ໃນອຸປະກອນ plasma etching, ອົງປະກອບຂອງເຊລາມິກມີບົດບາດສໍາຄັນ, ລວມທັງວົງການສຸມໃສ່.ໄດ້ ວົງການສຸມໃສ່, ວາງໄວ້ຮອບ wafer ແລະຕິດຕໍ່ໂດຍກົງກັບມັນ, ເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການສຸມໃສ່ການ plasma ໃສ່ wafer ໄດ້ໂດຍການໃຊ້ແຮງດັນກັບວົງ. ນີ້ເສີມຂະຫຍາຍຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຂະບວນການ etching.
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງ SiC Focus Rings ໃນເຄື່ອງຈັກ Etching
ອົງປະກອບ SiC CVDໃນເຄື່ອງ etching, ເຊັ່ນ:ວົງການສຸມໃສ່, ຫົວອາບອາຍແກັສ, platens, ແລະຂອບວົງ, ໄດ້ຮັບການເອື້ອອໍານວຍເນື່ອງຈາກການປະຕິກິລິຍາຕ່ໍາຂອງ SiC ກັບ chlorine ແລະ fluorine-based gases etching ແລະການປະພຶດຂອງມັນ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນອຸປະກອນທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບອຸປະກອນ etching plasma.
ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງ SiC ເປັນວັດສະດຸວົງ Focus
ເນື່ອງຈາກການສໍາຜັດໂດຍກົງກັບ plasma ຢູ່ໃນຫ້ອງຕິກິຣິຍາສູນຍາກາດ, ແຫວນຈຸດສຸມຈໍາເປັນຕ້ອງເຮັດຈາກວັດສະດຸທີ່ທົນທານຕໍ່ plasma. ແຫວນຈຸດສຸມແບບດັ້ງເດີມ, ຜະລິດຈາກຊິລິໂຄນຫຼື quartz, ທົນທຸກຈາກການຕໍ່ຕ້ານການກັດກ່ອນໃນ plasmas ທີ່ມີ fluorine, ເຮັດໃຫ້ການກັດກ່ອນໄວແລະປະສິດທິພາບຫຼຸດລົງ.
ການປຽບທຽບລະຫວ່າງ Si ແລະ CVD SiC Focus Rings:
1. ຄວາມຫນາແຫນ້ນທີ່ສູງຂຶ້ນ:ຫຼຸດຜ່ອນປະລິມານການດູດຊຶມ.
2. ແຖບກວ້າງ: ສະຫນອງ insulation ທີ່ດີເລີດ.
3. ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ & ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວຕ່ໍາ: ທົນທານຕໍ່ການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນ.
4. ຄວາມຍືດຫຍຸ່ນສູງ:ຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີຕໍ່ຜົນກະທົບກົນຈັກ.
5. ຄວາມແຂງສູງ: ສວມໃສ່ແລະທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ.
SiC ແບ່ງປັນການນໍາໄຟຟ້າຂອງຊິລິໂຄນໃນຂະນະທີ່ສະຫນອງຄວາມຕ້ານທານທີ່ເຫນືອກວ່າຕໍ່ການ etching ionic. ໃນຂະນະທີ່ miniaturization ວົງຈອນປະສົມປະສານກ້າວຫນ້າ, ຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບຂະບວນການ etching ປະສິດທິພາບຫຼາຍເພີ່ມຂຶ້ນ. ອຸປະກອນ plasma etching, ໂດຍສະເພາະຜູ້ທີ່ໃຊ້ plasma ຄູ່ capacitive (CCP), ຕ້ອງການພະລັງງານ plasma ສູງ, ເຮັດໃຫ້ແຫວນຈຸດສຸມ SiCເປັນທີ່ນິຍົມຫລາຍຂຶ້ນ.
