ເຫດຜົນຕົ້ນຕໍທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຄວາມຕ້ານທານ radial ຂອງໄປເຊຍກັນດຽວແມ່ນຄວາມຮາບພຽງຂອງການໂຕ້ຕອບຂອງແຫຼວແຂງແລະຜົນກະທົບຂອງຍົນຂະຫນາດນ້ອຍໃນລະຫວ່າງການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຜລຶກ.
ອິດທິພົນຂອງຄວາມຮາບພຽງຂອງການໂຕ້ຕອບຂອງແຂງ - ແຫຼວໃນລະຫວ່າງການຈະເລີນເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ, ຖ້າການລະລາຍໄດ້ຖືກ stirred ເທົ່າທຽມກັນ, ດ້ານຕ້ານທານເທົ່າທຽມກັນແມ່ນການໂຕ້ຕອບຂອງແຂງ - ແຫຼວ (ຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນຂອງ impurity ໃນ melt ແມ່ນແຕກຕ່າງຈາກຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນ impurity ໃນໄປເຊຍກັນ, ດັ່ງນັ້ນ. ຄວາມຕ້ານທານແມ່ນແຕກຕ່າງກັນ, ແລະຄວາມຕ້ານທານແມ່ນເທົ່າທຽມກັນພຽງແຕ່ຢູ່ໃນການໂຕ້ຕອບຂອງທາດແຫຼວ). ໃນເວລາທີ່ impurity K<1, ການໂຕ້ຕອບ concave ກັບ melt ຈະເຮັດໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານ radial ສູງໃນກາງແລະຕ່ໍາຢູ່ໃນຂອບ, ໃນຂະນະທີ່ການໂຕ້ຕອບ concave ກັບ melt ແມ່ນກົງກັນຂ້າມ. ຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຄວາມຕ້ານທານ radial ຂອງການໂຕ້ຕອບຂອງແຫຼວທີ່ຮາບພຽງແມ່ນດີກວ່າ. ຮູບຮ່າງຂອງການໂຕ້ຕອບຂອງທາດແຫຼວທີ່ແຂງໃນລະຫວ່າງການດຶງໄປເຊຍກັນແມ່ນຖືກກໍານົດໂດຍປັດໃຈເຊັ່ນການແຜ່ກະຈາຍຂອງພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນແລະຕົວກໍານົດການການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຜລຶກ. ໃນໄປເຊຍກັນດຽວທີ່ດຶງຊື່, ຮູບຮ່າງຂອງພື້ນຜິວແຂງ - ແຫຼວເປັນຜົນມາຈາກຜົນກະທົບລວມຂອງປັດໃຈເຊັ່ນ: ການແຜ່ກະຈາຍອຸນຫະພູມ furnace ແລະການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນໄປເຊຍກັນ.
ເມື່ອດຶງໄປເຊຍກັນ, ມີສີ່ປະເພດຕົ້ນຕໍຂອງການແລກປ່ຽນຄວາມຮ້ອນຢູ່ໃນການໂຕ້ຕອບຂອງແຂງ - ແຫຼວ:
ຄວາມຮ້ອນ latent ຂອງການປ່ຽນແປງໄລຍະທີ່ປ່ອຍອອກມາໂດຍ molten silicon solidification
ການດໍາເນີນການຄວາມຮ້ອນຂອງ melt ໄດ້
ການນໍາຄວາມຮ້ອນຂຶ້ນຜ່ານໄປເຊຍກັນ
ຄວາມຮ້ອນຂອງລັງສີພາຍນອກຜ່ານໄປເຊຍກັນ
ຄວາມຮ້ອນ latent ແມ່ນເປັນເອກະພາບສໍາລັບການໂຕ້ຕອບທັງຫມົດ, ແລະຂະຫນາດຂອງມັນບໍ່ປ່ຽນແປງເມື່ອອັດຕາການເຕີບໂຕຄົງທີ່. (ການນໍາຄວາມຮ້ອນໄວ, ຄວາມເຢັນໄວ, ແລະອັດຕາການແຂງຕົວເພີ່ມຂຶ້ນ)
ໃນເວລາທີ່ຫົວຂອງໄປເຊຍກັນການຂະຫຍາຍຕົວຢູ່ໃກ້ກັບ rod ໄປເຊຍກັນແກ່ນນ້ໍາເຢັນຂອງ furnace ໄປເຊຍກັນດຽວ, gradient ອຸນຫະພູມໃນໄປເຊຍກັນແມ່ນຂະຫນາດໃຫຍ່, ຊຶ່ງເຮັດໃຫ້ການນໍາຄວາມຮ້ອນຕາມລວງຍາວຂອງໄປເຊຍກັນໄດ້ຫຼາຍກ່ວາຄວາມຮ້ອນ radiation ດ້ານ, ດັ່ງນັ້ນ. ການໂຕ້ຕອບຂອງແຂງ-ແຫຼວ convex ກັບ melt ໄດ້.
ເມື່ອໄປເຊຍກັນເຕີບໂຕເຖິງກາງ, ການດໍາເນີນການຄວາມຮ້ອນຕາມລວງຍາວແມ່ນເທົ່າກັບຄວາມຮ້ອນຂອງຮັງສີດ້ານ, ດັ່ງນັ້ນການໂຕ້ຕອບແມ່ນກົງ.
ຢູ່ຫາງຂອງໄປເຊຍກັນ, ການດໍາເນີນການຄວາມຮ້ອນຕາມລວງຍາວແມ່ນຫນ້ອຍກ່ວາຄວາມຮ້ອນ radiation ດ້ານ, ເຮັດໃຫ້ການໂຕ້ຕອບຂອງແຂງ-liquid concave ກັບ melt ໄດ້.
ເພື່ອໃຫ້ໄດ້ໄປເຊຍກັນອັນດຽວທີ່ມີຄວາມຕ້ານທານ radial ເປັນເອກະພາບ, ການໂຕ້ຕອບຂອງນ້ໍາແຂງຕ້ອງໄດ້ຮັບການປັບລະດັບ.
ວິທີການນໍາໃຊ້ແມ່ນ: ①ປັບລະບົບການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຄວາມຮ້ອນໄປເຊຍກັນເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການ gradient ອຸນຫະພູມ radial ຂອງພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນ.
②ປັບຕົວກໍານົດການດໍາເນີນການດຶງໄປເຊຍກັນ. ສໍາລັບຕົວຢ່າງ, ສໍາລັບການໂຕ້ຕອບ convex ກັບ melt ໄດ້, ເພີ່ມຄວາມໄວການດຶງເພື່ອເພີ່ມອັດຕາການແຂງຂອງໄປເຊຍກັນ. ໃນເວລານີ້, ເນື່ອງຈາກການເພີ່ມຂື້ນຂອງຄວາມຮ້ອນ latent crystallization ທີ່ປ່ອຍອອກມາໃນການໂຕ້ຕອບ, ອຸນຫະພູມ melt ຢູ່ໃກ້ກັບການໂຕ້ຕອບເພີ່ມຂຶ້ນ, ເຮັດໃຫ້ເກີດການ melting ຂອງສ່ວນຫນຶ່ງຂອງໄປເຊຍກັນຢູ່ໃນການໂຕ້ຕອບ, ເຮັດໃຫ້ການໂຕ້ຕອບແປ. ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ຖ້າຫາກວ່າການໂຕ້ຕອບການຂະຫຍາຍຕົວແມ່ນ concave ໄປສູ່ການ melt ໄດ້, ອັດຕາການຂະຫຍາຍຕົວສາມາດຫຼຸດລົງ, ແລະ melt ຈະ solidify ປະລິມານທີ່ສອດຄ້ອງກັນ, ເຮັດໃຫ້ການໂຕ້ຕອບການຂະຫຍາຍຕົວແປ.
