ການປະມວນຜົນ MEMS - ພັນທະບັດ: ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກແລະການປະຕິບັດໃນອຸດສາຫະກໍາ Semiconductor, Semicera Customized Service
ໃນອຸດສາຫະກໍາຈຸນລະພາກແລະ semiconductor, ເຕັກໂນໂລຊີ MEMS (ລະບົບກົນຈັກໄຟຟ້າຈຸນລະພາກ) ໄດ້ກາຍເປັນຫນຶ່ງໃນເຕັກໂນໂລຊີຫຼັກທີ່ຂັບເຄື່ອນການປະດິດສ້າງແລະອຸປະກອນປະສິດທິພາບສູງ. ດ້ວຍຄວາມກ້າວຫນ້າຂອງວິທະຍາສາດແລະເຕັກໂນໂລຢີ, ເຕັກໂນໂລຢີ MEMS ໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນເຊັນເຊີ, ຕົວກະຕຸ້ນ, ອຸປະກອນ optical, ອຸປະກອນການແພດ, ເອເລັກໂຕຣນິກລົດໃຫຍ່ແລະຂົງເຂດອື່ນໆ, ແລະຄ່ອຍໆກາຍເປັນສ່ວນຫນຶ່ງທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ຂອງເຕັກໂນໂລຢີທີ່ທັນສະໄຫມ. ໃນຂົງເຂດເຫຼົ່ານີ້, ຂະບວນການຜູກມັດ (Bonding), ເປັນຂັ້ນຕອນສໍາຄັນໃນການປຸງແຕ່ງ MEMS, ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການປະຕິບັດແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງອຸປະກອນ.
ການຜູກມັດແມ່ນເຕັກໂນໂລຢີທີ່ປະສົມປະສານຢ່າງຫນັກແຫນ້ນສອງວັດສະດຸຫຼືຫຼາຍກວ່ານັ້ນໂດຍວິທີການທາງດ້ານຮ່າງກາຍຫຼືທາງເຄມີ. ປົກກະຕິແລ້ວ, ຊັ້ນວັດສະດຸທີ່ແຕກຕ່າງກັນຕ້ອງໄດ້ຮັບການເຊື່ອມຕໍ່ໂດຍການຜູກມັດໃນອຸປະກອນ MEMS ເພື່ອບັນລຸຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງແລະການປະຕິບັດຕົວຈິງ. ໃນຂະບວນການຜະລິດອຸປະກອນ MEMS, ການຜູກມັດບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນຂະບວນການເຊື່ອມຕໍ່, ແຕ່ຍັງມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນ, ຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກ, ປະສິດທິພາບໄຟຟ້າແລະລັກສະນະອື່ນໆຂອງອຸປະກອນ.
ໃນການປຸງແຕ່ງ MEMS ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ເຕັກໂນໂລຢີການຜູກມັດຕ້ອງຮັບປະກັນຄວາມໃກ້ຊິດລະຫວ່າງວັດສະດຸໃນຂະນະທີ່ຫຼີກເວັ້ນຂໍ້ບົກພ່ອງໃດໆທີ່ມີຜົນກະທົບຕໍ່ການປະຕິບັດຂອງອຸປະກອນ. ດັ່ງນັ້ນ, ການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນຂອງຂະບວນການຜູກມັດແລະອຸປະກອນການຜູກມັດທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງແມ່ນປັດໃຈສໍາຄັນເພື່ອຮັບປະກັນວ່າຜະລິດຕະພັນສຸດທ້າຍໄດ້ມາດຕະຖານອຸດສາຫະກໍາ.
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກການຜູກມັດ MEMS ໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor
ໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor, ເຕັກໂນໂລຊີ MEMS ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການຜະລິດອຸປະກອນຈຸນລະພາກເຊັ່ນ: ເຊັນເຊີ, accelerometers, ເຊັນເຊີຄວາມກົດດັນ, ແລະ gyroscopes. ດ້ວຍຄວາມຕ້ອງການທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນສໍາລັບຜະລິດຕະພັນຂະຫນາດນ້ອຍ, ປະສົມປະສານ, ແລະອັດສະລິຍະ, ຄວາມຕ້ອງການຄວາມຖືກຕ້ອງແລະການປະຕິບັດຂອງອຸປະກອນ MEMS ກໍ່ເພີ່ມຂຶ້ນ. ໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກເຫຼົ່ານີ້, ເທກໂນໂລຍີການຜູກມັດຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອເຊື່ອມຕໍ່ວັດສະດຸທີ່ແຕກຕ່າງກັນເຊັ່ນ: ຊິລິໂຄນ wafers, ແກ້ວ, ໂລຫະ, ແລະໂພລີເມີເພື່ອບັນລຸຫນ້າທີ່ທີ່ມີປະສິດທິພາບແລະຫມັ້ນຄົງ.
1. ເຊັນເຊີຄວາມດັນ ແລະເຄື່ອງວັດແທກຄວາມເລັ່ງ
ໃນຂົງເຂດລົດໃຫຍ່, ຍານອາວະກາດ, ເອເລັກໂຕຣນິກຜູ້ບໍລິໂພກ, ແລະອື່ນໆ, ເຊັນເຊີຄວາມກົດດັນ MEMS ແລະເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໄວແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນລະບົບການວັດແທກແລະການຄວບຄຸມ. ຂະບວນການຜູກມັດຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອເຊື່ອມຕໍ່ຊິບຊິລິໂຄນແລະອົງປະກອບເຊັນເຊີເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມອ່ອນໄຫວແລະຄວາມຖືກຕ້ອງສູງ. ເຊັນເຊີເຫຼົ່ານີ້ຕ້ອງສາມາດທົນທານຕໍ່ສະພາບສິ່ງແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ, ແລະຂະບວນການຜູກມັດທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງສາມາດປ້ອງກັນວັດສະດຸຈາກການແຍກຫຼືຜິດປົກກະຕິເນື່ອງຈາກການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ.
2. ອຸປະກອນ Micro-optical ແລະ MEMS optical switches
ໃນພາກສະຫນາມຂອງການສື່ສານ optical ແລະອຸປະກອນ laser, ອຸປະກອນ optical MEMS ແລະສະຫຼັບ optical ມີບົດບາດສໍາຄັນ. ເທກໂນໂລຍີການຜູກມັດຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອບັນລຸການເຊື່ອມຕໍ່ທີ່ຊັດເຈນລະຫວ່າງອຸປະກອນ MEMS ທີ່ໃຊ້ຊິລິຄອນແລະວັດສະດຸເຊັ່ນເສັ້ນໄຍ optical ແລະກະຈົກເພື່ອຮັບປະກັນປະສິດທິພາບແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງການສົ່ງສັນຍານ optical. ໂດຍສະເພາະໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ມີຄວາມຖີ່ສູງ, ແບນວິດກວ້າງແລະສາຍສົ່ງທາງໄກ, ເຕັກໂນໂລຢີການເຊື່ອມໂຍງທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງແມ່ນສໍາຄັນ.
3. MEMS gyroscopes ແລະເຊັນເຊີ inertial
MEMS gyroscopes ແລະເຊັນເຊີ inertial ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງສໍາລັບການນໍາທາງແລະການຈັດຕໍາແຫນ່ງທີ່ຊັດເຈນໃນອຸດສາຫະກໍາຊັ້ນສູງເຊັ່ນ: ການຂັບລົດອັດຕະໂນມັດ, ຫຸ່ນຍົນ, ແລະອາວະກາດ. ຂະບວນການຜູກມັດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງສາມາດຮັບປະກັນຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງອຸປະກອນແລະຫຼີກເວັ້ນຄວາມເສື່ອມໂຊມຂອງການປະຕິບັດຫຼືຄວາມລົ້ມເຫຼວໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດງານໄລຍະຍາວຫຼືການດໍາເນີນການທີ່ມີຄວາມຖີ່ສູງ.
ຄວາມຕ້ອງການການປະຕິບັດທີ່ສໍາຄັນຂອງເຕັກໂນໂລຢີການຜູກມັດໃນການປຸງແຕ່ງ MEMS
ໃນການປຸງແຕ່ງ MEMS, ຄຸນນະພາບຂອງຂະບວນການຜູກມັດໂດຍກົງກໍານົດການປະຕິບັດ, ຊີວິດແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸປະກອນ. ເພື່ອຮັບປະກັນວ່າອຸປະກອນ MEMS ສາມາດເຮັດວຽກເປັນເວລາດົນນານໃນສະຖານະການຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕ່າງໆ, ເທກໂນໂລຍີການຜູກມັດຕ້ອງມີການປະຕິບັດທີ່ສໍາຄັນຕໍ່ໄປນີ້:
1. ສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນສູງ
ສະພາບແວດລ້ອມຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຈໍານວນຫຼາຍໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ມີສະພາບອຸນຫະພູມສູງ, ໂດຍສະເພາະໃນຂົງເຂດຂອງລົດໃຫຍ່, ຍານອາວະກາດ, ແລະອື່ນໆ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຄວາມຮ້ອນຂອງອຸປະກອນການຜູກມັດແມ່ນສໍາຄັນແລະສາມາດທົນທານຕໍ່ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມໂດຍບໍ່ມີການຊຸດໂຊມຫຼືຄວາມລົ້ມເຫຼວ.
2. ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ສູງ
ອຸປະກອນ MEMS ໂດຍປົກກະຕິແມ່ນກ່ຽວຂ້ອງກັບໂຄງສ້າງກົນຈັກຈຸລະພາກ, ແລະ friction ໃນໄລຍະຍາວແລະການເຄື່ອນໄຫວອາດຈະເຮັດໃຫ້ເກີດການສວມຂອງສ່ວນເຊື່ອມຕໍ່. ອຸປະກອນການຜູກມັດຕ້ອງມີຄວາມທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ທີ່ດີເລີດເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະປະສິດທິພາບຂອງອຸປະກອນໃນການນໍາໃຊ້ໃນໄລຍະຍາວ.
3. ຄວາມບໍລິສຸດສູງ
ອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ມີຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຄັ່ງຄັດຫຼາຍກ່ຽວກັບຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸ. ສິ່ງປົນເປື້ອນນ້ອຍໆອາດເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງອຸປະກອນ ຫຼືການເສື່ອມໂຊມຂອງປະສິດທິພາບ. ດັ່ງນັ້ນ, ວັດສະດຸທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການຜູກມັດຕ້ອງມີຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ສຸດເພື່ອຮັບປະກັນວ່າອຸປະກອນບໍ່ໄດ້ຮັບຜົນກະທົບຈາກການປົນເປື້ອນພາຍນອກໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດງານ.
4. ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຜູກມັດທີ່ຊັດເຈນ
ອຸປະກອນ MEMS ມັກຈະຕ້ອງການຄວາມຖືກຕ້ອງໃນລະດັບ micron ຫຼືແມ້ກະທັ້ງ nanometer ການປຸງແຕ່ງລະດັບ. ຂະບວນການຜູກມັດຕ້ອງຮັບປະກັນການເຊື່ອມຈອດທີ່ຊັດເຈນຂອງແຕ່ລະຊັ້ນຂອງວັດສະດຸເພື່ອຮັບປະກັນການເຮັດວຽກແລະການປະຕິບັດຂອງອຸປະກອນບໍ່ໄດ້ຮັບຜົນກະທົບ.
ການຜູກມັດ Anodic
ການເຊື່ອມຕໍ່ Anodic:
● ໃຊ້ໄດ້ກັບຄວາມຜູກພັນລະຫວ່າງຊິລິຄອນ wafers ແລະແກ້ວ, ໂລຫະແລະແກ້ວ, semiconductor ແລະໂລຫະປະສົມ, ແລະ semiconductor ແລະແກ້ວ
ພັນທະບັດ Eutectoid:
● ໃຊ້ໄດ້ກັບວັດສະດຸເຊັ່ນ PbSn, AuSn, CuSn, ແລະ AuSi
ການເຊື່ອມຕໍ່ກາວ:
●ໃຊ້ກາວຜູກມັດພິເສດ, ເຫມາະສົມກັບກາວຜູກພິເສດເຊັ່ນ AZ4620 ແລະ SU8
● ໃຊ້ໄດ້ກັບ 4 ນິ້ວ ແລະ 6 ນິ້ວ
Semicera Custom Bonding ບໍລິການ
ໃນຖານະທີ່ເປັນຜູ້ໃຫ້ບໍລິການຊັ້ນນໍາຂອງອຸດສາຫະກໍາການປຸງແຕ່ງ MEMS, Semicera ມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງລູກຄ້າດ້ວຍການບໍລິການຜູກມັດທີ່ກໍາຫນົດເອງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ສະຖຽນລະພາບສູງ. ເທກໂນໂລຍີການຜູກມັດຂອງພວກເຮົາສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການເຊື່ອມຕໍ່ຂອງວັດສະດຸທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ລວມທັງຊິລິໂຄນ, ແກ້ວ, ໂລຫະ, ເຊລາມິກ, ແລະອື່ນໆ, ສະຫນອງການແກ້ໄຂໃຫມ່ສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ມີລະດັບສູງໃນຂົງເຂດ semiconductor ແລະ MEMS.
Semicera ມີອຸປະກອນການຜະລິດຂັ້ນສູງແລະທີມງານດ້ານວິຊາການ, ແລະສາມາດສະຫນອງການແກ້ໄຂການຜູກມັດທີ່ກໍາຫນົດເອງຕາມຄວາມຕ້ອງການສະເພາະຂອງລູກຄ້າ. ບໍ່ວ່າຈະເປັນການເຊື່ອມຕໍ່ທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມຄວາມກົດດັນສູງ, ຫຼືການຜູກມັດອຸປະກອນຈຸນລະພາກທີ່ຊັດເຈນ, Semicera ສາມາດຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂະບວນການສະລັບສັບຊ້ອນຕ່າງໆເພື່ອຮັບປະກັນວ່າແຕ່ລະຜະລິດຕະພັນສາມາດຕອບສະຫນອງມາດຕະຖານທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງທີ່ສຸດ.
ການບໍລິການການຜູກມັດແບບກໍານົດເອງຂອງພວກເຮົາບໍ່ຈໍາກັດກັບຂະບວນການຜູກມັດແບບດັ້ງເດີມ, ແຕ່ຍັງລວມເຖິງການເຊື່ອມໂລຫະ, ການບີບອັດຄວາມຮ້ອນ, ການຜູກມັດກາວແລະຂະບວນການອື່ນໆ, ເຊິ່ງສາມາດສະຫນອງການສະຫນັບສະຫນູນດ້ານວິຊາການດ້ານວິຊາຊີບສໍາລັບວັດສະດຸ, ໂຄງສ້າງແລະຄວາມຕ້ອງການທີ່ແຕກຕ່າງກັນ. ນອກຈາກນັ້ນ, Semicera ຍັງສາມາດໃຫ້ບໍລິການລູກຄ້າຢ່າງເຕັມທີ່ຈາກການພັດທະນາຕົ້ນແບບໄປສູ່ການຜະລິດຈໍານວນຫລາຍເພື່ອຮັບປະກັນວ່າທຸກໆຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າສາມາດປະຕິບັດໄດ້ຢ່າງຖືກຕ້ອງ.
