Semiceraການເຄືອບເຊລາມິກ Silicon Carbideເປັນການເຄືອບປ້ອງກັນປະສິດທິພາບສູງທີ່ເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸ silicon carbide (SiC) ທີ່ແຂງ ແລະທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່. ການເຄືອບແມ່ນປົກກະຕິແລ້ວຝາກຢູ່ເທິງຫນ້າດິນຂອງ substrate ໂດຍ CVD ຫຼືຂະບວນການ PVD ກັບອະນຸພາກ silicon carbide, ການສະຫນອງການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ສານເຄມີທີ່ດີເລີດແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງ. ດັ່ງນັ້ນ, Silicon Carbide Ceramic Coating ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນຂອງອຸປະກອນການຜະລິດ semiconductor.
ໃນການຜະລິດ semiconductor,ການເຄືອບ SiCສາມາດທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມທີ່ສູງທີ່ສຸດເຖິງ 1600 ° C, ສະນັ້ນການເຄືອບເຊລາມິກ Silicon Carbide ມັກຈະຖືກນໍາໃຊ້ເປັນຊັ້ນປ້ອງກັນສໍາລັບອຸປະກອນຫຼືເຄື່ອງມືເພື່ອປ້ອງກັນຄວາມເສຍຫາຍໃນອຸນຫະພູມສູງຫຼືສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີການກັດກ່ອນ.
ພ້ອມດຽວກັນນັ້ນ, ສ.ການເຄືອບເຊລາມິກ silicon carbideສາມາດຕ້ານການເຊາະເຈື່ອນຂອງອາຊິດ, ເປັນດ່າງ, ຜຸພັງແລະສານເຄມີອື່ນໆ, ແລະມີຄວາມຕ້ານທານ corrosion ສູງກັບຊະນິດຂອງສານເຄມີຕ່າງໆ. ດັ່ງນັ້ນ, ຜະລິດຕະພັນນີ້ແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມ corrosive ຕ່າງໆໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor.
ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ເມື່ອປຽບທຽບກັບວັດສະດຸເຊລາມິກອື່ນໆ, SiC ມີການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງກວ່າແລະສາມາດເຮັດຄວາມຮ້ອນໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ. ຄຸນນະສົມບັດນີ້ກໍານົດວ່າໃນຂະບວນການ semiconductor ທີ່ຕ້ອງການການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງຂອງການເຄືອບເຊລາມິກ Silicon Carbideຊ່ວຍກະຈາຍຄວາມຮ້ອນໃຫ້ເທົ່າທຽມກັນ, ປ້ອງກັນຄວາມຮ້ອນເກີນໃນທ້ອງຖິ່ນ, ແລະຮັບປະກັນວ່າອຸປະກອນເຮັດວຽກຢູ່ໃນອຸນຫະພູມທີ່ດີທີ່ສຸດ.
| ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບພື້ນຖານຂອງການເຄືອບ CVD sic | |
| ຊັບສິນ | ຄ່າປົກກະຕິ |
| ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ | FCC βໄລຍະ polycrystalline, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນ (111) ຮັດກຸມ |
| ຄວາມຫນາແຫນ້ນ | 3.21 g/cm³ |
| ຄວາມແຂງ | ຄວາມແຂງຂອງ Vickers 2500 (ໂຫຼດ 500g) |
| ເມັດ SiZe | 2-10 ມມ |
| ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ | 99.99995% |
| ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ | 640 J·kg-1· ຄ-1 |
| ອຸນຫະພູມ sublimation | 2700℃ |
| ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Flexural | 415 MPa RT 4 ຈຸດ |
| ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ | 430 Gpa 4pt ໂຄ້ງ, 1300 ℃ |
| ການນໍາຄວາມຮ້ອນ | 300W·m-1· ຄ-1 |
| ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
