ໄດ້MOCVDວິທີການແມ່ນຫນຶ່ງໃນຂະບວນການທີ່ຫມັ້ນຄົງທີ່ສຸດໃນປະຈຸບັນທີ່ໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກໍາເພື່ອປູກຮູບເງົາບາງໆ crystalline ດຽວທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ເຊັ່ນ InGaN epilayers ໄລຍະດຽວ, ວັດສະດຸ III-N, ແລະຮູບເງົາ semiconductor ທີ່ມີໂຄງສ້າງທີ່ດີ quantum ຫຼາຍ, ແລະມີຄວາມສໍາຄັນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍໃນການຜະລິດ. ການຜະລິດ semiconductor ແລະອຸປະກອນ optoelectronic.
ໄດ້SiC coating susceptor MOCVDເປັນຜູ້ຖື wafer ພິເສດທີ່ເຄືອບດ້ວຍ silicon carbide (SiC) ສໍາລັບepitaxial ການຂະຫຍາຍຕົວໃນຂະບວນການປ່ອຍອາຍພິດສານເຄມີອິນຊີໂລຫະ (MOCVD).
ການເຄືອບ SiC ມີຄວາມທົນທານຕໍ່ສານເຄມີທີ່ດີເລີດແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບ susceptors MOCVD ທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການການຂະຫຍາຍຕົວ epitaxial ທີ່ຕ້ອງການ.
ອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນຂອງຂະບວນການ MOCVD ແມ່ນ susceptor, ເຊິ່ງເປັນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມເປັນເອກະພາບແລະຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາບາງໆທີ່ຜະລິດ.
susceptor ແມ່ນຫຍັງ? susceptor ເປັນອົງປະກອບພິເສດທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການ MOCVD ເພື່ອສະຫນັບສະຫນູນແລະຄວາມຮ້ອນຂອງ substrate ທີ່ຮູບເງົາບາງແມ່ນຝາກໄວ້. ມັນມີຫຼາຍຫນ້າທີ່, ລວມທັງການດູດຊຶມພະລັງງານແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າ, ປ່ຽນເປັນຄວາມຮ້ອນ, ແລະການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນໃນຊັ້ນໃຕ້ດິນ. ການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນແບບເອກະພາບນີ້ແມ່ນຈໍາເປັນສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຮູບເງົາບາງໆທີ່ເປັນເອກະພາບທີ່ມີຄວາມຫນາແລະອົງປະກອບທີ່ຊັດເຈນ.
ປະເພດຂອງ susceptors:
1. Graphite susceptors: Graphite susceptors ມັກຖືກເຄືອບດ້ວຍຊັ້ນປ້ອງກັນເຊັ່ນ:ຊິລິຄອນຄາໄບ (SiC), ເຊິ່ງເປັນທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບການນໍາຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງສູງ. ໄດ້ການເຄືອບ SiCໃຫ້ພື້ນຜິວແຂງ, ປ້ອງກັນການກັດກ່ອນແລະການເຊື່ອມໂຊມໃນອຸນຫະພູມສູງ.
2. ທົນທານຕໍ່ Silicon carbide (SiC): susceptors ເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນເຮັດມາຈາກ SiC ທັງຫມົດແລະມີສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດແລະການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່. SiC susceptors ແມ່ນເຫມາະສົມໂດຍສະເພາະສໍາລັບຂະບວນການອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມ corrosive.
ວິທີທີ່ susceptors ເຮັດວຽກຢູ່ໃນ MOCVD:
ໃນຂະບວນການ MOCVD, ຄາຣະວາຖືກນໍາເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງຕິກິຣິຍາທີ່ພວກເຂົາ decompose ແລະ react ເພື່ອສ້າງເປັນຮູບເງົາບາງໆກ່ຽວກັບ substrate ໄດ້. susceptor ມີບົດບາດສໍາຄັນໂດຍການຮັບປະກັນວ່າ substrate ໄດ້ຮັບຄວາມຮ້ອນເທົ່າທຽມກັນ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນເພື່ອບັນລຸຄຸນສົມບັດຂອງຮູບເງົາທີ່ສອດຄ່ອງໃນທົ່ວພື້ນຜິວ substrate ທັງຫມົດ. ວັດສະດຸແລະການອອກແບບຂອງ susceptor ໄດ້ຖືກຄັດເລືອກຢ່າງລະມັດລະວັງເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການສະເພາະຂອງຂະບວນການເງິນຝາກ, ເຊັ່ນ: ລະດັບອຸນຫະພູມແລະຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງສານເຄມີ.
ຜົນປະໂຫຍດຂອງການນໍາໃຊ້ susceptors ຄຸນນະພາບສູງ:
• ປັບປຸງຄຸນນະພາບຟິມ: ໂດຍການສະຫນອງການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບ, susceptor ຊ່ວຍໃຫ້ບັນລຸຮູບເງົາທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນແລະອົງປະກອບທີ່ສອດຄ່ອງ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນຕໍ່ການປະຕິບັດຂອງອຸປະກອນ semiconductor.
• ປັບປຸງປະສິດທິພາບຂະບວນການ: susceptors ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງເພີ່ມປະສິດທິພາບໂດຍລວມຂອງຂະບວນການ MOCVD ໂດຍການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເປັນໄປໄດ້ຂອງຂໍ້ບົກພ່ອງແລະເພີ່ມຜົນຜະລິດຂອງຮູບເງົາທີ່ສາມາດໃຊ້ໄດ້.
• ອາຍຸ ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖື: Susceptors ທີ່ເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸທີ່ທົນທານເຊັ່ນ SiC ຮັບປະກັນຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືໃນໄລຍະຍາວແລະຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການບໍາລຸງຮັກສາ.
susceptor ແມ່ນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນໃນຂະບວນການ MOCVD ແລະມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຄຸນນະພາບແລະປະສິດທິພາບຂອງການຝາກຮູບເງົາບາງໆ. ສໍາລັບຂໍ້ມູນເພີ່ມເຕີມກ່ຽວກັບຂະຫນາດທີ່ມີຢູ່, susceptors MOCVD ແລະລາຄາ, ກະລຸນາຢ່າລັງເລທີ່ຈະຕິດຕໍ່ພວກເຮົາ. ວິສະວະກອນຂອງພວກເຮົາຍິນດີທີ່ຈະໃຫ້ຄໍາແນະນໍາທ່ານກ່ຽວກັບວັດສະດຸທີ່ເຫມາະສົມແລະຕອບຄໍາຖາມທັງຫມົດຂອງທ່ານ.
ໂທລະສັບ: +86-13373889683
WhatsApp: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
ເວລາປະກາດ: ສິງຫາ-12-2024