ແຜ່ນ graphite ເຄືອບ Tantalum carbideແມ່ນວັດສະດຸ graphite ທີ່ມີຊັ້ນບາງໆtantalum carbideຢູ່ດ້ານຂອງ substrate ໄດ້. ຊັ້ນບາງໆຂອງ tantalum carbide ມັກຈະຖືກສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນຢູ່ດ້ານຂອງ substrate graphite ໄດ້ໂດຍເຕັກນິກເຊັ່ນ: ການຝາກ vapor ທາງດ້ານຮ່າງກາຍ (PVD) ຫຼື vapor deposition ສານເຄມີ (CVD). ການເຄືອບນີ້ມີຄຸນສົມບັດທີ່ດີເລີດເຊັ່ນ: ຄວາມແຂງສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່ທີ່ດີເລີດ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງ.
Semicera ສະຫນອງການເຄືອບ tantalum carbide (TaC) ພິເສດສໍາລັບອົງປະກອບຕ່າງໆແລະຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ.ຂະບວນການເຄືອບຊັ້ນນໍາຂອງ Semicera ຊ່ວຍໃຫ້ການເຄືອບ tantalum carbide (TaC) ບັນລຸຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງແລະຄວາມທົນທານຕໍ່ສານເຄມີສູງ, ການປັບປຸງຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນຂອງໄປເຊຍກັນ SIC / GAN ແລະຊັ້ນ EPI (ຕົວຍຶດ TaC ເຄືອບ Graphite), ແລະຍືດອາຍຸຂອງອົງປະກອບເຕົາປະຕິກອນທີ່ສໍາຄັນ. ການນໍາໃຊ້ການເຄືອບ tantalum carbide TaC ແມ່ນເພື່ອແກ້ໄຂບັນຫາແຂບແລະປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ, ແລະ Semicera ໄດ້ແກ້ໄຂເຕັກໂນໂລຢີການເຄືອບ tantalum carbide (CVD), ກ້າວໄປສູ່ລະດັບສາກົນທີ່ກ້າວຫນ້າ.
ຫຼັງຈາກປີຂອງການພັດທະນາ, Semicera ໄດ້ເອົາຊະນະເຕັກໂນໂລຢີຂອງCVD TaCກັບຄວາມພະຍາຍາມຮ່ວມກັນຂອງພະແນກ R&D. ຂໍ້ບົກພ່ອງແມ່ນງ່າຍທີ່ຈະເກີດຂື້ນໃນຂະບວນການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ SiC wafers, ແຕ່ຫຼັງຈາກການນໍາໃຊ້ທາຄ, ຄວາມແຕກຕ່າງແມ່ນສໍາຄັນ. ຂ້າງລຸ່ມນີ້ແມ່ນການປຽບທຽບຂອງ wafers ທີ່ມີແລະບໍ່ມີ TaC, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບ Simicera' ພາກສ່ວນສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນດຽວ.
ຂໍ້ໄດ້ປຽບຕົ້ນຕໍຂອງແຜ່ນ graphite ເຄືອບ tantalum carbide ປະກອບມີ:
1. ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ: Tantalum carbide ມີຈຸດ melting ສູງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງທີ່ດີເລີດ, ເຮັດໃຫ້ແຜ່ນ graphite ເຄືອບແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມອຸນຫະພູມສູງ.
2. ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ: ການເຄືອບ Tantalum carbide ສາມາດຕ້ານການເຊາະເຈື່ອນຂອງສານ corrosive ສານເຄມີຈໍານວນຫຼາຍແລະຍືດອາຍຸການບໍລິການຂອງວັດສະດຸ.
3. ຄວາມແຂງສູງ: ຄວາມແຂງສູງຂອງຊັ້ນບາງໆຂອງ tantalum carbide ສະຫນອງການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່ທີ່ດີແລະເຫມາະສົມກັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ຕ້ອງການຄວາມທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ສູງ.
4. ຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີ: ການເຄືອບ Tantalum carbide ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງທີ່ດີເລີດຕໍ່ການກັດກ່ອນຂອງສານເຄມີແລະເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນບາງສື່ corrosive.
ມີ ແລະບໍ່ມີ TaC
ຫຼັງຈາກໃຊ້ TaC (ຂວາ)
ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, Semicera'sຜະລິດຕະພັນເຄືອບ taCສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງອາຍຸການບໍລິການທີ່ຍາວກວ່າແລະທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງຫຼາຍເມື່ອທຽບກັບການເຄືອບ SiC.ການວັດແທກຫ້ອງທົດລອງໄດ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າພວກເຮົາການເຄືອບ TaCສາມາດປະຕິບັດຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໃນອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 2300 ອົງສາເຊນຊຽດສໍາລັບໄລຍະເວລາຂະຫຍາຍ. ຂ້າງລຸ່ມນີ້ແມ່ນບາງຕົວຢ່າງຂອງຕົວຢ່າງຂອງພວກເຮົາ:
