ເຮືອ SEMICERA isostatic PECVD graphite ແມ່ນຜະລິດຕະພັນ graphite ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງທີ່ຖືກອອກແບບມາສໍາລັບການສະຫນັບສະຫນູນ wafer ໃນຂະບວນການ PECVD (plasma ປັບປຸງ vapor deposition ສານເຄມີ). SEMICERA ໃຊ້ເທກໂນໂລຍີການກົດ isostatic ກ້າວຫນ້າເພື່ອຮັບປະກັນວ່າເຮືອ graphite ມີຄວາມທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງທີ່ດີເລີດ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງມິຕິແລະການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີ, ເຊິ່ງເປັນເຄື່ອງບໍລິໂພກທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor.
ເຮືອ SEMICERA isostatic PECVD graphite ມີຂໍ້ດີດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:
▪ ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ: ວັດສະດຸກຼາຟີດມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ ແລະ ມີຄວາມບໍລິສຸດຕໍ່າເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການປົນເປື້ອນຂອງພື້ນຜິວ wafer.
▪ ຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງ: ຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງ, ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກສູງ, ສາມາດທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດສູງ.
▪ ສະຖຽນລະພາບມິຕິທີ່ດີ: ການປ່ຽນແປງມິຕິຂະຫນາດນ້ອຍໃນອຸນຫະພູມສູງເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ.
▪ ການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ: ຖ່າຍທອດຄວາມຮ້ອນຢ່າງມີປະສິດທິພາບເພື່ອປ້ອງກັນຄວາມຮ້ອນເກີນຂອງ wafer.
▪ ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ: ສາມາດຕ້ານການເຊາະເຈື່ອນຂອງທາດອາຍຜິດຕ່າງໆ ແລະ plasma.
| ຕົວກໍານົດການປະສິດທິພາບ | semicera | SGL R6510 | ຕົວກໍານົດການປະສິດທິພາບ |
| ຄວາມໜາແໜ້ນ (g/cm3) | 1.91 | 1.83 | 1.85 |
| ຄວາມແຮງບິດ (MPa) | 63 | 60 | 49 |
| ຄວາມແຮງບີບອັດ (MPa) | 135 | ໑໓໐ | 103 |
| ຄວາມແຂງຂອງຝັ່ງ (HS) | 70 | 64 | 60 |
| ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (10-6/K) | 85 | 105 | ໑໓໐ |
| ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (10-6/K) | 5.85 | 4.2 | 5.0 |
| ຄວາມຕ້ານທານ (μΩm) | 11-13 | 13 | 10 |
ຂໍ້ດີຂອງການເລືອກພວກເຮົາ:
▪ ການຄັດເລືອກວັດສະດຸ: ວັດສະດຸກຼາຟີດທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຮັບປະກັນຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນ.
▪ ເທກໂນໂລຍີການປຸງແຕ່ງ: ການກົດ isostatic ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງຜະລິດຕະພັນແລະຄວາມເປັນເອກະພາບ.
▪ ການປັບແຕ່ງຂະຫນາດ: ເຮືອ Graphite ທີ່ມີຂະຫນາດແລະຮູບຮ່າງທີ່ແຕກຕ່າງກັນສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າ.
▪ ການປິ່ນປົວພື້ນຜິວ: ມີຫຼາຍວິທີການປິ່ນປົວພື້ນຜິວ, ເຊັ່ນ: ການເຄືອບ silicon carbide, boron nitride, ແລະອື່ນໆ, ເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂະບວນການທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.
