ອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ກໍາລັງເຫັນການຂະຫຍາຍຕົວທີ່ບໍ່ເຄີຍມີມາກ່ອນ, ໂດຍສະເພາະໃນຂອບເຂດຂອງຊິລິຄອນຄາໄບ (SiC)ເອເລັກໂຕຣນິກພະລັງງານ.ທີ່ມີຂະຫນາດໃຫຍ່ຫຼາຍwaferfabs ກໍາລັງດໍາເນີນການກໍ່ສ້າງຫຼືການຂະຫຍາຍຕົວເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນສໍາລັບອຸປະກອນ SiC ໃນຍານພາຫະນະໄຟຟ້າ, ການຂະຫຍາຍຕົວນີ້ສະເຫນີໂອກາດທີ່ໂດດເດັ່ນສໍາລັບການເຕີບໂຕຂອງກໍາໄລ.ຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ມັນຍັງນໍາເອົາສິ່ງທ້າທາຍທີ່ເປັນເອກະລັກທີ່ຕ້ອງການການແກ້ໄຂໃຫມ່ໆ.
ຫົວໃຈຂອງການເພີ່ມການຜະລິດຊິບ SiC ທົ່ວໂລກແມ່ນການຜະລິດໄປເຊຍກັນ SiC, wafers, ແລະຊັ້ນ epitaxial ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ.ທີ່ນີ້,semiconductor-grade graphiteວັດສະດຸມີບົດບາດສໍາຄັນ, ອໍານວຍຄວາມສະດວກໃນການເຕີບໂຕຂອງໄປເຊຍກັນ SiC ແລະການຝາກຕົວຂອງຊັ້ນ SiC epitaxial.ການສນວນກັນຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມອິດເມື່ອຍຂອງ Graphite ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນວັດສະດຸທີ່ຕ້ອງການ, ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນ crucibles, pedestals, planetary disks, ແລະດາວທຽມພາຍໃນລະບົບການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນແລະ epitaxy.ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ເງື່ອນໄຂຂະບວນການທີ່ຮຸນແຮງເຮັດໃຫ້ເກີດສິ່ງທ້າທາຍທີ່ສໍາຄັນ, ນໍາໄປສູ່ການເຊື່ອມໂຊມຂອງອົງປະກອບ graphite ຢ່າງໄວວາແລະຕໍ່ມາຂັດຂວາງການຜະລິດໄປເຊຍກັນ SiC ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງແລະຊັ້ນ epitaxial.
ການຜະລິດໄປເຊຍກັນ silicon carbide ປະກອບມີເງື່ອນໄຂຂະບວນການທີ່ຮຸນແຮງທີ່ສຸດ, ລວມທັງອຸນຫະພູມທີ່ເກີນ 2000 ° C ແລະທາດອາຍແກັສທີ່ມີສານກັດກ່ອນສູງ.ນີ້ມັກຈະເຮັດໃຫ້ການ corrosion ສົມບູນຂອງ crucibles graphite ຫຼັງຈາກວົງຈອນຂະບວນການຫຼາຍ, ດັ່ງນັ້ນ escalating ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍການຜະລິດ.ນອກຈາກນັ້ນ, ເງື່ອນໄຂທີ່ຮຸນແຮງໄດ້ປ່ຽນແປງຄຸນສົມບັດດ້ານຂອງອົງປະກອບ graphite, ທໍາລາຍການເຮັດເລື້ມຄືນແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການຜະລິດ.
ເພື່ອຕ້ານກັບສິ່ງທ້າທາຍເຫຼົ່ານີ້ຢ່າງມີປະສິດທິຜົນ, ເຕັກໂນໂລຢີການເຄືອບປ້ອງກັນໄດ້ກາຍມາເປັນຕົວປ່ຽນແປງເກມ.ການເຄືອບປ້ອງກັນໂດຍອີງໃສ່tantalum carbide (TaC)ໄດ້ຖືກນໍາສະເຫນີເພື່ອແກ້ໄຂບັນຫາການເຊື່ອມໂຊມຂອງອົງປະກອບ graphite ແລະການຂາດແຄນການສະຫນອງ graphite.ວັດສະດຸ TaC ສະແດງໃຫ້ເຫັນອຸນຫະພູມການລະລາຍເກີນ 3800 ° C ແລະທົນທານຕໍ່ສານເຄມີພິເສດ.ເຕັກໂນໂລຊີການປ່ອຍອາຍແກັສເຄມີ (CVD),ການເຄືອບ TaCມີຄວາມຫນາເຖິງ 35 ມິນລິແມັດສາມາດຖືກຝາກໄວ້ seamlessly ກ່ຽວກັບອົງປະກອບ graphite.ຊັ້ນປ້ອງກັນນີ້ບໍ່ພຽງແຕ່ເພີ່ມຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງວັດສະດຸ, ແຕ່ຍັງຂະຫຍາຍອາຍຸການຂອງອົງປະກອບ graphite ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ດັ່ງນັ້ນການຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດແລະເພີ່ມປະສິດທິພາບການດໍາເນີນງານ.
Semicera, ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການຊັ້ນນໍາຂອງການເຄືອບ TaC, ໄດ້ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການປະຕິວັດອຸດສາຫະກໍາ semiconductor.ດ້ວຍເທກໂນໂລຍີທີ່ທັນສະ ໄໝ ແລະຄວາມມຸ່ງ ໝັ້ນ ທີ່ບໍ່ມີການປ່ຽນແປງຕໍ່ຄຸນນະພາບ, Semicera ໄດ້ເຮັດໃຫ້ຜູ້ຜະລິດ semiconductor ສາມາດເອົາຊະນະສິ່ງທ້າທາຍທີ່ສໍາຄັນແລະບັນລຸຄວາມສູງໃຫມ່ຂອງຄວາມສໍາເລັດ.ໂດຍການສະເຫນີການເຄືອບ TaC ດ້ວຍປະສິດທິພາບແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືທີ່ບໍ່ມີໃຜທຽບເທົ່າ, Semicera ໄດ້ເພີ່ມຕໍາແຫນ່ງຂອງຕົນເປັນຄູ່ຮ່ວມງານທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ສໍາລັບບໍລິສັດ semiconductor ທົ່ວໂລກ.
ສະຫລຸບລວມແລ້ວ, ເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບປ້ອງກັນ, ຂັບເຄື່ອນໂດຍປະດິດສ້າງເຊັ່ນການເຄືອບ TaCຈາກ Semicera, ກໍາລັງປັບປຸງພູມສັນຖານຂອງ semiconductor ແລະປູທາງໄປສູ່ອະນາຄົດທີ່ມີປະສິດທິພາບແລະຍືນຍົງ.
ເວລາປະກາດ: 16-05-2024