Si ແລະ CVD SiC Focus Ring Parameters:
| ພາລາມິເຕີ | ຊິລິໂຄນ (Si) | CVD Silicon Carbide (SiC) |
| ຄວາມໜາແໜ້ນ (g/cm³) | 2.33 | 3.21 |
| Band Gap (eV) | 1.12 | 2.3 |
| ການນໍາຄວາມຮ້ອນ (W/cm°C) | 1.5 | 5 |
| ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (x10⁻⁶/°C) | 2.6 | 4 |
| ໂມດູລສຕິກ (Gpa) | 150 | 440 |
| ຄວາມແຂງ | ຕ່ໍາກວ່າ | ສູງກວ່າ |
ຂະບວນການຜະລິດຂອງ SiC Focus Rings
ໃນອຸປະກອນ semiconductor, CVD (Chemical Vapor Deposition) ແມ່ນໃຊ້ທົ່ວໄປເພື່ອຜະລິດອົງປະກອບ SiC. ແຫວນຈຸດສຸມແມ່ນຜະລິດໂດຍການຝາກ SiC ເຂົ້າໄປໃນຮູບຮ່າງສະເພາະໂດຍຜ່ານການລະບາຍອາຍ, ປະຕິບັດຕາມໂດຍການປຸງແຕ່ງກົນຈັກເພື່ອສ້າງເປັນຜະລິດຕະພັນສຸດທ້າຍ. ອັດຕາສ່ວນວັດສະດຸສໍາລັບການລະລາຍຂອງ vapor ແມ່ນຄົງທີ່ຫຼັງຈາກການທົດລອງຢ່າງກວ້າງຂວາງ, ເຮັດໃຫ້ຕົວກໍານົດການເຊັ່ນ: ຄວາມຕ້ານທານສອດຄ່ອງ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ອຸປະກອນ etching ທີ່ແຕກຕ່າງກັນອາດຈະຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີວົງການສຸມໃສ່ການຕໍ່ຕ້ານທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ຈໍາເປັນຕ້ອງມີການທົດລອງອັດຕາສ່ວນວັດສະດຸໃຫມ່ສໍາລັບແຕ່ລະສະເພາະ, ເຊິ່ງໃຊ້ເວລາຫຼາຍແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ.
ໂດຍການເລືອກແຫວນຈຸດສຸມ SiCຈາກSemicera Semiconductor, ລູກຄ້າສາມາດບັນລຸຜົນປະໂຫຍດຂອງວົງຈອນການທົດແທນທີ່ຍາວກວ່າແລະການປະຕິບັດທີ່ດີກວ່າໂດຍບໍ່ມີການເພີ່ມຂຶ້ນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍໃນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ.
ການປະມວນຜົນຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາ (RTP) ອົງປະກອບ
ຄຸນສົມບັດຄວາມຮ້ອນພິເສດຂອງ CVD SiC ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ RTP. ອົງປະກອບ RTP, ລວມທັງວົງຂອບແລະແຜ່ນ, ໄດ້ຮັບຜົນປະໂຫຍດຈາກ CVD SiC. ໃນລະຫວ່າງການ RTP, ຄວາມຮ້ອນແຮງດັນແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ກັບ wafers ສ່ວນບຸກຄົນສໍາລັບໄລຍະເວລາສັ້ນ, ປະຕິບັດຕາມໂດຍການເຢັນຢ່າງໄວວາ. ວົງແຫວນຂອບ CVD SiC, ມີຄວາມບາງແລະມີມວນຄວາມຮ້ອນຕໍ່າ, ບໍ່ຮັກສາຄວາມຮ້ອນທີ່ສໍາຄັນ, ເຮັດໃຫ້ພວກມັນບໍ່ໄດ້ຮັບຜົນກະທົບຈາກຂະບວນການເຮັດຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມເຢັນຢ່າງໄວວາ.
