SOI Wafers

ລາຍລະອຽດສັ້ນ:

SOI wafer ແມ່ນໂຄງສ້າງຄ້າຍຄື sandwich ມີສາມຊັ້ນ; ລວມທັງຊັ້ນເທິງ (ຊັ້ນອຸປະກອນ), ຊັ້ນກາງຂອງຊັ້ນອົກຊີເຈນທີ່ຝັງໄວ້ (ສໍາລັບຊັ້ນ SiO2 insulating) ແລະຊັ້ນລຸ່ມ (ຊິລິຄອນຫຼາຍ). SOI wafers ແມ່ນຜະລິດໂດຍໃຊ້ວິທີການ SIMOX ແລະເທກໂນໂລຍີການຜູກມັດຂອງ wafer, ເຊິ່ງຊ່ວຍໃຫ້ຊັ້ນອຸປະກອນບາງກວ່າແລະຖືກຕ້ອງຫຼາຍ, ຄວາມຫນາແຫນ້ນແລະຄວາມຫນາແຫນ້ນຕ່ໍາ.

ສົ່ງອີເມວຫາພວກເຮົາ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ປ້າຍສິນຄ້າ

SOI Wafers (1)

ພາກສະຫນາມຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ

1. ວົງຈອນປະສົມປະສານຄວາມໄວສູງ

2. ອຸປະກອນໄມໂຄເວຟ

3. ວົງຈອນປະສົມປະສານອຸນຫະພູມສູງ

4. ອຸປະກອນພະລັງງານ

5. ວົງຈອນປະສົມປະສານພະລັງງານຕ່ໍາ

6. MEMS

7. ວົງຈອນປະສົມປະສານແຮງດັນຕ່ໍາ

ລາຍການ		ການໂຕ້ຖຽງ
ໂດຍລວມ	Wafer ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ 晶圆尺寸(ມມ)	50/75/100/125/150/200mm ± 25um
	Bow/Warp 翘曲度(	<10 ນ
	ອະນຸພາກ 颗粒度(	0.3um<30ea
	Flats/Notch 定位边/定位槽	ແປ ຫຼື Notch
	ການຍົກເວັ້ນຂອບ 边缘去除(ມມ)	/
ຊັ້ນອຸປະກອນ 器件层	ປະເພດຂອງຊັ້ນອຸປະກອນ/Dopant 器件层掺杂类型	N-Type/P-Type B/ P/ Sb / As
	ທິດທາງຊັ້ນອຸປະກອນ 器件层晶向	<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>
	ຄວາມໜາຂອງຊັ້ນອຸປະກອນ 器件层厚度(um)	0.1 ~ 300um
	ຄວາມຕ້ານທານຊັ້ນອຸປະກອນ 器件层电阻率(ohm•cm)	0.001-100,000 ohm-ຊມ
	ອະນຸພາກຊັ້ນອຸປະກອນ 器件层颗粒度(	<30ea@0.3
	ຊັ້ນອຸປະກອນ TTV 器件层TTV(	<10 ນ
	ສໍາເລັດຮູບຊັ້ນອຸປະກອນ 器件层表面处理	ຂັດ
ກ່ອງ	ຝັງຄວາມຫນາຂອງອົກຊີຄວາມຮ້ອນ 埋氧层厚度(um)	50nm(500Å)~15um
ການຈັດການຊັ້ນ 衬底	ຈັດການປະເພດ Wafer/Dopant 衬底层类型	N-Type/P-Type B/ P/ Sb / As
	Handle Wafer Orientation 衬底晶向	<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>
	ຈັດການ Wafer Resistivity 衬底电阻率(ohm•cm)	0.001-100,000 ohm-ຊມ
	ຈັດການຄວາມຫນາຂອງ Wafer 衬底厚度(um)	>100um
	ຈັດການ Wafer ສໍາເລັດຮູບ 衬底表面处理	ຂັດ
SOI wafers ຂອງສະເພາະເປົ້າຫມາຍສາມາດໄດ້ຮັບການປັບແຕ່ງຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າ.