບປະດິດສ້າງ Semiceraແມ່ນຢູ່ໃນແຖວຫນ້າຂອງນະວັດກໍາໃນພາກສະຫນາມຂອງGaN Epitaxy. ທີມງານຂອງພວກເຮົາສືບຕໍ່ຄົ້ນຄວ້າວິທີການ ແລະ ເທັກໂນໂລຍີໃໝ່ໆເພື່ອປັບປຸງຂະບວນການເຕີບໃຫຍ່, ສະໜອງຊັ້ນ GaN ດ້ວຍຄຸນລັກສະນະທາງໄຟຟ້າ ແລະຄວາມຮ້ອນທີ່ປັບປຸງໃຫ້ດີຂຶ້ນ. ນະວັດຕະກໍາເຫຼົ່ານີ້ແປເປັນອຸປະກອນທີ່ມີປະສິດຕິພາບດີກວ່າ, ສາມາດຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຮຸ່ນຕໍ່ໄປ.

ການແກ້ໄຂທີ່ປັບແຕ່ງສໍາລັບໂຄງການຂອງທ່ານຮັບຮູ້ວ່າແຕ່ລະໂຄງການມີຄວາມຕ້ອງການເປັນເອກະລັກ,Semiceraສະເຫນີທີ່ກໍາຫນົດເອງGaN Epitaxyວິທີແກ້ໄຂ. ບໍ່ວ່າທ່ານຕ້ອງການໂປຣໄຟລ doping ສະເພາະ, ຄວາມຫນາຂອງຊັ້ນ, ຫຼືການສໍາເລັດຮູບ, ພວກເຮົາເຮັດວຽກຢ່າງໃກ້ຊິດກັບທ່ານເພື່ອພັດທະນາຂະບວນການທີ່ຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ແນ່ນອນຂອງທ່ານ. ເປົ້າໝາຍຂອງພວກເຮົາແມ່ນເພື່ອໃຫ້ທ່ານມີຊັ້ນ GaN ທີ່ຖືກອອກແບບຢ່າງແນ່ນອນເພື່ອຮອງຮັບປະສິດທິພາບ ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືຂອງອຸປະກອນຂອງທ່ານ.

ລາຍການ

ການຜະລິດ

ຄົ້ນຄ້ວາ

Dummy

ພາລາມິເຕີ Crystal

Polytype

4H

ການວາງທິດທາງພື້ນຜິວຜິດພາດ

<11-20 >4±0.15°

ຕົວກໍານົດການໄຟຟ້າ

ຝຸ່ນ

n ປະເພດໄນໂຕຣເຈນ

ຄວາມຕ້ານທານ

0.015-0.025ohm·ຊມ

ຕົວກໍານົດການກົນຈັກ

ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ

150.0±0.2ມມ

ຄວາມຫນາ

350 ± 25 ມມ

ປະຖົມນິເທດຮາບພຽງ

[1-100]±5°

ຄວາມຍາວຮາບພຽງຂັ້ນຕົ້ນ

47.5±1.5ມມ

ຮາບພຽງຮອງ

ບໍ່ມີ

TTV

≤5ມມ

≤10ມມ

≤15ມມ

LTV

≤3ມມ(5ມມ*5ມມ)

≤5ມມ(5ມມ*5ມມ)

≤10ມມ(5ມມ*5ມມ)

bow

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35ມມ

≤45ມມ

≤55ມມ

ຄວາມຫຍາບດ້ານໜ້າ (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

ໂຄງສ້າງ

ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງ micropipe

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

ຄວາມເປື້ອນຂອງໂລຫະ

≤5E10ອະຕອມ/ຊມ2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

ຄຸນະພາບດ້ານຫນ້າ

ດ້ານໜ້າ

Si

ສໍາເລັດຮູບ

Si-face CMP

ອະນຸພາກ

≤60ea/wafer (ຂະຫນາດ≥0.3μm)

NA

ຮອຍຂີດຂ່ວນ

≤5ea/ມມ. ຄວາມຍາວສະສົມ ≤ ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ

ຄວາມຍາວສະສົມ≤2*ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ

NA

ປອກເປືອກສີສົ້ມ/ຂຸມ/ຮອຍເປື້ອນ/ຮອຍຂີດຂ່ວນ/ຮອຍແຕກ/ການປົນເປື້ອນ

ບໍ່ມີ

NA

ຊິບຂອບ/ຫຍໍ້ໜ້າ/ຮອຍແຕກ/ແຜ່ນ hex

ບໍ່ມີ

ພື້ນທີ່ Polytype

ບໍ່ມີ

ພື້ນທີ່ສະສົມ≤20%

ພື້ນທີ່ສະສົມ≤30%

ເຄື່ອງຫມາຍເລເຊີດ້ານຫນ້າ

ບໍ່ມີ

ຄຸນະພາບກັບຄືນໄປບ່ອນ

ກັບຄືນໄປບ່ອນສໍາເລັດຮູບ

C-face CMP

ຮອຍຂີດຂ່ວນ

≤5ea/mm, ຄວາມຍາວສະສົມ≤2*ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ

NA

ຂໍ້ບົກພ່ອງດ້ານຫຼັງ (ຊິບຂອບ/ຫຍໍ້ໜ້າ)

ບໍ່ມີ

ກັບຄືນໄປບ່ອນ roughness

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

ເຄື່ອງໝາຍເລເຊີກັບຄືນ

1 ມມ (ຈາກຂອບເທິງ)

ຂອບ

ຂອບ

Chamfer

ການຫຸ້ມຫໍ່

ການຫຸ້ມຫໍ່

Epi-ພ້ອມດ້ວຍການຫຸ້ມຫໍ່ສູນຍາກາດ

ການຫຸ້ມຫໍ່ cassette ຫຼາຍ wafer

* ຫມາຍເຫດ: "NA" ຫມາຍຄວາມວ່າບໍ່ມີຄໍາຮ້ອງຂໍລາຍການທີ່ບໍ່ໄດ້ກ່າວເຖິງອາດຈະຫມາຍເຖິງ SEMI-STD.

tech_1_2_size
SiC wafers

  • ທີ່ຜ່ານມາ:
  • ຕໍ່ໄປ: