ທາດອາຍພິດທາງເຄມີຂອງໂລຫະ-ອິນຊີ (MOCVD) ແມ່ນຂະບວນການສໍາຄັນໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor, ບ່ອນທີ່ຮູບເງົາບາງທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງຖືກຝາກໄວ້ໃນຊັ້ນຍ່ອຍ. ອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນຂອງຂະບວນການ MOCVD ແມ່ນ susceptor, ເປັນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນທີ່ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການຮັບປະກັນຄວາມເປັນເອກະພາບແລະຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາທີ່ຜະລິດ.
Susceptor ແມ່ນຫຍັງ? susceptor ແມ່ນອົງປະກອບພິເສດທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການ MOCVD ເພື່ອສະຫນັບສະຫນູນແລະໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຂອງ substrate ທີ່ຮູບເງົາບາງໆຖືກຝາກໄວ້. ມັນຮັບໃຊ້ຫຼາຍຫນ້າທີ່, ລວມທັງການດູດຊຶມພະລັງງານແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າ, ປ່ຽນເປັນຄວາມຮ້ອນ, ແລະການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນນີ້ຢ່າງເທົ່າທຽມກັນໃນທົ່ວ substrate. ການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນແບບເປັນເອກະພາບນີ້ແມ່ນຈໍາເປັນສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຮູບເງົາ homogeneous ທີ່ມີຄວາມຫນາແລະອົງປະກອບທີ່ຊັດເຈນ.
ປະເພດຂອງ Susceptors:
1. Graphite Susceptors: ປົກກະຕິແລ້ວ coated ກັບຊັ້ນປ້ອງກັນ, ເຊັ່ນ:ຊິລິຄອນຄາໄບ (SiC), susceptors graphite ແມ່ນເປັນທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງເຂົາເຈົ້າ. ໄດ້ການເຄືອບ SiCໃຫ້ພື້ນຜິວແຂງ, ປ້ອງກັນການກັດກ່ອນແລະການເຊື່ອມໂຊມໃນອຸນຫະພູມສູງ.
2. ຕົວດູດຊຶມ Silicon Carbide (SiC).: ເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນຜະລິດທັງຫມົດຈາກ SiC, ສະຫນອງຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດແລະການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່ແລະ tear.SiC suceptorsໂດຍສະເພາະແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບຂະບວນການອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມ corrosive.
ແນວໃດຕົວອ່ອນເຮັດວຽກຢູ່ໃນ MOCVD:
ໃນຂະບວນການ MOCVD, ຄາຣະວາຖືກນໍາເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງເຕົາປະຕິກອນ, ບ່ອນທີ່ພວກມັນທໍາລາຍແລະປະຕິກິລິຍາເພື່ອສ້າງເປັນຮູບເງົາບາງໆຢູ່ເທິງຊັ້ນຍ່ອຍ. susceptor ມີບົດບາດສໍາຄັນໂດຍການຮັບປະກັນວ່າ substrate ໄດ້ຮັບຄວາມຮ້ອນເທົ່າທຽມກັນ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນສໍາລັບການບັນລຸຄຸນສົມບັດຂອງຮູບເງົາທີ່ສອດຄ່ອງໃນທົ່ວພື້ນຜິວ substrate ທັງຫມົດ. ວັດສະດຸແລະການອອກແບບຂອງ susceptor ໄດ້ຖືກເລືອກຢ່າງລະມັດລະວັງເພື່ອໃຫ້ກົງກັບຄວາມຕ້ອງການສະເພາະຂອງຂະບວນການເງິນຝາກ, ເຊັ່ນ: ລະດັບອຸນຫະພູມແລະຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງສານເຄມີ.
ຜົນປະໂຫຍດຂອງການນໍາໃຊ້Susceptors ຄຸນນະພາບສູງ:
• ປັບປຸງຄຸນນະພາບຟິມ: ໂດຍການສະຫນອງການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບ, susceptors ຊ່ວຍໃນການບັນລຸຮູບເງົາທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນແລະອົງປະກອບທີ່ສອດຄ່ອງ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນສໍາລັບການປະຕິບັດຂອງອຸປະກອນ semiconductor.
• ປະສິດທິພາບຂະບວນການເພີ່ມຂຶ້ນ: susceptors ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງປັບປຸງປະສິດທິພາບໂດຍລວມຂອງຂະບວນການ MOCVD ໂດຍການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເປັນໄປໄດ້ຂອງຂໍ້ບົກພ່ອງແລະການເພີ່ມຜົນຜະລິດຂອງຮູບເງົາທີ່ສາມາດໃຊ້ໄດ້.
• ອາຍຸຍືນ ແລະຄວາມໜ້າເຊື່ອຖື: Susceptors ທີ່ຜະລິດຈາກວັດສະດຸທີ່ທົນທານເຊັ່ນ SiC ຮັບປະກັນຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືໃນໄລຍະຍາວ ແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການບໍາລຸງຮັກສາຫຼຸດລົງ.
ສະຫຼຸບ: susceptor ເປັນອົງປະກອບທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນຂະບວນການ MOCVD, ມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຄຸນນະພາບແລະປະສິດທິພາບຂອງການຝາກຮູບເງົາບາງໆ. ໂດຍການເລືອກວັດສະດຸແລະການອອກແບບ susceptor ທີ່ເຫມາະສົມ, ຜູ້ຜະລິດ semiconductor ສາມາດເພີ່ມປະສິດທິພາບຂະບວນການຂອງພວກເຂົາ, ເຮັດໃຫ້ການປະຕິບັດອຸປະກອນທີ່ດີກວ່າແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດຕ່ໍາ. ໃນຂະນະທີ່ຄວາມຕ້ອງການອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງຍັງສືບຕໍ່ເຕີບໂຕ, ຄວາມສໍາຄັນຂອງ MOCVD susc ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ.
ເວລາປະກາດ: ສິງຫາ-12-2024