ແນະນໍາການເຄືອບ CVD TaC:
CVD TaC Coating ແມ່ນເທັກໂນໂລຍີທີ່ໃຊ້ການລະບາຍອາຍຂອງສານເຄມີເພື່ອຝາກ tantalum carbide (TaC) ໄວ້ເທິງພື້ນຜິວຂອງສານຍ່ອຍ. Tantalum carbide ເປັນວັດສະດຸເຊລາມິກທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງທີ່ມີຄຸນສົມບັດກົນຈັກແລະເຄມີທີ່ດີເລີດ. ຂະບວນການ CVD ຜະລິດຮູບເງົາ TaC ທີ່ມີເອກະພາບຢູ່ດ້ານຂອງ substrate ໂດຍຜ່ານປະຕິກິລິຍາອາຍແກັສ.
ລັກສະນະຕົ້ນຕໍ:
ຄວາມແຂງທີ່ດີເລີດແລະການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່: Tantalum carbide ມີຄວາມແຂງສູງທີ່ສຸດ, ແລະ CVD TaC Coating ສາມາດປັບປຸງຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ຂອງ substrate ໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ນີ້ເຮັດໃຫ້ການເຄືອບແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ສວມໃສ່ສູງ, ເຊັ່ນ: ເຄື່ອງມືຕັດແລະ molds.
ສະຖຽນລະພາບອຸນຫະພູມສູງ: ການເຄືອບ TaC ປົກປ້ອງເຕົາເຜົາທີ່ສໍາຄັນແລະອົງປະກອບຂອງເຕົາປະຕິກອນທີ່ອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 2200 ° C, ສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມຫມັ້ນຄົງທີ່ດີ. ມັນຮັກສາຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີແລະກົນຈັກພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂອຸນຫະພູມທີ່ຮຸນແຮງ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການປຸງແຕ່ງອຸນຫະພູມສູງແລະການນໍາໃຊ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ.
ສະຖຽນລະພາບທາງເຄມີທີ່ດີເລີດ: Tantalum carbide ມີຄວາມທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນທີ່ເຂັ້ມແຂງຕໍ່ກັບອາຊິດແລະເປັນດ່າງສ່ວນໃຫຍ່, ແລະການເຄືອບ CVD TaC ສາມາດປ້ອງກັນຄວາມເສຍຫາຍຕໍ່ substrate ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີ corrosive.
ຈຸດລະລາຍສູງ: Tantalum carbide ມີຈຸດລະລາຍສູງ (ປະມານ 3880°C), ເຮັດໃຫ້ CVD TaC Coating ສາມາດນຳໃຊ້ໃນສະພາບອຸນຫະພູມທີ່ສູງທີ່ສຸດ ໂດຍບໍ່ມີການລະລາຍ ຫຼື ເຊື່ອມໂຊມ.
ການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ: ການເຄືອບ taC ມີການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ, ເຊິ່ງຊ່ວຍໃຫ້ປະສິດທິພາບ dissipate ຄວາມຮ້ອນໃນຂະບວນການອຸນຫະພູມສູງແລະປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ overheating ທ້ອງຖິ່ນ.
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ມີທ່າແຮງ:
• Gallium Nitride (GaN) ແລະ Silicon Carbide epitaxial CVD ອົງປະກອບຂອງເຕົາປະຕິກອນລວມທັງ wafer carriers, ຖ້ວຍດາວທຽມ, ອາບນ້ໍາ, ເພດານ, ແລະ susceptors
• Silicon carbide, gallium nitride ແລະ aluminium nitride (AlN) ອົງປະກອບການຈະເລີນເຕີບໂຕຂອງຜລຶກລວມທັງ crucibles, ຜູ້ຖືແກ່ນ, ແຫວນຄູ່ມືແລະການກັ່ນຕອງ
•ອົງປະກອບອຸດສາຫະກໍາລວມທັງອົງປະກອບຄວາມຮ້ອນຕໍ່ຕ້ານ, ຫົວສີດ, ແຫວນຫນ້າກາກແລະ jigs brazing
ຄຸນນະສົມບັດຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ:
• ອຸນຫະພູມຄົງທີ່ສູງກວ່າ 2000°C, ອະນຸຍາດໃຫ້ເຮັດວຽກຢູ່ໃນອຸນຫະພູມທີ່ຮຸນແຮງ
•ທົນທານຕໍ່ hydrogen (Hz), ammonia (NH3), monosilane (SiH4) ແລະ silicon (Si), ໃຫ້ການປົກປ້ອງໃນສະພາບແວດລ້ອມທາງເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ.
• ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນຂອງມັນເຮັດໃຫ້ວົງຈອນການເຮັດວຽກໄວຂຶ້ນ
• Graphite ມີຄວາມຍຶດຫມັ້ນທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ຮັບປະກັນຊີວິດການບໍລິການທີ່ຍາວນານແລະບໍ່ມີການຕົກແຕ່ງຂອງສານເຄືອບ.
•ຄວາມບໍລິສຸດສູງເພື່ອກໍາຈັດສິ່ງເສດເຫຼືອທີ່ບໍ່ຈໍາເປັນຫຼືສິ່ງປົນເປື້ອນ
• ການປົກຫຸ້ມຂອງການເຄືອບ Conformal ກັບຄວາມທົນທານຂອງມິຕິທີ່ແຫນ້ນຫນາ
ຂໍ້ມູນສະເພາະດ້ານວິຊາການ:
ການກະກຽມການເຄືອບ tantalum carbide ຫນາແຫນ້ນໂດຍ CVD:
ການເຄືອບ TAC ທີ່ມີ crystallinity ສູງແລະຄວາມເປັນເອກະພາບທີ່ດີເລີດ:
CVD TAC COATING ຕົວກໍານົດການດ້ານວິຊາການ_Semicera:
ຂ້າງເທິງນີ້ແມ່ນຄ່າປົກກະຕິ.
