ອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ອີງໃສ່ອຸປະກອນທີ່ມີຄວາມຊ່ຽວຊານສູງເພື່ອຜະລິດອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ. ຫນຶ່ງໃນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນດັ່ງກ່າວໃນຂະບວນການການຂະຫຍາຍຕົວ epitaxial ແມ່ນຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ pan epitaxial. ອຸປະກອນນີ້ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການວາງຊັ້ນ epitaxial ເທິງ wafers semiconductor, ຮັບປະກັນຄວາມເປັນເອກະພາບແລະຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນສຸດທ້າຍ.
ໝໍ້ໜຶ້ງ epitaxy, ເຊິ່ງເອີ້ນກັນວ່າ epitaxy pan carrier, ແມ່ນຖາດທີ່ອອກແບບສະເພາະທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ epitaxy. ມັນຖືແລະສະຫນັບສະຫນູນ wafers semiconductor ໃນລະຫວ່າງການຝາກຂອງຊັ້ນ epitaxial. ບັນທຸກເຫຼົ່ານີ້ໄດ້ຖືກວິສະວະກໍາເພື່ອທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມ corrosive ປົກກະຕິຂອງຂະບວນການ epitaxial, ສະຫນອງເວທີທີ່ຫມັ້ນຄົງສໍາລັບການຈະເລີນເຕີບໂຕຂອງຊັ້ນແກ້ວດຽວ.
ວັດສະດຸ ແລະການກໍ່ສ້າງ:
ໝໍ້ Epi ໂດຍທົ່ວໄປແມ່ນຜະລິດຈາກວັດສະດຸທີ່ສາມາດທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມທີ່ຮຸນແຮງແລະທົນທານຕໍ່ປະຕິກິລິຍາເຄມີ. ວັດສະດຸທົ່ວໄປປະກອບມີ:
•Silicon Carbide (SiC): ເປັນທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງແລະຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການສວມໃສ່ແລະການຜຸພັງ, SiC ເປັນທາງເລືອກທີ່ນິຍົມສໍາລັບຜູ້ຂົນສົ່ງ epi pan.
• Graphite: ຖືກນໍາໃຊ້ເລື້ອຍໆເນື່ອງຈາກຄຸນສົມບັດຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດແລະຄວາມສາມາດໃນການຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງໃນອຸນຫະພູມສູງ. ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ Graphite ປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນເຄືອບດ້ວຍ SiC ເພື່ອເພີ່ມຄວາມທົນທານແລະຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ.
ບົດບາດໃນຂະບວນການເຕີບໂຕ Epitaxial:
ຂະບວນການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ epitaxial ກ່ຽວຂ້ອງກັບການຊຶມເຊື້ອຂອງຊັ້ນບາງໆຂອງວັດສະດຸ crystalline ເທິງຊັ້ນໃຕ້ດິນຫຼື wafer. ຂະບວນການນີ້ແມ່ນສໍາຄັນໃນການສ້າງອຸປະກອນ semiconductor ທີ່ມີຄຸນສົມບັດໄຟຟ້າທີ່ຊັດເຈນ. ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ epi pan ສະຫນັບສະຫນູນ wafer ຢູ່ໃນຫ້ອງຕິກິຣິຍາແລະຮັບປະກັນວ່າມັນຄົງທີ່ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເງິນຝາກ.
ໜ້າທີ່ຫຼັກຂອງຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ epi pan ປະກອບມີ:
•ການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບ: ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການຮັບປະກັນເຖິງແມ່ນວ່າການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນໃນທົ່ວ wafer, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການບັນລຸຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງຊັ້ນ epitaxial ແລະຄຸນນະພາບ.
• ການແຍກສານເຄມີ: ໂດຍການສະຫນອງພື້ນຜິວທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະ inert, ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການປ້ອງກັນປະຕິກິລິຍາເຄມີທີ່ບໍ່ຕ້ອງການທີ່ອາດຈະເຮັດໃຫ້ຄຸນນະພາບຂອງຊັ້ນ epitaxial ຫຼຸດລົງ.
ຜົນປະໂຫຍດຂອງຄຸນນະພາບສູງEpi Pan ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ:
•ການປັບປຸງປະສິດທິພາບຂອງອຸປະກອນ: ຊັ້ນ epitaxial ເອກະພາບປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນການປະຕິບັດທີ່ດີກວ່າຂອງອຸປະກອນ semiconductor, ຜົນໄດ້ຮັບປະສິດທິພາບແລະເຊື່ອຖືໄດ້ດີກວ່າ.
• ຜົນຜະລິດທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນ: ໂດຍການຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກພ່ອງ ແລະ ຮັບປະກັນການຕົກຄ້າງຂອງຊັ້ນທີ່ເປັນເອກະພາບ, ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງປັບປຸງຜົນຜະລິດຂອງ wafers semiconductor ທີ່ສາມາດໃຊ້ໄດ້.
• ຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການດູແລຮັກສາ: ວັດສະດຸທົນທານແລະວິສະວະກໍາທີ່ຊັດເຈນຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບການທົດແທນແລະການບໍາລຸງຮັກສາເລື້ອຍໆ, ຫຼຸດລົງຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດໂດຍລວມ.
ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ epitaxial ເປັນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນໃນຂະບວນການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ epitaxial, ມີອິດທິພົນໂດຍກົງຕໍ່ຄຸນນະພາບແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງອຸປະກອນ semiconductor. ໂດຍການເລືອກວັດສະດຸແລະການອອກແບບທີ່ເຫມາະສົມ, ຜູ້ຜະລິດສາມາດເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການ epitaxial, ນໍາໄປສູ່ການປັບປຸງການປະຕິບັດອຸປະກອນແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດຫຼຸດລົງ. ໃນຂະນະທີ່ຄວາມຕ້ອງການອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ກ້າວຫນ້າເພີ່ມຂຶ້ນ, ຄວາມສໍາຄັນຂອງຄຸນນະພາບສູງຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ epi panໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ຍັງສືບຕໍ່ເພີ່ມຂຶ້ນ.
ເວລາປະກາດ: ສິງຫາ-13-2024