SiC Coating Graphite Wafer Susceptor

ລາຍລະອຽດສັ້ນ:

Semicera Semiconductor's SiC Coating Graphite Wafer Susceptor ສະຫນອງການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນທີ່ເຫນືອກວ່າແລະຄວາມທົນທານສໍາລັບການປຸງແຕ່ງ wafer. ອີງໃສ່ Semicera ສໍາລັບ susceptors ເຄືອບ SiC ແບບພິເສດທີ່ຖືກອອກແບບມາເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ semiconductor.

ສົ່ງອີເມວຫາພວກເຮົາ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ປ້າຍກຳກັບສິນຄ້າ

ລາຍລະອຽດ

Semicorex's SiC Wafer Susceptors ສໍາລັບ MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition) ໄດ້ຖືກອອກແບບເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ຊັດເຈນຂອງຂະບວນການ deposition epitaxial. ການນໍາໃຊ້ຄຸນນະພາບສູງ Silicon Carbide (SiC), susceptors ເຫຼົ່ານີ້ສະຫນອງຄວາມທົນທານແລະປະສິດທິພາບທີ່ບໍ່ມີການປຽບທຽບໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແລະ corrosive, ຮັບປະກັນການຂະຫຍາຍຕົວທີ່ຊັດເຈນແລະປະສິດທິພາບຂອງວັດສະດຸ semiconductor.

ຄຸນນະສົມບັດທີ່ສໍາຄັນ:

1. ຄຸນສົມບັດວັດສະດຸຊັ້ນສູງການກໍ່ສ້າງຈາກ SiC ຊັ້ນສູງ, ທົນທານຕໍ່ wafer ຂອງພວກເຮົາສະແດງໃຫ້ເຫັນການນໍາຄວາມຮ້ອນພິເສດແລະການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ. ຄຸນສົມບັດເຫຼົ່ານີ້ເຮັດໃຫ້ພວກເຂົາສາມາດທົນກັບສະພາບທີ່ຮຸນແຮງຂອງຂະບວນການ MOCVD, ລວມທັງອຸນຫະພູມສູງແລະທາດອາຍຜິດ corrosive, ຮັບປະກັນອາຍຸຍືນແລະການປະຕິບັດທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້.

2. ຄວາມຊັດເຈນໃນການ Deposition Epitaxialວິສະວະກໍາທີ່ຊັດເຈນຂອງ SiC Wafer Susceptors ຂອງພວກເຮົາຮັບປະກັນການແຜ່ກະຈາຍຂອງອຸນຫະພູມທີ່ເປັນເອກະພາບໃນທົ່ວຫນ້າດິນ wafer, ອໍານວຍຄວາມສະດວກການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຊັ້ນ epitaxial ທີ່ມີຄຸນະພາບສູງ. ຄວາມແມ່ນຍໍານີ້ແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບການຜະລິດ semiconductors ທີ່ມີຄຸນສົມບັດໄຟຟ້າທີ່ດີທີ່ສຸດ.

3. ປັບປຸງຄວາມທົນທານວັດສະດຸ SiC ທີ່ເຂັ້ມແຂງໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີເລີດຕໍ່ການສວມໃສ່ແລະການເຊື່ອມໂຊມ, ເຖິງແມ່ນວ່າພາຍໃຕ້ການສໍາຜັດຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງກັບສະພາບແວດລ້ອມຂະບວນການທີ່ຮຸນແຮງ. ຄວາມທົນທານນີ້ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຖີ່ຂອງການທົດແທນ susceptor, ຫຼຸດຜ່ອນການ downtime ແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການດໍາເນີນງານ.