ລາຍລະອຽດ
ບໍລິສັດຂອງພວກເຮົາສະຫນອງການເຄືອບ SiCຂະບວນການບໍລິການໂດຍວິທີການ CVD ເທິງຫນ້າດິນຂອງ graphite, ceramics ແລະອຸປະກອນອື່ນໆ, ດັ່ງນັ້ນທາດອາຍຜິດພິເສດທີ່ມີຄາບອນແລະຊິລິຄອນ react ຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງເພື່ອໃຫ້ໄດ້ໂມເລກຸນ SiC ຄວາມບໍລິສຸດສູງ, molecules ຝາກຢູ່ດ້ານຂອງ.ເຄືອບວັດສະດຸ, ປະກອບເປັນຊັ້ນປ້ອງກັນ SIC.
ຄຸນລັກສະນະຂອງຫົວອາບນ້ໍາ SiC ມີດັ່ງນີ້:
1. ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ: ວັດສະດຸ SiC ມີຄວາມຕ້ານທານ corrosion ທີ່ດີເລີດແລະສາມາດທົນທານຕໍ່ການເຊາະເຈື່ອນຂອງສານເຄມີຕ່າງໆແລະວິທີແກ້ໄຂ, ແລະເຫມາະສົມກັບຂະບວນການປຸງແຕ່ງສານເຄມີແລະການປິ່ນປົວພື້ນຜິວທີ່ຫລາກຫລາຍ.
2. ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງ:ຫົວສີດ SiCສາມາດຮັກສາຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງໂຄງສ້າງໃນສະພາບແວດລ້ອມອຸນຫະພູມສູງແລະເຫມາະສົມສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ຕ້ອງການການປິ່ນປົວອຸນຫະພູມສູງ.
3. ການສີດພົ່ນເອກະພາບ:ຫົວສີດ SiCການອອກແບບມີການປະຕິບັດການຄວບຄຸມການສີດພົ່ນທີ່ດີ, ເຊິ່ງສາມາດບັນລຸການແຈກຢາຍຂອງແຫຼວທີ່ເປັນເອກະພາບແລະຮັບປະກັນວ່ານ້ໍາການປິ່ນປົວໄດ້ຖືກປົກຄຸມຢ່າງເທົ່າທຽມກັນໃນດ້ານເປົ້າຫມາຍ.
4. ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ສູງ: ວັດສະດຸ SiC ມີຄວາມແຂງສູງແລະທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ແລະສາມາດທົນທານຕໍ່ການນໍາໃຊ້ແລະ friction ໃນໄລຍະຍາວ.
ຫົວອາບນ້ໍາ SiC ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂະບວນການປິ່ນປົວຂອງແຫຼວໃນການຜະລິດ semiconductor, ການປຸງແຕ່ງສານເຄມີ, ການເຄືອບດ້ານ, electroplating ແລະຂົງເຂດອຸດສາຫະກໍາອື່ນໆ. ມັນສາມາດສະຫນອງການສີດພົ່ນທີ່ຫມັ້ນຄົງ, ເປັນເອກະພາບແລະເຊື່ອຖືໄດ້ເພື່ອຮັບປະກັນຄຸນນະພາບແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງການປຸງແຕ່ງແລະການປິ່ນປົວ.
ຄຸນນະສົມບັດຕົ້ນຕໍ
1. ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງ:
ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງແມ່ນຍັງດີຫຼາຍເມື່ອອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 1600 C.
2. ຄວາມບໍລິສຸດສູງ: ເຮັດໂດຍການປ່ອຍອາຍພິດເຄມີພາຍໃຕ້ສະພາບ chlorination ອຸນຫະພູມສູງ.
3. ຄວາມຕ້ານທານການເຊາະເຈື່ອນ: ຄວາມແຂງສູງ, ດ້ານຫນາແຫນ້ນ, ອະນຸພາກດີ.
4. ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ: ອາຊິດ, ດ່າງ, ເກືອແລະທາດປະສົມອິນຊີ.
ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະຕົ້ນຕໍຂອງການເຄືອບ CVD-SIC
| ຄຸນສົມບັດ SiC-CVD | ||
| ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ | ໄລຍະ FCC β | |
| ຄວາມຫນາແຫນ້ນ | g/ຊມ ³ | 3.21 |
| ຄວາມແຂງ | ຄວາມແຂງຂອງ Vickers | 2500 |
| ຂະໜາດເມັດພືດ | ມມ | 2~10 |
| ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ | % | 99.99995 |
| ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| ອຸນຫະພູມ sublimation | ℃ | 2700 |
| ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Felexural | MPa (RT 4 ຈຸດ) | 415 |
| ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ | Gpa (4pt ງໍ, 1300℃) | 430 |
| ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| ການນໍາຄວາມຮ້ອນ | (W/mK) | 300 |
