TaC Coated Plate ເປັນແຜ່ນພິເສດທີ່ອອກແບບມາເພື່ອນໍາໃຊ້ໃນຂະບວນການ SiC epitaxial, crafted ດ້ວຍຄວາມແມ່ນຍໍາຈາກວັດສະດຸ graphite ຄຸນນະພາບສູງ. ພື້ນຜິວຂອງມັນຖືກເຄືອບຢ່າງລະມັດລະວັງດ້ວຍ tantalum carbide (TaC), ທາດປະສົມທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບຄວາມບໍລິສຸດແລະຄວາມເຂັ້ມແຂງພິເສດຂອງມັນ. ການເຄືອບ TaC ເສີມຂະຫຍາຍຄວາມທົນທານຂອງແຜ່ນແລະຄວາມຕ້ານທານກັບອຸນຫະພູມສູງ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບເງື່ອນໄຂທີ່ຕ້ອງການຂອງຂະບວນການ SiC epitaxial.
ແຜ່ນເຄືອບ TaC ທີ່ເປັນນະວັດຕະກໍານີ້ແມ່ນແຜ່ນພິເສດທີ່ອອກແບບມາເພື່ອໃຊ້ໃນຂະບວນການ SiC epitaxial, ສ້າງຂຶ້ນດ້ວຍຄວາມແມ່ນຍໍາຈາກວັດສະດຸກຼາຟີດທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ. ພື້ນຜິວຂອງແຜ່ນເຄືອບ TaC ຖືກເຄືອບຢ່າງພິຖີພິຖັນດ້ວຍ tantalum carbide (TaC), ທາດປະສົມທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບຄວາມບໍລິສຸດ ແລະຄວາມເຂັ້ມແຂງພິເສດຂອງມັນ. ເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນແພລະຕະຟອມທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ສໍາລັບການຖື wafers ໃນໄລຍະຕ່າງໆຂອງການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ SiC epitaxial. ຖານ graphite ຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງມັນໃຫ້ພື້ນຜິວທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະ inert, ໃນຂະນະທີ່ການເຄືອບ TaC ເພີ່ມຊັ້ນພິເສດຂອງການປົກປ້ອງຕໍ່ປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີແລະການສວມໃສ່.
ເຊມິກຍຸກTaC Coated Plate ຖືກປັບແຕ່ງຕາມຄວາມຕ້ອງການສະເພາະຂອງລູກຄ້າ, ຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ດີທີ່ສຸດແລະຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ກັບລະບົບ SiC epitaxial ຂອງພວກເຂົາ. ບໍ່ວ່າຈະເປັນຂະຫນາດ, ຮູບຮ່າງ, ຫຼືຂໍ້ກໍາຫນົດອື່ນໆ, ແຜ່ນເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນເຫມາະສົມກັບຄວາມຕ້ອງການເປັນເອກະລັກຂອງທຸກຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ.
ມີ ແລະບໍ່ມີ TaC
ຫຼັງຈາກໃຊ້ TaC (ຂວາ)
ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, Semicera'sຜະລິດຕະພັນເຄືອບ taCສະແດງໃຫ້ເຫັນຊີວິດການບໍລິການທີ່ຍາວກວ່າແລະການຕໍ່ຕ້ານອຸນຫະພູມສູງຫຼາຍເມື່ອທຽບກັບການເຄືອບ SiC.ການວັດແທກຫ້ອງທົດລອງໄດ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າພວກເຮົາການເຄືອບ TaCສາມາດປະຕິບັດຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໃນອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 2300 ອົງສາເຊນຊຽດສໍາລັບໄລຍະເວລາຂະຫຍາຍ. ຂ້າງລຸ່ມນີ້ແມ່ນບາງຕົວຢ່າງຂອງຕົວຢ່າງຂອງພວກເຮົາ:
