Semicera ສະຫນອງການເຄືອບ tantalum carbide (TaC) ພິເສດສໍາລັບອົງປະກອບຕ່າງໆແລະຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ.ຂະບວນການເຄືອບຊັ້ນນໍາຂອງ Semicera ຊ່ວຍໃຫ້ການເຄືອບ tantalum carbide (TaC) ບັນລຸຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງແລະຄວາມທົນທານຕໍ່ສານເຄມີສູງ, ການປັບປຸງຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນຂອງໄປເຊຍກັນ SIC / GAN ແລະຊັ້ນ EPI (ຕົວຍຶດ TaC ເຄືອບ Graphite), ແລະຍືດອາຍຸຂອງອົງປະກອບເຕົາປະຕິກອນທີ່ສໍາຄັນ. ການນໍາໃຊ້ການເຄືອບ tantalum carbide TaC ແມ່ນເພື່ອແກ້ໄຂບັນຫາແຂບແລະປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ, ແລະ Semicera ໄດ້ແກ້ໄຂເຕັກໂນໂລຢີການເຄືອບ tantalum carbide (CVD), ກ້າວໄປສູ່ລະດັບສາກົນທີ່ກ້າວຫນ້າ.
ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ wafer ເຄືອບ Tantalum carbide ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂະບວນການປຸງແຕ່ງ wafer ແລະການຈັດການໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor. ພວກເຂົາສະຫນອງການສະຫນັບສະຫນູນແລະການປົກປ້ອງທີ່ຫມັ້ນຄົງເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມປອດໄພ, ຄວາມຖືກຕ້ອງແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງ wafers ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຜະລິດ. ການເຄືອບ Tantalum carbide ສາມາດຍືດອາຍຸການບໍລິການຂອງຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ, ຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ, ແລະປັບປຸງຄຸນນະພາບແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງຜະລິດຕະພັນ semiconductor.
ລາຍລະອຽດຂອງ tantalum carbide wafer coated carbide ແມ່ນດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:
1. ການຄັດເລືອກວັດສະດຸ: Tantalum carbide ເປັນວັດສະດຸທີ່ມີປະສິດຕິພາບທີ່ດີເລີດ, ຄວາມແຂງສູງ, ຈຸດ melting ສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ແລະຄຸນສົມບັດກົນຈັກທີ່ດີເລີດ, ສະນັ້ນມັນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor.
2. ການເຄືອບດ້ານ: ການເຄືອບ Tantalum carbide ຖືກນໍາໃຊ້ກັບຫນ້າດິນຂອງ wafer carbide ໂດຍຜ່ານຂະບວນການເຄືອບພິເສດເພື່ອສ້າງເປັນເຄື່ອງເຄືອບ tantalum carbide ເປັນເອກະພາບແລະຫນາແຫນ້ນ. ການເຄືອບນີ້ສາມາດໃຫ້ການປົກປ້ອງເພີ່ມເຕີມແລະການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່, ໃນຂະນະທີ່ມີການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີ.
3. ຄວາມລຽບແລະຄວາມແມ່ນຍໍາ: Tantalum carbide coated wafer carrier ມີຄວາມຮາບພຽງແລະຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງ wafers ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຜະລິດ. ຄວາມຮາບພຽງແລະການສໍາເລັດຮູບຂອງຫນ້າດິນແມ່ນສໍາຄັນເພື່ອຮັບປະກັນຄຸນນະພາບແລະການປະຕິບັດຂອງ wafer.
4. ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມ: ຜູ້ບັນທຸກ wafer ເຄືອບ Tantalum carbide ສາມາດຮັກສາຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນສະພາບແວດລ້ອມອຸນຫະພູມສູງໂດຍບໍ່ມີການ deformation ຫຼື loosening, ຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງ wafers ໃນຂະບວນການອຸນຫະພູມສູງ.
5. ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ: ການເຄືອບ Tantalum carbide ມີຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນທີ່ດີເລີດ, ສາມາດຕ້ານການເຊາະເຈື່ອນຂອງສານເຄມີແລະສານລະລາຍ, ແລະປົກປ້ອງຜູ້ຂົນສົ່ງຈາກການກັດກ່ອນຂອງແຫຼວແລະອາຍແກັສ.
ມີ ແລະບໍ່ມີ TaC
ຫຼັງຈາກໃຊ້ TaC (ຂວາ)
ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, Semicera'sຜະລິດຕະພັນເຄືອບ taCສະແດງໃຫ້ເຫັນຊີວິດການບໍລິການທີ່ຍາວກວ່າແລະການຕໍ່ຕ້ານອຸນຫະພູມສູງຫຼາຍເມື່ອທຽບກັບການເຄືອບ SiC.ການວັດແທກຫ້ອງທົດລອງໄດ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າພວກເຮົາການເຄືອບ TaCສາມາດປະຕິບັດຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໃນອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 2300 ອົງສາເຊນຊຽດສໍາລັບໄລຍະເວລາຂະຫຍາຍ. ຂ້າງລຸ່ມນີ້ແມ່ນບາງຕົວຢ່າງຂອງຕົວຢ່າງຂອງພວກເຮົາ:
