ແນະນໍາການເຄືອບ Silicon Carbide
ການເຄືອບສານເຄມີຂອງພວກເຮົາ (CVD) Silicon Carbide (SiC) ເປັນຊັ້ນທີ່ມີຄວາມທົນທານສູງແລະທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່, ເຫມາະສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຕ້ອງການການກັດກ່ອນແລະການຕໍ່ຕ້ານຄວາມຮ້ອນສູງ.ການເຄືອບ Silicon Carbideຖືກ ນຳ ໃຊ້ເປັນຊັ້ນບາງໆເທິງຊັ້ນຍ່ອຍຕ່າງໆໂດຍຜ່ານຂະບວນການ CVD, ສະເຫນີຄຸນລັກສະນະການປະຕິບັດທີ່ດີຂຶ້ນ.
ຄຸນນະສົມບັດທີ່ສໍາຄັນ
● - ຄວາມບໍລິສຸດພິເສດ: ໂອ້ອວດອົງປະກອບອັນບໍລິສຸດຂອງ99.99995%, ຂອງພວກເຮົາການເຄືອບ SiCຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນໃນການປະຕິບັດງານຂອງເຊມິຄອນດັກເຕີທີ່ລະອຽດອ່ອນ.
● - ຄວາມຕ້ານທານສູງສຸດ: ສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີເລີດທັງການສວມໃສ່ແລະການກັດກ່ອນ, ເຮັດໃຫ້ມັນສົມບູນແບບສໍາລັບການທ້າທາຍການຕັ້ງຄ່າສານເຄມີແລະ plasma.
● - ຄວາມທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນສູງ: ຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມທີ່ຮຸນແຮງເນື່ອງຈາກຄຸນສົມບັດຄວາມຮ້ອນທີ່ໂດດເດັ່ນຂອງມັນ.
● -Dimensional Stability: ຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງໃນທົ່ວລະດັບຄວາມກ້ວາງຂອງອຸນຫະພູມ, ຍ້ອນຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາຂອງມັນ.
● - ປັບປຸງຄວາມແຂງ: ມີການຈັດອັນດັບຄວາມແຂງຂອງ40 GPa, ການເຄືອບ SiC ຂອງພວກເຮົາທົນທານຕໍ່ຜົນກະທົບທີ່ສໍາຄັນແລະການຂັດ.
● -Smooth Surface Finish: ສະຫນອງການສໍາເລັດຮູບຄ້າຍຄືກະຈົກ, ຫຼຸດຜ່ອນການຜະລິດອະນຸພາກແລະເພີ່ມປະສິດທິພາບການດໍາເນີນງານ.
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ
Semicera ການເຄືອບ SiCຖືກນໍາໃຊ້ໃນຂັ້ນຕອນຕ່າງໆຂອງການຜະລິດ semiconductor, ລວມທັງ:
● -ການຜະລິດຊິບ LED
● -ການຜະລິດໂພລີຊິລິຄອນ
● -ການຂະຫຍາຍຕົວ Crystal Semiconductor
● -Silicon ແລະ SiC Epitaxy
● -Oxidation ແລະການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນ (TO&D)
ພວກເຮົາສະຫນອງອົງປະກອບທີ່ເຄືອບ SiC ທີ່ຜະລິດຈາກ graphite isostatic ທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງ, ກາກບອນທີ່ມີເສັ້ນໄຍເສີມແລະ 4N recrystallized silicon carbide, ປັບແຕ່ງສໍາລັບເຕົາປະຕິກອນທີ່ມີນ້ໍາຜຶ້ງ,ເຄື່ອງແປງ STC-TCS, ເຄື່ອງສະທ້ອນຫນ່ວຍ CZ, SiC wafer boat, SiCwafer paddle, SiC wafer tube, ແລະ wafer carriers ທີ່ໃຊ້ໃນ PECVD, silicon epitaxy, ຂະບວນການ MOCVD.
ຜົນປະໂຫຍດ
● -Extended Lifespan: ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຫຼຸດຜ່ອນການ downtime ອຸປະກອນແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍບໍາລຸງຮັກສາ, ເພີ່ມປະສິດທິພາບການຜະລິດໂດຍລວມ.
● - ປັບປຸງຄຸນນະພາບ: ບັນລຸພື້ນຜິວທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບການປຸງແຕ່ງ semiconductor, ດັ່ງນັ້ນການຍົກສູງຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນ.
● - ປະສິດທິພາບເພີ່ມຂຶ້ນ: ເພີ່ມປະສິດທິພາບຂະບວນການຄວາມຮ້ອນແລະ CVD, ເຮັດໃຫ້ເວລາວົງຈອນສັ້ນລົງແລະຜົນຜະລິດທີ່ສູງຂຶ້ນ.
ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະ
● -ໂຄງສ້າງ: FCC β polycrystaline ໄລຍະ, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນ (111) ຮັດກຸມ
● - ຄວາມຫນາແຫນ້ນ: 3.21 g/cm³
● - ຄວາມແຂງ: 2500 Vickes ແຂງ (500g ໂຫຼດ)
● -Fracture Toughness: 3.0 MPa·m1/2
● -ສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (100–600°C): 4.3 x 10-6k-1
● -Elastic Modulus(1300℃):435 GPA
● -ຄວາມໜາຂອງຟິມທົ່ວໄປ:100 µm
● -Surface Roughness:2-10 µມ
ຂໍ້ມູນຄວາມບໍລິສຸດ (ວັດແທກໂດຍ Glow Discharge Mass Spectroscopy)
| ອົງປະກອບ | ppm | ອົງປະກອບ | ppm |
| Li | < 0.001 | Cu | < 0.01 |
| Be | < 0.001 | Zn | < 0.05 |
| ອັນ | < 0.04 | Ga | < 0.01 |
| P | < 0.01 | Ge | < 0.05 |
| S | < 0.04 | As | < 0.005 |
| K | < 0.05 | In | < 0.01 |
| Ca | < 0.05 | Sn | < 0.01 |
| Ti | < 0.005 | Sb | < 0.01 |
| V | < 0.001 | W | < 0.05 |
| Cr | < 0.05 | Te | < 0.01 |
| Mn | < 0.005 | Pb | < 0.01 |
| Fe | < 0.05 | Bi | < 0.05 |
| Ni | < 0.01 |
|