③ ປັບຄວາມໄວການຫມຸນຂອງໄປເຊຍກັນຫຼື crucible. ການເພີ່ມຄວາມໄວການຫມຸນໄປເຊຍກັນຈະເພີ່ມການໄຫຼຂອງຂອງແຫຼວທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງເຄື່ອນຍ້າຍຈາກລຸ່ມຂຶ້ນເທິງໃນການໂຕ້ຕອບຂອງແຫຼວແຂງ, ເຮັດໃຫ້ການໂຕ້ຕອບປ່ຽນຈາກ convex ກັບ concave. ທິດທາງຂອງການໄຫຼຂອງຂອງແຫຼວທີ່ເກີດຈາກການຫມຸນຂອງ crucible ແມ່ນຄືກັນກັບຂອງ convection ທໍາມະຊາດ, ແລະຜົນກະທົບແມ່ນກົງກັນຂ້າມຢ່າງສົມບູນກັບການຫມຸນໄປເຊຍກັນໄດ້.
④ ການເພີ່ມອັດຕາສ່ວນຂອງເສັ້ນຜ່າສູນກາງພາຍໃນຂອງ crucible ກັບເສັ້ນຜ່າກາງຂອງໄປເຊຍກັນຈະ flatten ການໂຕ້ຕອບຂອງນ້ໍາແຂງ, ແລະຍັງສາມາດຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງ dislocation ແລະເນື້ອໃນອົກຊີເຈນທີ່ຢູ່ໃນໄປເຊຍກັນໄດ້. ໂດຍທົ່ວໄປ, ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ crucible: ເສັ້ນຜ່າສູນກາງໄປເຊຍກັນ = 3 ~ 2.5: 1.
ອິດທິພົນຂອງຜົນກະທົບຂອງຍົນຂະຫນາດນ້ອຍ
ການໂຕ້ຕອບຂອງທາດແຫຼວທີ່ແຂງຂອງການຂະຫຍາຍຕົວຂອງໄປເຊຍກັນແມ່ນມັກຈະໂຄ້ງລົງເນື່ອງຈາກການຈໍາກັດຂອງ isotherm melt ໃນ crucible. ຖ້າໄປເຊຍກັນຖືກຍົກຂຶ້ນຢ່າງໄວວາໃນລະຫວ່າງການຈະເລີນເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ, ຍົນຮາບພຽງຂະຫນາດນ້ອຍຈະປາກົດຢູ່ໃນການໂຕ້ຕອບຂອງແຫຼວແຂງຂອງ (111) germanium ແລະຊິລິໂຄນໄປເຊຍກັນ. ມັນແມ່ນຍົນປະລໍາມະນູ (111) ປະຈຸບັນ, ໂດຍປົກກະຕິເອີ້ນວ່າຍົນນ້ອຍ.
ຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງຄວາມບໍ່ສະອາດຢູ່ໃນພື້ນທີ່ຍົນຂະຫນາດນ້ອຍແມ່ນແຕກຕ່າງກັນຫຼາຍຈາກພື້ນທີ່ຂອງຍົນທີ່ບໍ່ແມ່ນຂະຫນາດນ້ອຍ. ປະກົດການຂອງການແຜ່ກະຈາຍຜິດປົກກະຕິຂອງ impurities ໃນພື້ນທີ່ຍົນຂະຫນາດນ້ອຍເອີ້ນວ່າຜົນກະທົບຍົນຂະຫນາດນ້ອຍ.
ເນື່ອງຈາກຜົນກະທົບຂອງຍົນຂະຫນາດນ້ອຍ, ຄວາມຕ້ານທານຂອງພື້ນທີ່ຍົນຂະຫນາດນ້ອຍຈະຫຼຸດລົງ, ແລະໃນກໍລະນີທີ່ຮຸນແຮງ, ແກນທໍ່ impurity ຈະປາກົດ. ເພື່ອລົບລ້າງຄວາມຕ້ານທານຂອງ radial inhomogeneity ທີ່ເກີດຈາກຜົນກະທົບຂອງຍົນຂະຫນາດນ້ອຍ, ການໂຕ້ຕອບຂອງນ້ໍາແຂງຕ້ອງໄດ້ຮັບການປັບລະດັບ.
ຍິນດີຕ້ອນຮັບລູກຄ້າຈາກທົ່ວໂລກມາຢ້ຽມຢາມພວກເຮົາເພື່ອສົນທະນາຕື່ມອີກ!
https://www.semi-cera.com/
https://www.semi-cera.com/tac-coating-monocrystal-growth-parts/
https://www.semi-cera.com/cvd-coating/
ເວລາປະກາດ: 24-07-2024