Tantalum carbide (TaC)ເປັນທາດປະສົມຖານສອງຂອງ tantalum ແລະຄາບອນທີ່ມີສູດເຄມີ TaC x, ບ່ອນທີ່ x ມັກຈະແຕກຕ່າງກັນລະຫວ່າງ 0.4 ແລະ 1. ພວກມັນເປັນວັດສະດຸເຊລາມິກທີ່ແຂງ, ແຂງ, ແຂງ, ທົນທານຕໍ່ການນໍາທາງໂລຫະ. ພວກມັນເປັນຜົງສີນ້ຳຕານແກມສີຂີ້ເຖົ່າ ແລະປົກກະຕິແລ້ວຈະຖືກປຸງແຕ່ງໂດຍການເຜົາຜານ.
Tantalum carbideເປັນວັດສະດຸເຊລາມິກໂລຫະທີ່ສໍາຄັນ. ຫນຶ່ງໃນການນໍາໃຊ້ທີ່ສໍາຄັນຫຼາຍຂອງ tantalum carbide ແມ່ນການເຄືອບ tantalum carbide.
ຄຸນລັກສະນະຜະລິດຕະພັນຂອງການເຄືອບ tantalum carbide
ຈຸດລະລາຍສູງ: ຈຸດ melting ຂອງtantalum carbideແມ່ນສູງເທົ່າທີ່3880°C, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ມັນມີຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແລະບໍ່ງ່າຍທີ່ຈະ melt ຫຼື degrade.
ສະພາບການເຮັດວຽກ:ໂດຍທົ່ວໄປ, ສະພາບການເຮັດວຽກປົກກະຕິຂອງ Tantalum carbide (TaC) ແມ່ນ 2200 ° C. ພິຈາລະນາຈຸດລະລາຍທີ່ສູງທີ່ສຸດຂອງມັນ, TaC ຖືກອອກແບບມາເພື່ອທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງດັ່ງກ່າວໂດຍບໍ່ມີການສູນເສຍຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງຂອງມັນ.
ຄວາມແຂງແລະທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່: ມັນມີຄວາມແຂງສູງທີ່ສຸດ (ຄວາມແຂງຂອງ Mohs ແມ່ນປະມານ 9-10) ແລະສາມາດຕ້ານການສວມໃສ່ແລະຮອຍຂີດຂ່ວນປະສິດທິພາບ.
ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີ: ມັນມີຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີທີ່ດີກັບອາຊິດແລະເປັນດ່າງສ່ວນໃຫຍ່ແລະສາມາດຕ້ານ corrosion ແລະປະຕິກິລິຍາເຄມີ.
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ: ການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເຮັດໃຫ້ມັນສາມາດກະຈາຍແລະດໍາເນີນການຄວາມຮ້ອນຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ຫຼຸດຜ່ອນຜົນກະທົບຂອງການສະສົມຄວາມຮ້ອນໃນວັດສະດຸ.
ສະຖານະການຄໍາຮ້ອງສະຫມັກແລະຄວາມໄດ້ປຽບໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor
ອຸປະກອນ MOCVD: ໃນອຸປະກອນ MOCVD (ການປ່ອຍອາຍພິດສານເຄມີ),ການເຄືອບ tantalum carbideຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອປົກປ້ອງຫ້ອງຕິກິຣິຍາແລະອົງປະກອບອື່ນໆທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ຫຼຸດຜ່ອນການເຊາະເຈື່ອນຂອງອຸປະກອນໂດຍເງິນຝາກ, ແລະຍືດອາຍຸການບໍລິການຂອງອຸປະກອນ.
ຂໍ້ໄດ້ປຽບ: ປັບປຸງການຕໍ່ຕ້ານອຸນຫະພູມສູງຂອງອຸປະກອນ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຖີ່ຂອງການບໍາລຸງຮັກສາແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ, ແລະປັບປຸງປະສິດທິພາບການຜະລິດ.
ການປຸງແຕ່ງ wafer: ໃຊ້ໃນການປຸງແຕ່ງ wafer ແລະລະບົບສາຍສົ່ງ, ການເຄືອບ tantalum carbide ສາມາດເສີມຂະຫຍາຍການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່ແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ຂອງອຸປະກອນ.
ຂໍ້ດີ: ຫຼຸດຜ່ອນບັນຫາຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນທີ່ເກີດຈາກການສວມໃສ່ຫຼື corrosion, ແລະຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງການປຸງແຕ່ງ wafer.
ເຄື່ອງມືຂະບວນການ semiconductor: ໃນເຄື່ອງມືຂະບວນການ semiconductor, ເຊັ່ນ: implanters ion ແລະ etchers, ການເຄືອບ tantalum carbide ສາມາດປັບປຸງຄວາມທົນທານຂອງເຄື່ອງມື.
ຂໍ້ໄດ້ປຽບ: ຍືດອາຍຸການບໍລິການຂອງເຄື່ອງມື, ຫຼຸດຜ່ອນການ downtime ແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການທົດແທນ, ແລະປັບປຸງປະສິດທິພາບການຜະລິດ.
ພື້ນທີ່ອຸນຫະພູມສູງ: ໃນອົງປະກອບອີເລັກໂທຣນິກແລະອຸປະກອນໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ການເຄືອບ tantalum carbide ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອປົກປ້ອງວັດສະດຸຈາກອຸນຫະພູມສູງ.
ຂໍ້ດີ: ຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງອົງປະກອບເອເລັກໂຕຣນິກພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂອຸນຫະພູມທີ່ຮຸນແຮງ.
ແນວໂນ້ມການພັດທະນາໃນອະນາຄົດ
ການປັບປຸງວັດສະດຸ: ມີການພັດທະນາຂອງວິທະຍາສາດອຸປະກອນການ, ການສ້າງແລະເຕັກໂນໂລຊີການຝາກຂອງການເຄືອບ tantalum carbideຈະສືບຕໍ່ປັບປຸງເພື່ອປັບປຸງປະສິດທິພາບຂອງຕົນແລະຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ. ຕົວຢ່າງ, ວັດສະດຸເຄືອບທົນທານແລະລາຄາຖືກກວ່າອາດຈະຖືກພັດທະນາ.
ເທກໂນໂລຍີ Deposition: ມັນຈະເປັນໄປໄດ້ທີ່ຈະມີເທກໂນໂລຍີການຝັງຕົວທີ່ມີປະສິດທິພາບແລະຊັດເຈນກວ່າ, ເຊັ່ນ: ການປັບປຸງເຕັກໂນໂລຢີ PVD ແລະ CVD, ເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບຄຸນນະພາບແລະການປະຕິບັດການເຄືອບ tantalum carbide.
ພື້ນທີ່ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກໃຫມ່: ພື້ນທີ່ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງການເຄືອບ tantalum carbideຈະຂະຫຍາຍໄປໃນຂົງເຂດເຕັກໂນໂລຊີສູງແລະອຸດສາຫະກໍາຫຼາຍ, ເຊັ່ນ: ຍານອາວະກາດ, ພະລັງງານແລະອຸດສາຫະກໍາຍານຍົນ, ເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການອຸປະກອນການປະສິດທິພາບສູງ.
ເວລາປະກາດ: ສິງຫາ-08-2024