Semiceraຍິນດີທີ່ຈະສະເຫນີໃຫ້PFA Cassette, ເປັນທາງເລືອກທີ່ນິຍົມສໍາລັບການຈັດການ wafer ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຄວາມທົນທານຕໍ່ສານເຄມີແລະຄວາມທົນທານແມ່ນສໍາຄັນທີ່ສຸດ. ຫັດຖະກໍາຈາກວັດສະດຸ Perfluoroalkoxy (PFA) ຄວາມບໍລິສຸດສູງ, cassette ນີ້ຖືກອອກແບບມາເພື່ອທົນທານຕໍ່ເງື່ອນໄຂທີ່ຕ້ອງການທີ່ສຸດໃນການຜະລິດ semiconductor, ຮັບປະກັນຄວາມປອດໄພແລະຄວາມສົມບູນຂອງ wafers ຂອງທ່ານ.
ການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີທີ່ບໍ່ກົງກັນໄດ້PFA Cassetteໄດ້ຖືກອອກແບບເພື່ອສະຫນອງຄວາມຕ້ານທານທີ່ເຫນືອກວ່າກັບລະດັບຄວາມກ້ວາງຂອງສານເຄມີ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ສົມບູນແບບສໍາລັບຂະບວນການທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບອາຊິດຮຸກຮານ, solvents, ແລະສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງອື່ນໆ. ການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີທີ່ເຂັ້ມແຂງນີ້ຮັບປະກັນວ່າ cassette ຍັງ intact ແລະເຮັດວຽກເຖິງແມ່ນວ່າໃນສະພາບແວດລ້ອມ corrosive ທີ່ສຸດ, ດັ່ງນັ້ນການຍືດອາຍຸຂອງຕົນແລະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບການທົດແທນເລື້ອຍໆ.
ການກໍ່ສ້າງທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງ SemiceraPFA Cassetteແມ່ນຜະລິດຈາກວັດສະດຸ PFA ທີ່ບໍລິສຸດທີ່ສຸດ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນໃນການປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງ wafer. ການກໍ່ສ້າງທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງນີ້ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການຜະລິດອະນຸພາກແລະການຮົ່ວໄຫຼຂອງສານເຄມີ, ຮັບປະກັນວ່າ wafers ຂອງທ່ານຖືກປົກປ້ອງຈາກສິ່ງເສດເຫຼືອທີ່ສາມາດເຮັດໃຫ້ຄຸນນະພາບຂອງພວກມັນຫຼຸດລົງ.
ປັບປຸງຄວາມທົນທານ ແລະປະສິດທິພາບອອກແບບມາເພື່ອຄວາມທົນທານ, ໄດ້PFA Cassetteຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມທີ່ຮຸນແຮງແລະເງື່ອນໄຂການປຸງແຕ່ງທີ່ເຄັ່ງຄັດ. ບໍ່ວ່າຈະສໍາຜັດກັບອຸນຫະພູມສູງຫຼືຖືກປະຕິບັດຊ້ໍາຊ້ອນ, ທໍ່ນີ້ຍັງຮັກສາຮູບຮ່າງແລະປະສິດທິພາບຂອງຕົນ, ສະເຫນີຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືໃນໄລຍະຍາວໃນສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດທີ່ຕ້ອງການ.
ວິສະວະກໍາ Precision ສໍາລັບການຈັດການທີ່ປອດໄພໄດ້Semicera PFA Cassetteມີລັກສະນະວິສະວະກໍາທີ່ຊັດເຈນທີ່ຮັບປະກັນການຈັດການ wafer ທີ່ປອດໄພແລະຫມັ້ນຄົງ. ແຕ່ລະຊ່ອງໄດ້ຖືກອອກແບບຢ່າງລະມັດລະວັງເພື່ອຖື wafers ຢູ່ໃນສະຖານທີ່ຢ່າງປອດໄພ, ປ້ອງກັນການເຄື່ອນໄຫວຫຼືການເຄື່ອນຍ້າຍທີ່ອາດຈະເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມເສຍຫາຍ. ວິສະວະກໍາຄວາມແມ່ນຍໍານີ້ສະຫນັບສະຫນູນການຈັດວາງ wafer ສອດຄ່ອງແລະຖືກຕ້ອງ, ປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນປະສິດທິພາບຂະບວນການໂດຍລວມ.
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກອະເນກປະສົງໃນທົ່ວຂະບວນການຂໍຂອບໃຈກັບຄຸນສົມບັດອຸປະກອນການທີ່ດີກວ່າຂອງຕົນ, ໄດ້PFA Cassetteມີຄວາມຫລາກຫລາຍພຽງພໍທີ່ຈະຖືກນໍາໃຊ້ໃນທົ່ວຂັ້ນຕອນຕ່າງໆຂອງການຜະລິດ semiconductor. ມັນເຫມາະສົມໂດຍສະເພາະສໍາລັບການ etching ຊຸ່ມ, vapor deposition (CVD), ແລະຂະບວນການອື່ນໆທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບສະພາບແວດລ້ອມທາງເຄມີ harsh. ການປັບຕົວຂອງມັນເຮັດໃຫ້ມັນເປັນເຄື່ອງມືທີ່ສໍາຄັນໃນການຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງຂະບວນການແລະຄຸນນະພາບຂອງ wafer.
ຄໍາຫມັ້ນສັນຍາກັບຄຸນນະພາບແລະນະວັດກໍາທີ່ Semicera, ພວກເຮົາມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ຕອບສະຫນອງມາດຕະຖານອຸດສາຫະກໍາສູງສຸດ. ໄດ້PFA Cassetteເປັນຕົວຢ່າງຂອງຄໍາຫມັ້ນສັນຍານີ້, ສະເຫນີການແກ້ໄຂທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ທີ່ປະສົມປະສານ seamlessly ເຂົ້າໄປໃນຂະບວນການຜະລິດຂອງທ່ານ. ແຕ່ລະ cassette ຜ່ານການກວດກາຄຸນນະພາບຢ່າງເຂັ້ມງວດເພື່ອຮັບປະກັນວ່າມັນກົງກັບເງື່ອນໄຂການປະຕິບັດທີ່ເຄັ່ງຄັດຂອງພວກເຮົາ, ສະຫນອງຄວາມເປັນເລີດທີ່ທ່ານຄາດຫວັງຈາກ Semicera.
| ລາຍການ | ການຜະລິດ | ຄົ້ນຄ້ວາ | Dummy |
| ພາລາມິເຕີ Crystal | |||
| Polytype | 4H | ||
| ການວາງທິດທາງພື້ນຜິວຜິດພາດ | <11-20 >4±0.15° | ||
| ຕົວກໍານົດການໄຟຟ້າ | |||
| ຝຸ່ນ | n ປະເພດໄນໂຕຣເຈນ | ||
| ຄວາມຕ້ານທານ | 0.015-0.025ohm·ຊມ | ||
| ຕົວກໍານົດການກົນຈັກ | |||
| ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ | 150.0±0.2ມມ | ||
| ຄວາມຫນາ | 350 ± 25 ມມ | ||
| ປະຖົມນິເທດຮາບພຽງ | [1-100]±5° | ||
| ຄວາມຍາວຮາບພຽງຂັ້ນຕົ້ນ | 47.5±1.5ມມ | ||
| ຮາບພຽງຮອງ | ບໍ່ມີ | ||
| TTV | ≤5ມມ | ≤10ມມ | ≤15ມມ |
| LTV | ≤3ມມ(5ມມ*5ມມ) | ≤5ມມ(5ມມ*5ມມ) | ≤10ມມ(5ມມ*5ມມ) |
| bow | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35ມມ | ≤45ມມ | ≤55ມມ |
| ຄວາມຫຍາບດ້ານໜ້າ (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| ໂຄງສ້າງ | |||
| ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງ micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| ຄວາມເປື້ອນຂອງໂລຫະ | ≤5E10ອະຕອມ/ຊມ2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| ຄຸນະພາບດ້ານຫນ້າ | |||
| ດ້ານໜ້າ | Si | ||
| ສໍາເລັດຮູບ | Si-face CMP | ||
| ອະນຸພາກ | ≤60ea/wafer (ຂະຫນາດ≥0.3μm) | NA | |
| ຮອຍຂີດຂ່ວນ | ≤5ea/ມມ. ຄວາມຍາວສະສົມ ≤ ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ | ຄວາມຍາວສະສົມ≤2*ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ | NA |
| ປອກເປືອກສີສົ້ມ/ຂຸມ/ຮອຍເປື້ອນ/ຮອຍຂີດຂ່ວນ/ຮອຍແຕກ/ການປົນເປື້ອນ | ບໍ່ມີ | NA | |
| ຊິບຂອບ/ຫຍໍ້ໜ້າ/ຮອຍແຕກ/ແຜ່ນ hex | ບໍ່ມີ | ||
| ພື້ນທີ່ Polytype | ບໍ່ມີ | ພື້ນທີ່ສະສົມ≤20% | ພື້ນທີ່ສະສົມ≤30% |
| ເຄື່ອງຫມາຍເລເຊີດ້ານຫນ້າ | ບໍ່ມີ | ||
| ຄຸນະພາບກັບຄືນໄປບ່ອນ | |||
| ກັບຄືນໄປບ່ອນສໍາເລັດຮູບ | C-face CMP | ||
| ຮອຍຂີດຂ່ວນ | ≤5ea/mm, ຄວາມຍາວສະສົມ≤2*ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ | NA | |
| ຂໍ້ບົກພ່ອງດ້ານຫຼັງ (ຊິບຂອບ/ຫຍໍ້ໜ້າ) | ບໍ່ມີ | ||
| ກັບຄືນໄປບ່ອນ roughness | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| ເຄື່ອງໝາຍເລເຊີກັບຄືນ | 1 ມມ (ຈາກຂອບເທິງ) | ||
| ຂອບ | |||
| ຂອບ | Chamfer | ||
| ການຫຸ້ມຫໍ່ | |||
| ການຫຸ້ມຫໍ່ | Epi-ພ້ອມດ້ວຍການຫຸ້ມຫໍ່ສູນຍາກາດ ການຫຸ້ມຫໍ່ cassette ຫຼາຍ wafer | ||
| * ຫມາຍເຫດ: "NA" ຫມາຍຄວາມວ່າບໍ່ມີຄໍາຮ້ອງຂໍລາຍການທີ່ບໍ່ໄດ້ກ່າວເຖິງອາດຈະຫມາຍເຖິງ SEMI-STD. | |||