ອົງປະກອບຂອງ etching plasma
ຄວາມຕ້ານທານສານເຄມີສູງຂອງ CVD SiC ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ etching. ຫ້ອງ etching ຫຼາຍໃຊ້ແຜ່ນແຈກຈ່າຍກ໊າຊ CVD SiC ເພື່ອແຈກຢາຍກ໊າຊ etching, ບັນຈຸມີຮູນ້ອຍໆຫລາຍພັນຮູສໍາລັບການກະຈາຍຂອງ plasma. ເມື່ອປຽບທຽບກັບວັດສະດຸທາງເລືອກ, CVD SiC ມີປະຕິກິລິຍາຕ່ໍາກັບກ໊າຊ chlorine ແລະ fluorine. ໃນການແກະສະຫຼັກແຫ້ງ, ອົງປະກອບຂອງ CVD SiC ເຊັ່ນ: ແຫວນໂຟກັສ, ແຜ່ນ ICP, ແຫວນຊາຍແດນ, ແລະຫົວອາບນ້ໍາແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປ.
ແຫວນໂຟກັສ SiC, ດ້ວຍແຮງດັນທີ່ໃຊ້ໃນການສຸມໃສ່ plasma, ຕ້ອງມີ conductivity ພຽງພໍ. ໂດຍປົກກະຕິແມ່ນເຮັດດ້ວຍຊິລິໂຄນ, ແຫວນຈຸດສຸມແມ່ນສໍາຜັດກັບທາດອາຍຜິດປະຕິກິລິຍາທີ່ມີ fluorine ແລະ chlorine, ນໍາໄປສູ່ການກັດກ່ອນທີ່ບໍ່ສາມາດຫຼີກລ່ຽງໄດ້. ວົງແຫວນທີ່ເນັ້ນໃສ່ SiC, ດ້ວຍຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນດີກວ່າ, ມີຊີວິດຊີວາທີ່ຍາວກວ່າເມື່ອທຽບກັບແຫວນຊິລິໂຄນ.
ການປຽບທຽບວົງຈອນຊີວິດ:
· SiC Focus Rings:ທົດແທນທຸກໆ 15 ຫາ 20 ມື້.
· Silicon Focus Rings:ທົດແທນທຸກໆ 10 ຫາ 12 ມື້.
ເຖິງວ່າຈະມີວົງແຫວນ SiC ມີລາຄາແພງກວ່າແຫວນຊິລິໂຄນ 2 ຫາ 3 ເທົ່າ, ວົງຈອນການທົດແທນທີ່ຂະຫຍາຍໄດ້ຫຼຸດລົງຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການທົດແທນອົງປະກອບທັງຫມົດ, ຍ້ອນວ່າທຸກຊິ້ນສ່ວນທີ່ສວມໃສ່ໃນຫ້ອງໄດ້ຖືກທົດແທນພ້ອມໆກັນໃນເວລາທີ່ສະພາການຖືກເປີດສໍາລັບການປ່ຽນແຫວນຈຸດສຸມ.
ແຫວນຈຸດສຸມ SiC ຂອງ Semicera Semiconductor
Semicera Semiconductor ສະຫນອງແຫວນຈຸດສຸມ SiC ໃນລາຄາທີ່ໃກ້ຄຽງກັບວົງແຫວນຊິລິໂຄນ, ໂດຍໃຊ້ເວລາປະມານ 30 ມື້. ໂດຍການລວມເອົາແຫວນຈຸດສຸມຂອງ Semicera ຂອງ SiC ເຂົ້າໄປໃນອຸປະກອນ plasma etching, ປະສິດທິພາບແລະອາຍຸຍືນໄດ້ຖືກປັບປຸງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການບໍາລຸງຮັກສາໂດຍລວມແລະເພີ່ມປະສິດທິພາບການຜະລິດ. ນອກຈາກນັ້ນ, Semicera ສາມາດປັບແຕ່ງຄວາມຕ້ານທານຂອງແຫວນຈຸດສຸມເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າສະເພາະ.
ໂດຍການເລືອກແຫວນຈຸດສຸມ SiC ຈາກ Semicera Semiconductor, ລູກຄ້າສາມາດບັນລຸຜົນປະໂຫຍດຂອງວົງຈອນການທົດແທນທີ່ຍາວກວ່າແລະການປະຕິບັດທີ່ເຫນືອກວ່າໂດຍບໍ່ມີການເພີ່ມຂຶ້ນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍໃນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ.
ເວລາປະກາດ: ກໍລະກົດ-10-2024