ລາຍລະອຽດ
Semicorex Wafer Carriers ທີ່ມີການເຄືອບ SiC ສະຫນອງຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານຄວາມຮ້ອນພິເສດແລະການດໍາເນີນການ, ຮັບປະກັນການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບໃນລະຫວ່າງຂະບວນການ CVD, ສໍາຄັນສໍາລັບຮູບເງົາບາງທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງແລະຄຸນລັກສະນະການເຄືອບ.
ຄຸນນະສົມບັດທີ່ສໍາຄັນ:
1. ຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານຄວາມຮ້ອນທີ່ໂດດເດັ່ນແລະການນໍາຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ wafer ເຄືອບ SiC ຂອງພວກເຮົາດີເລີດໃນການຮັກສາອຸນຫະພູມທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະສອດຄ່ອງ, ສໍາຄັນສໍາລັບຂະບວນການ CVD. ນີ້ຮັບປະກັນການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບ, ເຮັດໃຫ້ຮູບເງົາບາງໆແລະຄຸນນະພາບການເຄືອບດີກວ່າ.
2. ການຜະລິດຄວາມຊັດເຈນແຕ່ລະເຄື່ອງບັນຈຸ wafer ແມ່ນຜະລິດຕາມມາດຕະຖານທີ່ແນ່ນອນ, ຮັບປະກັນຄວາມຫນາແຫນ້ນແລະຄວາມລຽບຂອງພື້ນຜິວ. ຄວາມແມ່ນຍໍານີ້ແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບການບັນລຸອັດຕາເງິນຝາກທີ່ສອດຄ່ອງແລະຄຸນສົມບັດຂອງຮູບເງົາໃນທົ່ວ wafers ຫຼາຍ, ເສີມຂະຫຍາຍຄຸນນະພາບການຜະລິດໂດຍລວມ.
3. ສິ່ງກີດຂວາງ impurityການເຄືອບ SiC ເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນອຸປະສັກ impermeable, ປ້ອງກັນການແຜ່ກະຈາຍຂອງ impurities ຈາກ susceptor ເຂົ້າໄປໃນ wafer ໄດ້. ນີ້ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນສໍາລັບການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor ຄວາມບໍລິສຸດສູງ.
4. ຄວາມທົນທານແລະປະສິດທິພາບຄ່າໃຊ້ຈ່າຍການກໍ່ສ້າງທີ່ເຂັ້ມແຂງແລະການເຄືອບ SiC ເສີມຂະຫຍາຍຄວາມທົນທານຂອງຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ wafer, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຖີ່ຂອງການທົດແທນ susceptor. ອັນນີ້ເຮັດໃຫ້ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການບໍາລຸງຮັກສາຕ່ໍາແລະເວລາຢຸດເຮັດວຽກຫນ້ອຍລົງ, ເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງການດໍາເນີນງານການຜະລິດ semiconductor.
5. ຕົວເລືອກການປັບແຕ່ງSemicorex Wafer Carriers ທີ່ມີການເຄືອບ SiC ສາມາດຖືກປັບແຕ່ງເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງຂະບວນການສະເພາະ, ລວມທັງການປ່ຽນແປງໃນຂະຫນາດ, ຮູບຮ່າງ, ແລະຄວາມຫນາຂອງເຄືອບ. ຄວາມຍືດຫຍຸ່ນນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງ susceptor ກົງກັບຄວາມຕ້ອງການທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ທີ່ແຕກຕ່າງກັນ. ທາງເລືອກການປັບແຕ່ງຊ່ວຍໃຫ້ມີການພັດທະນາການອອກແບບ susceptor ທີ່ເຫມາະສົມກັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກພິເສດ, ເຊັ່ນ: ການຜະລິດປະລິມານສູງຫຼືການຄົ້ນຄວ້າແລະການພັດທະນາ, ຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ດີທີ່ສຸດສໍາລັບກໍລະນີການນໍາໃຊ້ສະເພາະ.
ແອັບພລິເຄຊັນ:
Semicera Wafer Carriers ທີ່ມີການເຄືອບ SiC ແມ່ນເຫມາະສົມທີ່ສຸດສໍາລັບ:
•ການຂະຫຍາຍຕົວ Epitaxial ຂອງວັດສະດຸ semiconductor
• ຂະບວນການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD).
•ການຜະລິດ wafers semiconductor ຄຸນນະພາບສູງ
•ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກການຜະລິດ semiconductor ຂັ້ນສູງ