ການແນະນໍາຂອງຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ wafer
ໝວດສິນຄ້າ
▶ລະບົບຂົນສົ່ງ Wafer ສໍາລັບຂະບວນການ PECVD & TALOX
• PECVD & TALOX Graphite Boat (M4~M12)
• ເຮືອແນວຕັ້ງ SM-Boat (M4, M6)
• Implant & shower Graphite Part (M4~M6)
• ຖາດ C/C & ການເຄືອບເຊລາມິກ
• Metal RIE-Tray & Ceramic Coating
• ການຜະນຶກສູນຍາກາດ : O-Ring & SQ-Ring
▶Texturing & Wet Etching ຂະບວນການໂອນ
• LSC H-Carrier ຫຼື cassette (M4~M12)
• LSC V-Carrier ຫຼື cassette (M4~M12)
• ASC Carrier ຫຼື cassette (M4, M6)
• W/F Carrier & Storage Box (M4~M12)
• Transport Wheel (Roller) Series
▶ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການໂຊລາເຊລ & ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການໂລຫະ
• TRC Carrier ຫຼື cassette (M4~M12)
• ວາລະສານ (ພ້ອມສາຍແອວ)
ເຮືອ GRAPHITE (H-Type)
19P6-216CT (WF M4~M12)
ເຮືອ GRAPHITE (H-Type)
21P6-240CT WF M4~M12)
ເຮືອ GRAPHITE (H-Type)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
ເຮືອ GRAPHITE (H-Type)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
ເຮືອ GRAPHITE (H-Type)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF CARRIER & STORAGE BOX (~M12)
ຖາດ C/C ຫຼື CARRIER (M4~M10)
ຖາດ C/C ຫຼື CARRIER (M4~M10)
ເຮືອແນວຕັ້ງ (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
ASC CARRIER (~M6)
TRC CARRIER (~M12)
TRC CARRIER (~M12)
GRAPHITE-BOAT(M12)
ລະບົບຂົນສົ່ງ Wafer ສໍາລັບຂະບວນການ PECVD
▶ ເຮືອກຣາຟີດ (CT-Designed) ຂະບວນການ M10/M12
• ແນວຄວາມຄິດການອອກແບບພິເສດ
▶ GRAPHITE BOAT (CT-Designed) ຂະບວນການ M4/M6
▶ ເຮືອອຸປະກອນເສີມ
▶ VERTICAL BOAT-161.7mm WAFER
▶ VERTICAL BOAT-166mm WAFER
▶ VERTICAL BOAT-161.7mm, 166mm WAFER
ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການໂຊລາເຊລ & ໂລຫະ TRC Carrier
ປະເພດ: ອັດຕະໂນມັດ
ຂະໜາດ WAFER : ① 156×156MM ② 156.75×156.75MM
③161.7x161.7ມມ ④166x166ມມ
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
ການນໍາໃຊ້ : ພົກ (Casset)
ຄວາມອາດສາມາດ: 100 ແຜ່ນ
PITCH : 4.76mm/5.953mm/6.35mm
ຂະໜາດ : ປະມານ 559×220×220ມມ
ປະມານ 712×260×260ມມ
ຂໍ້ດີ : ບັນຍາກາດ
ວັດສະດຸ: ແປວໄຟ, ແຖບດ້ານຂ້າງ-ອາລູມີນຽມ (anodizing)
ແຜ່ນດ້ານຂ້າງ-POM (ຕ້ານສະຕິກ)
ຝາປິດແຖບລຸ່ມ-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METAL CARRIER (ສາຍຜູ້ໃຊ້)
TRC-METAL CARRIER (ສາຍຜູ້ໃຊ້)
TRC-METAL CARRIER (ສາຍຜູ້ໃຊ້)
ແຜ່ນອາບນໍ້າ & ເຂັມສັກຢາ, ພົກພາ
