ຂະບວນການເຕີບໃຫຍ່ຂອງໄປເຊຍກັນແມ່ນຢູ່ໃນຈຸດໃຈກາງຂອງການຜະລິດ semiconductor, ບ່ອນທີ່ການຜະລິດ wafers ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງແມ່ນສໍາຄັນ. ອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນໃນຂະບວນການເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນເຮືອ wafer silicon carbide (SiC).. ເຮືອ wafer SiC ໄດ້ຮັບການຍອມຮັບຢ່າງໃຫຍ່ຫຼວງໃນອຸດສາຫະກໍາເນື່ອງຈາກປະສິດທິພາບພິເສດແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງພວກເຂົາ. ໃນບົດຄວາມນີ້, ພວກເຮົາຈະຄົ້ນຫາຄຸນລັກສະນະທີ່ໂດດເດັ່ນຂອງSiC wafer ເຮືອແລະພາລະບົດບາດຂອງເຂົາເຈົ້າໃນການອໍານວຍຄວາມສະດວກການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນໃນການຜະລິດ semiconductor.
SiC wafer ເຮືອໄດ້ຖືກອອກແບບໂດຍສະເພາະເພື່ອຖືແລະການຂົນສົ່ງ wafers semiconductor ໃນໄລຍະຕ່າງໆຂອງການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ. ໃນຖານະເປັນວັດສະດຸ, ຊິລິໂຄນ carbide ສະຫນອງການປະສົມປະສານທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງຄຸນສົມບັດທີ່ຕ້ອງການທີ່ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບເຮືອ wafer. ທໍາອິດແລະສໍາຄັນແມ່ນຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກທີ່ໂດດເດັ່ນແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງ. SiC ມີຄວາມແຂງກະດ້າງແລະແຂງທີ່ດີເລີດ, ເຮັດໃຫ້ມັນທົນທານຕໍ່ສະພາບທີ່ຮຸນແຮງທີ່ພົບໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ.
ຫນຶ່ງປະໂຫຍດທີ່ສໍາຄັນຂອງSiC wafer ເຮືອເປັນການນໍາໃຊ້ຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນພິເສດຂອງເຂົາເຈົ້າ. ການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນແມ່ນປັດໃຈສໍາຄັນໃນການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ, ເນື່ອງຈາກວ່າມັນມີອິດທິພົນຕໍ່ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງອຸນຫະພູມແລະປ້ອງກັນຄວາມກົດດັນຂອງຄວາມຮ້ອນໃນ wafers. ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງຂອງ SiC ອໍານວຍຄວາມສະດວກໃນການໂອນຄວາມຮ້ອນທີ່ມີປະສິດທິພາບ, ຮັບປະກັນການກະຈາຍອຸນຫະພູມທີ່ສອດຄ່ອງໃນທົ່ວ wafers. ລັກສະນະນີ້ແມ່ນເປັນປະໂຫຍດໂດຍສະເພາະໃນຂະບວນການເຊັ່ນການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ epitaxial, ບ່ອນທີ່ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການບັນລຸການຊຶມເຊື້ອຂອງຮູບເງົາເປັນເອກະພາບ.
ນອກຈາກນັ້ນ,SiC wafer ເຮືອສະແດງໃຫ້ເຫັນ inertness ເຄມີທີ່ດີເລີດ. ພວກມັນທົນທານຕໍ່ລະດັບຄວາມກ້ວາງຂອງສານເຄມີ corrosive ແລະອາຍແກັສທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປໃນການຜະລິດ semiconductor. ຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີນີ້ຮັບປະກັນວ່າSiC wafer ເຮືອຮັກສາຄວາມຊື່ສັດແລະການປະຕິບັດຂອງເຂົາເຈົ້າໃນໄລຍະການສໍາຜັດກັບສະພາບແວດລ້ອມຂະບວນການທີ່ຮຸນແຮງ. ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການໂຈມຕີທາງເຄມີປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນແລະການເຊື່ອມໂຊມຂອງວັດສະດຸ, ປົກປ້ອງຄຸນນະພາບຂອງ wafers ທີ່ຖືກປູກ.
ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງມິຕິລະດັບຂອງເຮືອ wafer SiC ແມ່ນອີກລັກສະນະຫນຶ່ງທີ່ຫນ້າສັງເກດ. ພວກເຂົາເຈົ້າໄດ້ຖືກອອກແບບເພື່ອຮັກສາຮູບຮ່າງແລະຮູບແບບຂອງເຂົາເຈົ້າເຖິງແມ່ນວ່າພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມສູງ, ຮັບປະກັນການຈັດຕໍາແຫນ່ງທີ່ຖືກຕ້ອງຂອງ wafers ໃນລະຫວ່າງການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ. ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງມິຕິມິຕິຫຼຸດຜ່ອນການຜິດປົກກະຕິຫຼືການບິດເບືອນຂອງເຮືອ, ເຊິ່ງສາມາດນໍາໄປສູ່ຄວາມສອດຄ່ອງຫຼືການຂະຫຍາຍຕົວທີ່ບໍ່ສອດຄ່ອງໃນທົ່ວ wafers. ການຈັດຕໍາແຫນ່ງທີ່ຊັດເຈນນີ້ແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບການບັນລຸທິດທາງ crystallographic ທີ່ຕ້ອງການແລະຄວາມເປັນເອກະພາບໃນວັດສະດຸ semiconductor ຜົນໄດ້ຮັບ.
ເຮືອ wafer SiC ຍັງສະຫນອງຄຸນສົມບັດໄຟຟ້າທີ່ດີເລີດ. Silicon carbide ແມ່ນວັດສະດຸ semiconductor ຕົວຂອງມັນເອງ, ມີລັກສະນະໂດຍ bandgap ກວ້າງແລະແຮງດັນການທໍາລາຍສູງ. ຄຸນສົມບັດທາງໄຟຟ້າທີ່ປະກົດຂຶ້ນຂອງ SiC ຮັບປະກັນການຮົ່ວໄຫຼຂອງໄຟຟ້າຫນ້ອຍທີ່ສຸດແລະການແຊກແຊງໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ. ນີ້ເປັນສິ່ງສໍາຄັນໂດຍສະເພາະໃນເວລາທີ່ການຂະຫຍາຍຕົວອຸປະກອນພະລັງງານສູງຫຼືເຮັດວຽກກັບໂຄງສ້າງເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ລະອຽດອ່ອນ, ຍ້ອນວ່າມັນຊ່ວຍຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງວັດສະດຸ semiconductor ກໍາລັງຜະລິດ.
ນອກຈາກນັ້ນ, ເຮືອ wafer SiC ແມ່ນເປັນທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບອາຍຸຍືນແລະການນໍາໃຊ້ຄືນໃຫມ່. ພວກມັນມີອາຍຸການເຮັດວຽກທີ່ຍາວນານ, ມີຄວາມສາມາດທີ່ຈະທົນທານຕໍ່ວົງຈອນການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກຫຼາຍໂດຍບໍ່ມີການເສື່ອມໂຊມທີ່ສໍາຄັນ. ຄວາມທົນທານນີ້ແປເປັນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍປະສິດທິພາບແລະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບການທົດແທນເລື້ອຍໆ. ຄວາມສາມາດໃນການນໍາໃຊ້ຄືນໃຫມ່ຂອງເຮືອ wafer SiC ບໍ່ພຽງແຕ່ປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນການປະຕິບັດການຜະລິດແບບຍືນຍົງ, ແຕ່ຍັງຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ສອດຄ່ອງແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືໃນຂະບວນການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ.
ສະຫຼຸບແລ້ວ, ເຮືອ wafer SiC ໄດ້ກາຍເປັນສ່ວນປະກອບສໍາຄັນໃນການເຕີບໂຕຂອງໄປເຊຍກັນສໍາລັບການຜະລິດ semiconductor. ຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກພິເສດຂອງເຂົາເຈົ້າ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນ, inertness ສານເຄມີ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງມິຕິລະດັບ, ແລະຄຸນສົມບັດໄຟຟ້າເຮັດໃຫ້ພວກເຂົາເປັນຄວາມປາຖະຫນາສູງໃນການອໍານວຍຄວາມສະດວກຂະບວນການການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ. ເຮືອ wafer SiC ຮັບປະກັນການແຜ່ກະຈາຍຂອງອຸນຫະພູມທີ່ເປັນເອກະພາບ, ປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນ, ແລະເຮັດໃຫ້ການວາງຕໍາແຫນ່ງທີ່ຊັດເຈນຂອງ wafers, ໃນທີ່ສຸດກໍ່ນໍາໄປສູ່ການຜະລິດວັດສະດຸ semiconductor ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ. ໃນຂະນະທີ່ຄວາມຕ້ອງການອຸປະກອນ semiconductor ກ້າວຫນ້າຍັງສືບຕໍ່ເພີ່ມຂຶ້ນ, ຄວາມສໍາຄັນຂອງເຮືອ wafer SiC ໃນການບັນລຸການເຕີບໂຕຂອງໄປເຊຍກັນທີ່ດີທີ່ສຸດແມ່ນບໍ່ສາມາດ overstated.
ເວລາປະກາດ: 08-08-2024