ແຜ່ນຮອງຕ້ານທານທີ່ເຄືອບ Tantalum carbideເປັນ susceptor ຫຼືໂຄງສ້າງສະຫນັບສະຫນູນທີ່ຖືກປົກຄຸມດ້ວຍຊັ້ນບາງໆຂອງtantalum carbide. ການເຄືອບນີ້ສາມາດຖືກສ້າງຂື້ນຢູ່ເທິງຫນ້າຂອງ susceptor ໂດຍເຕັກນິກເຊັ່ນ: ການລະບາຍອາຍພິດທາງກາຍະພາບ (PVD) ຫຼືການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD), ເຮັດໃຫ້ susceptor ມີຄຸນສົມບັດດີກວ່າຂອງ.tantalum carbide.
Semicera ສະຫນອງການເຄືອບ tantalum carbide (TaC) ພິເສດສໍາລັບອົງປະກອບຕ່າງໆແລະຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ.ຂະບວນການເຄືອບຊັ້ນນໍາຂອງ Semicera ຊ່ວຍໃຫ້ການເຄືອບ tantalum carbide (TaC) ບັນລຸຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງແລະຄວາມທົນທານຕໍ່ສານເຄມີສູງ, ການປັບປຸງຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນຂອງໄປເຊຍກັນ SIC / GAN ແລະຊັ້ນ EPI (ຕົວຍຶດ TaC ເຄືອບ Graphite), ແລະຍືດອາຍຸຂອງອົງປະກອບເຕົາປະຕິກອນທີ່ສໍາຄັນ. ການນໍາໃຊ້ການເຄືອບ tantalum carbide TaC ແມ່ນເພື່ອແກ້ໄຂບັນຫາແຂບແລະປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ, ແລະ Semicera ໄດ້ແກ້ໄຂເຕັກໂນໂລຢີການເຄືອບ tantalum carbide (CVD), ກ້າວໄປສູ່ລະດັບສາກົນທີ່ກ້າວຫນ້າ.
ຫຼັງຈາກປີຂອງການພັດທະນາ, Semicera ໄດ້ເອົາຊະນະເຕັກໂນໂລຢີຂອງCVD TaCກັບຄວາມພະຍາຍາມຮ່ວມກັນຂອງພະແນກ R&D. ຂໍ້ບົກພ່ອງແມ່ນງ່າຍທີ່ຈະເກີດຂື້ນໃນຂະບວນການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ SiC wafers, ແຕ່ຫຼັງຈາກການນໍາໃຊ້ທາຄ, ຄວາມແຕກຕ່າງແມ່ນສໍາຄັນ. ຂ້າງລຸ່ມນີ້ແມ່ນການປຽບທຽບຂອງ wafers ທີ່ມີແລະບໍ່ມີ TaC, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບ Simicera' ພາກສ່ວນສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນດຽວ.
ລັກສະນະຕົ້ນຕໍຂອງແຜ່ນຮອງພື້ນເຄືອບ tantalum carbide ປະກອບມີ:
1. ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງ: Tantalum carbide ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງທີ່ດີເລີດ, ເຮັດໃຫ້ແຜ່ນສະຫນັບສະຫນູນພື້ນຖານທີ່ເຄືອບທີ່ເຫມາະສົມກັບຄວາມຕ້ອງການສະຫນັບສະຫນູນໃນສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ.
2. ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ: ການເຄືອບ Tantalum carbide ມີຄວາມຕ້ານທານ corrosion ທີ່ດີ, ສາມາດຕ້ານ corrosion ສານເຄມີແລະການຜຸພັງ, ແລະຍືດອາຍຸການບໍລິການຂອງຖານ.
3. ຄວາມແຂງສູງແລະຄວາມທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່: ຄວາມແຂງສູງຂອງການເຄືອບ tantalum carbide ເຮັດໃຫ້ແຜ່ນຮອງພື້ນຖານມີຄວາມທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ທີ່ດີ, ເຊິ່ງເຫມາະສົມສໍາລັບບາງຄັ້ງທີ່ຕ້ອງການຄວາມທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ສູງ.
4. ຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີ: Tantalum carbide ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງສູງຕໍ່ສານເຄມີທີ່ຫລາກຫລາຍ, ເຮັດໃຫ້ແຜ່ນຮອງພື້ນຖານທີ່ເຄືອບເຮັດວຽກໄດ້ດີໃນບາງສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີການກັດກ່ອນ.
ມີ ແລະບໍ່ມີ TaC
ຫຼັງຈາກໃຊ້ TaC (ຂວາ)
ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, Semicera'sຜະລິດຕະພັນເຄືອບ taCສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງອາຍຸການບໍລິການທີ່ຍາວກວ່າແລະທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງຫຼາຍເມື່ອທຽບກັບການເຄືອບ SiC.ການວັດແທກຫ້ອງທົດລອງໄດ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າພວກເຮົາການເຄືອບ TaCສາມາດປະຕິບັດຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໃນອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 2300 ອົງສາເຊນຊຽດສໍາລັບໄລຍະເວລາຂະຫຍາຍ. ຂ້າງລຸ່ມນີ້ແມ່ນບາງຕົວຢ່າງຂອງຕົວຢ່າງຂອງພວກເຮົາ:
