ເປັນ​ຫຍັງ​ຊິ​ລິ​ໂຄນ​ໄປ​ເຊຍ​ກັນ​ດຽວ​ຈໍາ​ເປັນ​ຕ້ອງ​ໄດ້​ຮັບ​ການ​ມ້ວນ​?

Rolling ຫມາຍເຖິງຂະບວນການຂອງການຂັດເສັ້ນຜ່າກາງນອກຂອງ rod ໄປເຊຍກັນຊິລິໂຄນເຂົ້າໄປໃນ rod ໄປເຊຍກັນດຽວຂອງເສັ້ນຜ່າສູນກາງທີ່ກໍານົດໄວ້ໂດຍນໍາໃຊ້ລໍ້ grinding ເພັດ, ແລະ grinding ອອກເປັນຂອບແປຮູບຫຼືຮ່ອງຕໍາແຫນ່ງຂອງ rod ໄປເຊຍກັນດຽວ.

ເສັ້ນຜ່າກາງດ້ານນອກຂອງ rod ໄປເຊຍກັນທີ່ກະກຽມໂດຍ furnace ໄປເຊຍກັນດຽວແມ່ນບໍ່ກ້ຽງແລະຮາບພຽງຢູ່, ແລະເສັ້ນຜ່າກາງຂອງມັນແມ່ນຂະຫນາດໃຫຍ່ກ່ວາເສັ້ນຜ່າກາງຂອງ wafer ຊິລິໂຄນທີ່ໃຊ້ໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກສຸດທ້າຍ. ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ rod ທີ່ຕ້ອງການສາມາດໄດ້ຮັບໂດຍການມ້ວນເສັ້ນຜ່າກາງນອກ.

640-2

ໂຮງງານມ້ວນມີຫນ້າທີ່ຂອງການ grinding ດ້ານກະສານອ້າງອີງຂອບແປຫຼືຮ່ອງການຈັດຕໍາແຫນ່ງຂອງ rod ໄປເຊຍກັນ silicon ດຽວ, ນັ້ນແມ່ນ, ປະຕິບັດການທົດສອບທິດທາງໃນ rod ໄປເຊຍກັນດຽວທີ່ມີເສັ້ນຜ່າກາງທີ່ກໍານົດໄວ້. ໃນອຸປະກອນໂຮງງານມ້ວນດຽວກັນ, ດ້ານກະສານອ້າງອີງຂອບແປຫຼືຮ່ອງຕໍາແຫນ່ງຂອງ rod ໄປເຊຍກັນດຽວແມ່ນດິນ. ໂດຍ​ທົ່ວ​ໄປ​, rods ໄປ​ເຊຍ​ກັນ​ດຽວ​ທີ່​ມີ​ເສັ້ນ​ຜ່າ​ກາງ​ຂອງ​ຫນ້ອຍ​ກ​່​ວາ 200mm ໃຊ້​ດ້ານ​ກະ​ສານ​ອ້າງ​ອີງ​ແຂບ​ຮາບ​ພຽງ​, ແລະ rods ໄປ​ເຊຍ​ກັນ​ດຽວ​ທີ່​ມີ​ເສັ້ນ​ຜ່າ​ກາງ 200mm ແລະ​ຂ້າງ​ເທິງ​ນີ້​ນໍາ​ໃຊ້​ຮ່ອງ​ຕໍາ​ແຫນ່ງ​. rods ໄປເຊຍກັນດຽວທີ່ມີເສັ້ນຜ່າກາງຂອງ 200mm ຍັງສາມາດເຮັດດ້ວຍຫນ້າດິນອ້າງອິງຂອບແປຕາມຄວາມຕ້ອງການ. ຈຸດປະສົງຂອງຫນ້າດິນກະສານອ້າງອີງການປະຖົມນິເທດ rod ໄປເຊຍກັນດຽວແມ່ນເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງການດໍາເນີນງານຕໍາແຫນ່ງອັດຕະໂນມັດຂອງອຸປະກອນຂະບວນການໃນການຜະລິດວົງຈອນປະສົມປະສານ; ເພື່ອຊີ້ບອກທິດທາງໄປເຊຍກັນແລະປະເພດ conductivity ຂອງ silicon wafer, ແລະອື່ນໆ, ເພື່ອຄວາມສະດວກໃນການຄຸ້ມຄອງການຜະລິດ; ຂອບການຈັດຕຳແໜ່ງຫຼັກ ຫຼື ຮ່ອງການຈັດຕຳແໜ່ງແມ່ນຕັ້ງສາກກັບທິດທາງ <110>. ໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການຫຸ້ມຫໍ່ຊິບ, ຂະບວນການ dicing ສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມແຕກແຍກຕາມທໍາມະຊາດຂອງ wafer, ແລະການວາງຕໍາແຫນ່ງຍັງສາມາດປ້ອງກັນການສ້າງຊິ້ນ.

640-2

ຈຸດປະສົງຕົ້ນຕໍຂອງຂະບວນການຫມຸນປະກອບມີ: ການປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງຫນ້າດິນ: ຮອບສາມາດເອົາຮອຍແຕກແລະຄວາມບໍ່ສະ ເໝີ ພາບຂອງ wafers ຊິລິໂຄນແລະປັບປຸງຄວາມລຽບຂອງພື້ນຜິວຂອງ wafers ຊິລິໂຄນ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນຫຼາຍສໍາລັບຂະບວນການ photolithography ແລະ etching ຕໍ່ມາ. ການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນ: ຄວາມກົດດັນອາດຈະຖືກສ້າງຂື້ນໃນລະຫວ່າງການຕັດແລະການປຸງແຕ່ງຂອງ wafers ຊິລິໂຄນ. ຮອບສາມາດຊ່ວຍປົດປ່ອຍຄວາມກົດດັນເຫຼົ່ານີ້ແລະປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ wafers ຊິລິໂຄນແຕກແຍກໃນຂະບວນການຕໍ່ໄປ. ການປັບປຸງຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກຂອງ wafers ຊິລິຄອນ: ໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການຮອບ, ແຄມຂອງ wafers ຊິລິຄອນຈະກາຍເປັນກ້ຽງ, ເຊິ່ງຊ່ວຍປັບປຸງຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກຂອງ wafers ຊິລິໂຄນແລະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເສຍຫາຍໃນລະຫວ່າງການຂົນສົ່ງແລະການນໍາໃຊ້. ຮັບປະກັນຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງມິຕິລະດັບ: ໂດຍຮອບ, ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງມິຕິລະດັບຂອງ wafers ຊິລິໂຄນສາມາດຮັບປະກັນໄດ້, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນສໍາລັບການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor. ການປັບປຸງຄຸນສົມບັດໄຟຟ້າຂອງ wafers ຊິລິໂຄນ: ການປຸງແຕ່ງຂອບຂອງ wafers ຊິລິໂຄນມີອິດທິພົນທີ່ສໍາຄັນຕໍ່ຄຸນສົມບັດໄຟຟ້າຂອງມັນ. ຮອບສາມາດປັບປຸງຄຸນສົມບັດໄຟຟ້າຂອງ wafers ຊິລິໂຄນ, ເຊັ່ນ: ການຫຼຸດຜ່ອນການຮົ່ວໄຫຼຂອງກະແສໄຟຟ້າ. ຄວາມງາມ: ແຄມຂອງ wafers ຊິລິຄອນແມ່ນ smoother ແລະງາມຫຼາຍຫຼັງຈາກຮອບ, ເຊິ່ງຍັງມີຄວາມຈໍາເປັນສໍາລັບສະຖານະການຄໍາຮ້ອງສະຫມັກສະເພາະໃດຫນຶ່ງ.


ເວລາປະກາດ: ກໍລະກົດ-30-2024